2.2. Phƣơng pháp chế tạo màng nano ZnO trên lớp màng dẫn trong suốt ZnO:In
2.2.3.2. Quy trình chế tạo màng bằng phƣơng thủy nhiệt
a. Trƣờng hợp khơng có chất hoạt động bề mặt polyethylenglycol
+ Tạo dung dịch muối Zn(CH3COO)2 .2H2O ở nồng độ 0,02M với dung môi là nƣớc cất hai lần.
+ Quá trình tạo phức đƣợc tiến hành thông qua nhỏ giọt từ từ dung dịch NH4OH vào dung dịch muối kẽm axetat 0,02M.
+ Đế thủy tinh có màng dẫn trong suốt ZnO:In đƣợc gắn vào giá theo phƣơng thẳng đứng rồi đƣợc đƣa bình thủy nhiệt chứa dung dịch phức. Đặt bình vào trong tủ sấy và đặt nhiệt độ, thời gian.
Các mẫu sau khi lấy ra khỏi bình thủy nhiệt đƣợc rung rửa sạch với nƣớc cất, sau đó đƣợc sấy khơ ở nhiệt độ 750C trong tủ sấy.
b. Trƣờng hợp có chất hoạt động bề mặt polyethylenglycol
Trong trƣờng hợp tạo mẫu có chất hoạt động bề mặt polyethylenglycol, các bƣớc tiến hành tƣơng tự nhƣ trong trƣờng hợp khơng có chất hoạt động bề mặt. Tuy nhiên, chất hoạt động bề mặt đƣợc đƣa vào dung dịch tạo phức trƣớc khi cho đế có màng dẫn trong suốt ZnO:In vào. Do polyethylenglycol khó tan trong nƣớc nên khi hịa tan ta sử dụng dung mơi cồn.
Dung dịch kẽm axetat Dung dịch amoni Dung dịch dạng phức Đế có chứa màng ZnO:In đƣợc gắn
trên giá theo phƣơng thẳng
đứng
Tủ sấy
Sấy mẫu Rung rửa mẫu
(1) Súng điện tử (2) Kính tụ (3) Cuộn lái tia (4) Vật kính
(5) Điện tử thứ cấp (6) Mẫu
(7) Máy quét xung điện tử (8) Máy thu điện tử thứ cấp (9) Màn hiển thị
Hình 2.7. Sơ đồ ngun lý của kính hiển vi điên tử quét
(1) Súng điện tử (2) Kính tụ (3) Cuộn lái tia (4) Vật kính
(5) Điện tử thứ cấp (6) Mẫu
(7) Máy quét xung điện tử (8) Máy thu điện tử thứ cấp (9) Màn hiển thị
Hình 2.7. Sơ đồ ngun lý của kính hiển vi điên tử quét