CHƯƠNG III KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN
3.1. Tính tốn sai số
3.1.1. Sai số trong các phép đo DC dùng PMU
Trường hợp cấp dịng đo áp (hình 23):
• Điện áp v cấp từ DAC cĩ sai số tuyệt đối là sai số lượng tử hĩa của 12-bit DAC:
(1) • Điện trở dùng trong mạch cĩ sai số tương đối 1% nên:
Kết nối đến máy test Thị kính 10x Vật kính 2x/4x Chỉnh xoay Chỉnh x Chỉnh y Chuck giữ wafer Hút chân khơng Giá đỡ Probe card
45 Báo cáo nghiệm thu
(2) • Dịng cung cấp:
(3) • Giá trịđiện áp trên DUT:
(4) • Sai số tương đối của giá trịđiện áp trên DUT:
(5)
(6)
(7) • Giá trị đọc được của PMU là từ 12-bit ADC với thang đo (-10V, +10V) cĩ
sai số tuyệt đối là 2.4mV nên sai số tuyệt đối trong phép đo là:
(8)
Trường hợp cấp áp đo dịng (hình 24):
• Điện áp v cấp từ DAC cĩ sai số tuyệt đối là sai số lượng tử hĩa của 12-bit DAC:
(9) • Điện trở dùng trong mạch cĩ sai số tương đối 1% nên:
(10) • Điện áp đến ngõ vào 12-bit ADC:
(11) • Sai số tương đối của điện áp đến 12-bit ADC:
(12)
(13)
(14) • Giá trịđọc được của PMU là từ 12-bit ADC với thang đo (-10V, +10V) cĩ
46 Báo cáo nghiệm thu
(15) • Sai số tuyệt đối của giá trị dịng điện đo được:
(16)
3.1.2. Sai số trong các phép đo AC
Clock chủ dùng trong hệ thống là 800MHz nên cĩ chu kỳ là 1.25ns. Một bước thay
đổi timing nhỏ nhất bằng một chu kỳ clock. Phương pháp đo các thơng số AC là
điều khiển thời gian lấy mẫu tín hiệu (hình 10 đề mục 2.1.6) nên sai số tuyệt đối trong phép đo bằng một bước thay đổi timing. Hiển nhiên, trong trường hợp tối ưu, sai số tuyệt đối là 1.25ns.
Tuy nhiên khơng phải lúc nào cũng áp đặt timing với bước thay đổi nhỏ nhất, vì như
vậy sẽ làm tăng thời gian test do phải thay đổi nhiều lần thời gian lấy mẫu tín hiệu. Trong các phép đo các thơng số AC, chọn bước thay đổi timing tương ứng sao cho sai số trong phép đo khơng vượt quá 10%.
Hầu hết các thơng số AC của các DUT được test cĩ giá trị lớn hơn 15ns nên kết quả
thường cĩ sai số dưới 10%. Riêng thơng số hold time th cĩ giá trị quá nhỏ (<5ns), máy test khơng đo được giá trị chính xác mà chỉ kiểm tra xem pass hay fail với khoảng thời gian offset ngắn nhất của thiết bị (1.25ns).