CHƢƠNG II THỰC NGHIỆM
2.4. Kính hiển vi điện tử quét
Kính hiển vi điện tử quét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope, thƣờng viết tắt là SEM), là một loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng một chùm điện tử (chùm các electron) hẹp quét trên bề mặt mẫu. Việc tạo ảnh của mẫu vật đƣợc thực hiện thông qua việc ghi nhận và phân tích các bức xạ phát ra từ tƣơng tác của chùm điện tử với bề mặt mẫu vật.
Hình 2. 6. Sơ đồ ngun lý của kính hiển vi điện tử quét. (1) Súng điện tử,
(2) Kính tụ, (3) Cuộn lái tia, (4) Vật kính, (5) Điện tử thứ cấp, (6) Mẫu, (7) Máy phát xung quét, (8) Đầu thu điện tử thứ cấp, (9) Màn hiển thị.
Mặc dù khơng thể có độ phân giải tốt nhƣ kính hiển vi điện tử truyền qua nhƣng kính hiển vi điện tử qt lại có điểm mạnh là phân tích mà khơng cần phá hủy mẫu vật và có thể hoạt động ở chân khơng thấp. Một điểm mạnh khác của SEM là các thao tác điều khiển đơn giản hơn rất nhiều so với TEM khiến cho nó rất dễ sử dụng. Một điều khác là giá thành của SEM thấp hơn rất nhiều so với TEM, vì thế SEM phổ biến hơn rất nhiều so với TEM.
2.5. Phổ Raman
Phép đo Raman là phép đo chính, đƣợc sử dụng để khảo sát tính chất của đế đã chế tạo cũng nhƣ sự tăng cƣờng tín hiệu Raman của đế SERS.
Thiết bị đƣợc sử dụng để khảo sát là phổ kế Raman của trung tâm Khoa học Vật liệu, Khoa Vật lý (Hình 2. 7), nguồn kích thích laser He-Ne bƣớc sóng là 632,8 nm, đo với ống kính quang học 50x LWD.
Hình 2. 7. Thiết bị Raman LabRAM HR800Raman, trung tâm Khoa học Vật