Cấu trỳc của phổ RBS được minh họa ở Hỡnh 1.6. Phổ RBS cú thể coi là sự chồng chập của nhiều phõn bố Gauss tương ứng với ion tỏn xạ trờn cỏc khoảng bề dày rất nhỏ được ghi nhận bởi detector. Mỗi phõn bố Gauss cú độ rộng tại một nửa chiều cao (FWHM) tương ứng với độ nhũe năng lượng tồn phần như đó được đề cập trong Phần 1.4.1. Do đú, cú thể coi phổ RBS là tớch phõn của phõn bố Gauss theo bề
LVTS VLNT erf(𝑥) = (2𝜋Ω2)−1/2∫ exp [− ( 𝑥2 2Ω2)] 𝑑𝑥 𝑥 −∞ (1.27)
Trong đú Ω là độ lệch chuẩn (toàn phần) của phõn bố năng lượng của chựm tia, x là tham số liờn quan đến năng lượng.
Hỡnh 1.8. Sự hỡnh thành phổ RBS [6].
Cú thể rỳt ra được cỏc đặc trưng về độ phõn giải theo chiều dày thụng qua cỏc sườn trước và sau (như minh họa ở Hỡnh 1.6) của phổ tỏn xạ ngược, bằng cỏch lấy vi phõn theo năng lượng chiều cao của phổ cho ta dạng phõn bố Gauss. Độ rộng nửa chiều cao của phõn bố Gauss này đối với sườn sau là độ phõn giải năng lượng hệ thống (FWHM):
𝛿𝐸𝐻 = [(𝛿𝐸𝐵𝐸)2+(𝛿𝐸𝐵𝑆)2+ (𝛿𝐸𝐵𝑊)2
+(𝛿𝐸𝑆𝑅)2+(𝛿𝐸𝐴𝐴)2+(𝛿𝐸𝐷)2]1/2 (1.28)
Sườn trước
Đối với sườn trước là độ phõn giải năng lượng toàn phần tương ứng với độ dày nhất định, cú thờm đúng ghúp của cỏc thành phần cũn lại, cụ thể như sau
𝛿𝐸𝐿 = [(𝛿𝐸𝐵𝐸)2+(𝛿𝐸𝐵𝑆)2+ (𝛿𝐸𝐵𝑊)2+(𝛿𝐸𝑆𝑅)2
+(𝛿𝐸𝐴𝐴)2+(𝛿𝐸𝐷)2+(𝛿𝐸𝑀𝑆)2+(𝛿𝐸𝐸𝑆)2+(𝛿𝐸𝐿𝑆)2]1/2 (1.29) Độ cao của phổ RBS tương ứng với một độ dày 𝑡𝑖 tại độ sõu nhất định được xỏc định bằng cụng thức:
𝐻𝑖 = 𝜎(𝐸𝑖)Ω𝑄𝑁𝑡𝑖/cos(𝛼) (1.30)
Trong đú tiết diện tỏn xạ được tớnh tại năng lượng 𝐸𝑖 của chựm tia ở tại độ sõu nhất định, Ω là gúc khối của detector, Q là tổng số hạt tới.
Gọi ξ là độ rộng năng lượng của một kờnh trong phổ kế phõn tớch đa kờnh, độ cao phổ được diễn tả thơng qua nú như sau
𝐻𝑖 = 𝜎(𝐸𝑖)Ω𝑄 ξ [𝜀(𝐸𝑖)]𝑐𝑜𝑠𝛼
𝜀(𝐾𝐸𝑖)
𝜀(𝐸1,𝑖) (1.31)
LVTS VLNT
Chương 2 - TÍNH TỐN VÀ TỐI ƯU HểA CÁC ĐIỀU KIỆN THỰC NGHIỆM TRONG PHÂN TÍCH RBS