2.3.2 .Vận hành buồng gia tốc chính
2.3.5. Quá trình chiếu mẫu và thu thập dữ liệu
2.3.5.1. Điều chỉnh điểm chùm tia
Đường kính chùm ion đến có ảnh hưởng tới các q trình đo đạc và kết quả đối với các loại mẫu khác nhau. Muốn có chùm đến phù hợp với một loại mẫu nhất định ta cần quan sát kích thước và hình dạng của chùm đến trên một mẫu kính. Việc quan sát trên mẫu kính cho ta hình ảnh rõ nét của chùm
tia hơn là sự quan sát trên các loại mẫu khác. Tất cả quá trình đều có thể được quan sát trên màn hình theo dõi.
2.3.5.2. Hiệu chuẩn năng lượng
Sau khi điều chỉnh được chấm chùm tia hợp lý,ta tiến hành hiệu chuẩn năng lượng bằng cách chiếu chùm tia vào mẫu chuẩn. Mẫu chuẩn đối với RBS là loại mẫu có chứa ít nhất hai ngun tố nặng khác nhau trên bề mặt và chất nến là nguyên tố nhẹ. Trong khóa luận này sử dụng mẫu chuẩn gồm hai nguyên tố là vàng và đồng trên đế silic.
Việc hiệu chuẩn năng lượng được tiến hành ngay trên phần mềm thu thập dữ liệu RC43 hoặc cũng có thể hiệu chuẩn bằng các phần mềm xử lý như là RUMP, ORIGIN.
Sau khi thu thập được phổ dữ liệu hiệu chuẩn hợp lý, tất cả các thông số như độ khuếch đại và cao thế của detector,các thông số của MCA,vv… không được thay đổi đối với các phép đo mẫu cần xử lý.
2.3.5.3. Tiến hành đo mẫu
Chuyển chùm tia đến mẫu cần đo,sau đó thu nhận dữ liệu bằng phần mềm RC43. Chuyển dữ liệu thu được tới phần mềm phân tích SIMNRA.
Các mẫu được đo đạc gồm có:
- Mẫu chuẩn : Vàng – đồng trên đế Polystyrene(C8-H8) - Mẫu số 1 : Vàng trên kính