Hình 1.9 là mô hình dùng để mô phỏng cấu trúc perovskite của BaTiO3. Theo bảng 1.1 ta có bán kính của các ion Ba2+ là 0.161nm, Ti4+ là 0.0605nm và O2- là 0.135nm. Khi đó, t = 1.071 > 1 và thông số mạng của BaTiO3 là a = 0.4012nm.
Để biểu diễn toàn bộ vị trí của các nguyên tử trong hình 1.9(a), dựa trên một số đề tài đã thực hiện trên thế giới của một số tác giả [22], [56], chúng tôi dùng mạng lập phương với khoảng cách các ô mạng là a/2 để biểu diễn toàn bộ các vị trí dịch chuyển khả dĩ của hạt. Từđó mở rộng ra mô phỏng trong không gian L x L x H vị trí, với L là chiều dài cũng như chiều rộng của bề mặt đế và chiều cao H phụ
thuộc vào số hạt lắng đọng.
Do khi mô phỏng 3 chiều với các kích thước của các hạt khác nhau nên chúng tôi đưa ra các quy tắc dịch chuyển sau:
+ Mỗi nguyên tử chỉ chiếm một vị trí.
+ Khoảng cách gần nhất giữa Ti – Ti ,Ti - O là a. + Khoảng cách gần nhất giữa Ba - Ti, Ba – O là a 2. + Khoảng cách gần nhất giữa giữa Ba – Ba là a 3.
Hình 1.10:Ảnh hưởng kích cỡ của nguyên tử.
Để mô tả quá trình lắng đọng, chúng tôi đưa vào thông số độ phủ màng 2
/
N L
θ = , với N là tổng số hạt lắng đọng trên diện tích đế L x L. Do vậy, độ phủ