2.3.2 .Vận hành buồng gia tốc chính
2.3.3. Vận hành buồng phân tích RC43
2.3.3.1.Khởi động hệ chân khơng trong buồng phân tích
Trước khi khởi động bơm turbo hoặc bơm dầu, hãy kiểm tra xem tồn bộ vùng được hút chân đã kín hồn tồn hay chưa. Các đường ống dẫn khí nén tới các van cần phải được nạp và hệ làm lạnh cho bơm turbo phải được bật. Lượng dầu ở bơm dầu hay bơm turbo cũng cần phải được kiểm tra. Kiểm tra tất cả các kết nối điện trong bộ điều khiển chân khơng khóa an tồn và trong hai bộ giám sát chân khơng. Trong bộ điểu khiển khóa an tồn, để tất cả các van ở vị trí CLOSE và chắc chắn rằng các van đó được để ở chế độ REMOTE. Kiểm tra công tắc Sample Change nằm ở mép buồng cách ly ở vị trí OFF.
Bật hai bộ phận giám sát chân không và bộ điều khiển chân khơng khóa an tồn. Tất cả các van phải được đóng. Điều kiện chân khơng lúc này sẽ là khơng tốt. Kích hoạt tất cả các van bằng công tắc enable. Công tắc Rough pump ở phần bên phải của bộ điều khiển phải được để ở vị trí TURBO. Bật bơm dầu và để ý đến đoạn từ bơm dầu đến hai van. Chuyển cơng tắc RV1 về vị trí AUTO và chuyển cơng tắc TURBO NLK về vị trí BYPASS. Van RV1cần phải được mở và bơm dầu bắt đầu bơm chân không sơ bộ cho bơm turbo. Bật bơm turbo. Điểm setpoint TC1 cần phải được kiểm tra hoặc được đặt ở ~1 torr. Khi điểm chân không cho bơm turbo đạt tới điểm setpoint thì đèn VAC/TC1 sẽ sáng xanh.
Buồng chiếu mẫu có thể được bơm chân không sơ bộ trong khi bơm turbo đang quay để đạt đến tốc độ tối đa. Chuyển cơng tắc RV2 và LV về vị trí AUTO và cơng tắc ROUGH PUMP về vị trí LOCK/CHAMBER. Van RV1 cần phải được đóng, van RV2 và LV cần phải được mở. Đặt lại và kiểm tra trạng thái
của điểm setpoint TC2 ở ~110 mtorr và TC3 VAC ở ~100 mtorr. Khi đạt đến điểm setpoint TC2 thì van LV sẽ đóng và khi đạt đến điểm TC3 thì van RV2 sẽ đóng. Các đèn LED ở mặt trước bộ điều khiển sẽ biểu thị sự đóng mở này của các van. Đối với việc thay mẫuthì điểm TC3 có thể được đặt từ 5 mtorr đến nhỏ hơn.
Khi bơm turbo đạt đến tốc độ tối đa, đèn TURBO sẽ sáng. Chuyển công tắc ROUGH PUMP về vị trí TURBO. Nếu điều kiện chân không trong buồng chiếu vẫn tốt, chuyển công tắc PV về vị trí AUTO. Van sau bơm turbo sẽ mở và bơm turbo lúc này bắt đầu bơm chân không cho buồng chiếu mẫu. hệ thống sẽ tiến tới chân không cao ở xấp xỉ 10-6 Torr. Khi chân không cao đạt được trên buồng chiếu mẫu và trên đường dẫn chùm tia, van đường dẫn chùm tia BLVcó thể được chuyển về vị trí AUTO và sẽ được mở ra.
Để vận hành van mở thông chuyển cơng tắc VV về vị trí AUTO. Chuyển cơng tắc ROUGH PUMP về vị trí TURBO. Chỉ mở thông buồng cách ly bằng cách chuyển công tắc VENT về vị trí LOCK. Giữ cơng tắc VENT đến khi đèn sáng. Kiểm tra hoặc đặt điểm Set point ATM ở áp suất khí quyển.
Để mở thông buồng chiếu, chuyển công tắc VENT về vị trí LOCK/CHAMBER và giữ nó cho đến khi đèn báo sáng. Tốt nhất là nên tắt áp kế ion đi trước khi mở thông buồng chiếu. Khi áp kế ion tắt, van BLV sẽ đóng. Để lập lại chân không sau khi mở thông, chuyển công tắc ROUGH PUMP về vị trí LOCK/CHAMBER và khi q trình bơm sơ cấp hồn thành thì chuyển nó trở lại vị trí TURBO.