L ỜI CẢM Ơ N
2.1.1 Thiết bị đánh giá hình thái cấu trúc của sợi nano Pt
2.1.1.1 Kính hiển vi điện tử quét Joel/JSM-6480 LV
Kính hiển vi điện tử quét Joel/JSM-6480 LV do Nhật sản xuất. Có thể chụp ở hai chế độ: chân không thấp và chân không cao. Thiết bị này sử dụng nguồn điện tử là filament Vonfram dạng dây tóc hình chữ V. Bên cạnh khả năng chụp ảnh điện tử quét (SEM - Scanning Electron Microscope), máy còn có thể chụp phổ phát xạ điện tử (EDS - Electron Diffraction Spectrum) để phân tích thành phần các nguyên tố có trên bề mặt mẫu.
Hình 2.1: Kính hiển vi điện tử quét (SEM) Jeol/JSM-6480LV.
Đặc tính của thiết bị
Độ phân giải Chế độ chân không cao: 3,0 nm (30 kV) Chế độ chân không thấp: 4,0 nm (30 kV) Điện thế gia tốc 0,3 đến 30 kV
Độ phóng đại từ 5 đến 300.000 lần
Filament Dây tóc W
Kích thước mẫu tiêu chuẩn 300 mm x 80 mm
X = 125 mm, Y = 100 mm, Z = 5-80 mm Góc nghiêng = -10 đến 90°, Góc quay = 360° Màn hình hiển thị 20 inch, FPD độ phân giải cao.
2.1.1.2 Kính hiển vi lực nguyên tử Nanotec Electronica S.L
Kính hiển vi lực nguyên tử Nanotec Electronica S.L. do Tây Ban Nha sản xuất, có diện tích quét tối đa là 50x50 µm, với độ phân giải đạt đến nano mét. Thiết bị có thể hoạt động ở hai chế độ tiếp xúc (contact mode) và không tiếp xúc (dynamic mode), đồng thời cũng có hai loại tip tương ứng: tip cứng dùng trong chế độ dynamic còn tip mềm dùng trong chế độ contact. Phần mềm WSxM 4.0 Develop
10.4 được dùng để biến đổi tín hiệu dưới dạng lực thành hình ảnh bề mặt mẫu. Phần
mềm còn cho phép xác định độ gồ ghề bề mặt, độ cao trung bình của các chi tiết trên mẫu, ngoài ra còn tạo được ảnh 3D của bề mặt mẫu.
Hình 2.2: Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) NanoTec Electronica S.L.