Kết quả và thảo luận
3.1.2. Quá trình tái kết tinh của màng ITO
Màng mỏng ITO ngay sau khi bay hơi ( mẫu Mo) th−ờng là màng giàu kim loại Inđi. Các
màng này có độ dẫn điện cao gần với kim loại, nh−ng lại hầu nh− không cho ánh sáng truyền qua. Điều này đ−ợc giải thích là do sự thiếu hụt ôxy trong quá trình bay hơi và cấu trúc tinh thể của màng ITO ch−a hoàn thiện. Để nhận đ−ợc màng ITO có độ dẫn điện cao và trong suốt với ánh
sáng khả kiến, màng ITO sau khi bay hơi cần đ−ợc tiến hành xử lý nhiệt. Khi ủ màng trong không khí, màng sẽ bị ôxy hoá d−ới tác dụng của khí ôxy trong môi tr−ờng. Đồng thời có sự sắp xếp lại một cách có trật tự các nguyên tử để hình thành cấu trúc tinh thể ITO. Quá trình này đ−ợc gọi là quá trình tái kết tinh của màng. Trong quá trình tái kết tinh, việc chọn nhiệt độ ủ và thời gian ủ thích hợp cho phép nhận đ−ợc màng ITO có các tính chất nh− mong muốn là rất quan trọng. Để khảo sát các tính chất cấu trúc, điện , quang của màng mỏng ITO vào nhiệt độ ủ, các mẫu khác nhau đ−ợc ủ nhiệt trong 1 giờ theo chế độ ủ trong bảng 2.1. Sự phụ thuộc điện trở của màng vào nhiệt độ ủ cũng đã đ−ợc khảo sát và đ−ợc chỉ ra trên hình 3.6. Từ hình này nhận thấy điện trở của màng tăng dần theo nhiệt độ ủ trong khoảng từ nhiệt độ phòng đến 350
0C. Trong khoảng nhiệt độ từ 350 0C đến 450 0C điện trở của màng có sự gia
Hình 3.6 : Sự phụ thuộc của điện trở vào nhiệt độ ủ
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 50010 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 Đi ện t rở (O h m ) Nhiệt độ (oC)
quá trình ôxy hoá và tái kết tinh đã xảy ra. Các kết quả nghiên cứu về cấu trúc cũng cho các kết quả t−ơng tự. Nó cho thấy ở nhiệt độ ủ 400 0C trong môi tr−ờng không khí là thích hợp đối với các màng sau khi bay hơi [8,24].