2.3.2 .Vận hành buồng gia tốc chính
2.3.4. Quá trình thay mẫu
Tiến hành lắp đặt mẫu cần phân tích vào giá kẹp mẫu. Lưu ý rằng trên giá kẹp mẫu ta phải lắp đặt đồng thời một mẫu chuẩn và một mẫu kính. Mẫu chuẩn để phục vụ cho việc chuẩn năng lượng cịn mẫu kính dùng để quan sát chấm chùm tia. Trên hình 2.6 đưa ra bộ phận thay mẫu.
Hình 2.6 : Hình học thay mẫu.
Để đưa mẫu vào thông qua buồng cách ly thì trước tiên ta phải mở thông buồng cách ly. Gắn giá kẹp mẫu vào thanh chuyển mẫu rồi đưa đầu khớp KF vào trên buồng cách ly. Bơm chân không sơ cấp buồng cách ly bằng cách chuyển công tắc ROUGH PUMP về vị trí LOCK/CHAMBER. Khi đèn lock VAC chuyển thành màu xanh, chuyển cơng tắc thay mẫu về vị trí ON. Đèn chỉ
thị Sample change trên bộ điều khiển sẽ sáng. Công tắc này sẽ mở lock valve và mẫu sẵn sàng được gắn với bộ điều chỉnh vị trí. Chuyển cơng tắc ROUGH PUMP trở lại vị trí TURBO sau khi chèn mẫu vào xong.
Để chuyển mẫu từ buồng cách ly đến giá đặt mẫu trên bộ điều chỉnh vị trí, nới lỏng núm vặn nhựa có rãnh và kẹp nhựa giữ ở phía trên của buồng cách ly khoảng một nửa vòng hoặc nhỏ hơn. Theo dõi chân không khi nới lỏng núm vặn đó. Từ từ đẩy thanh chuyển mẫu và mẫu xuống buồng chiếu. Chỉnh vị trí của giá kẹp mẫu cho khớp với rãnh của giá để mẫu trên bộ điều chỉnh vị trí, từ từ đẩy trượt giá kẹp mẫu vào giá để mẫu. Vặn lỏng thanh chuyển mẫu từ vị trí của giá kẹp mẫu và rút nó ra ngay khi có thể. Vặn chặt núm vặn nhựa để chân không được cải thiện. Vặn chặt núm vặn nhựa giữ thanh chuyển mẫu. Tắt công tắc sample tranfer.
Để chuyển mẫu từ buồng ra ngồi đầu tiên hãy bơm chân khơng sơ bộ buồng cách ly bằng cách để công tắc Rough Pump về vị trí Lock/Chamber. Mở van LV bằng cách sử dụng công tắc thay mẫu. Chuyển công tắc ROUGH PUMP về vị trí TURBO. Chèn thanh chuyển mẫu vào lỗ ren ở trên giá kẹp mẫu. Kéo giá kẹp mẫu lên trên buồng cách ly. Tắt công tắc Sample transfer. Mở thông buồng cách ly, và bỏ mẫu ra khỏi buồng này.