Cáchệ số khuếch tán theo chiều dọc mật độ đặc trưng và tỷ lệ của hệ số

Một phần của tài liệu Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch. (Trang 93 - 104)

7. Bố cục của luận án

3.2.2 Cáchệ số khuếch tán theo chiều dọc mật độ đặc trưng và tỷ lệ của hệ số

khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động của electron (NDL và DL/µ)

Các kết quả tính toán áp dụng hệ hai phương trình xấp xỉ của Boltzmann đối với hệ số khuếch tán dọc và tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc và độ linh hoạt electron khi xảy ra va chạm trong phóng điện khí, NDL và DL/µ chúng là các hàm số theo giá trị E/N trong các hỗn hợp khí TRIES - O2, TRIES - Ar, TRIES - Kr, TRIES - Xe, TRIES - He, TRIES - Ne với các nồng độ phần trăm của khí TRIES khác nhau (cụ thể là 1%, 5%, 10%, 30%, 50%, 70%, 90% TRIES) và các hệ số khuếch tán dọc (NDL), các tỷ lệ của hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động electron (DL/µ) được thể hiện ở hình 3.6 đến hình 3.7.

Hình 3.6a thể hiện các giá trị của các hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron với các nồng độ phần trăm của khí TRIES khác nhau (cụ thể là 10%, 30%, 50%, 70%, 90%). Xét tại cùng một giá trị của E/N, các giá trị của hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron của hỗn hợp khí nằm giữa các giá trị hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron của các khí nguyên chất TRIES và O2, lớn hơn của nguyên chất TRIES và nhỏ hơn của nguyên chất O2 .

(Hình 3.6b) Hệ số khuếch tán dọc NDL của hỗn hợp khí TRIES-Ar

Hình 3.6b thể hiện các giá trị của các hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron với các nồng độ phần trăm của khí TRIES khác nhau (cụ thể là 1%, 5%, 10%, 30%, 50%, 70%, 90%). Xét tại cùng một giá trị của E/N, các giá trị hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron của hỗn hợp khí nằm giữa hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng eletron của các khí nguyên

chất TRIES và Ar thể hiện ở hình 3.6b lớn hơn của nguyên chất TRIES và nhỏ hơn của nguyên chất Ar.

(Hình 3.6c) Hệ số khuếch tán dọc NDL của hỗn hợp khí TRIES-Kr

Hình 3.6c thể hiện các giá trị của các hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron với các nồng độ phần trăm của khí TRIES khác nhau (cụ thể là 10%, 30%, 50%, 70%, 90%). Xét tại cùng một giá trị của E/N, giá trị hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron của hỗn hợp khí nằm giữa hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng eletron của các khí nguyên chất và Kr được xác định nằm giữa các khí nguyên chất khi E/N>0,1 Td thể hiện ở hình 3.6c.

(Hình 3.6d) Hệ số khuếch tán dọc NDL của hỗn hợp khí TRIES-Xe

Hình 3.6d thể hiện các giá trị của các hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron với các nồng độ phần trăm của khí TRIES khác nhau (cụ thể là 10%, 30%, 50%, 70%, 90%). Xét tại cùng một giá trị của E/N, giá trị hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron của hỗn hợp khí nằm giữa hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng eletron của các khí nguyên chất TRIES và Xe được xác định nằm giữa các khí nguyên chất.

(Hình 3.6e) Hệ số khuếch tán dọc NDL của hỗn hợp khí TRIES-He

Hình 3.6e thể hiện các giá trị của các hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron với các nồng độ phần trăm của khí TRIES khác nhau (cụ thể là 10%, 30%, 50%, 70%, 90%). Xét tại cùng một giá trị của E/N, giá trị hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron của hỗn hợp khí nằm giữa hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng eletron của các khí nguyên chất TRIES và He được xác định nằm giữa các khí nguyên chất.

(Hình 3.6g) Hệ số khuếch tán dọc NDL của hỗn hợp khí TRIES – Ne

Hình 3.6g thể hiện các giá trị của các hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron với các nồng độ phần trăm của khí TRIES khác nhau (cụ thể là 10%, 30%, 50%, 70%, 90%). Xét tại cùng một giá trị của E/N, giá trị hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng electron của hỗn hợp khí nằm giữa hệ số khuếch tán dọc NDL theo mật độ đặc trưng eletron của các khí nguyên chất TRIES và Ne được xác định nằm giữa các khí nguyên chất.

(Hình 3.7a) Hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động electron (DL/µ) của hỗn hợp khí TRIES-O2

Hình 3.7a thể hiện các giá trị của tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc với độ linh động electron (DL/µ) với các nồng độ phần trăm của khí TRIES khác nhau (cụ thể là 10%, 30%, 50%, 70%, 90%). Về cơ bản tại cùng một giá trị E/N thì các giá trị của tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc với độ linh động electron (DL/µ) tương ứng trong hỗn hợp khí TRIES - O2 lớn hơn của nguyên chất TRIES và nhỏ hơn của nguyên chất O2 được xác định là nằm giữa các khí nguyên chất.

(Hình 3.7b) Hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động electron (DL/µ) của hỗn hợp khí TRIES – Ar

Hình 3.7b thể hiện các giá trị của tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc với độ linh động electron (DL/µ). Về cơ bản tại cùng một giá trị E/N thì các giá trị của tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc với độ linh động electron (DL/µ) tương ứng trong hỗn hợp khí TRIES - Ar lớn hơn của nguyên chất TRIES và nhỏ hơn của nguyên chất Ar được xác định là nằm giữa các khí nguyên chất.

(Hình 3.7c) Hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động electron (DL/µ) của hỗn hợp khí TRIES – Kr

Hình 3.7c thể hiện các giá trị của tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc với độ linh động electron (DL/µ). Về cơ bản tại cùng một giá trị E/N thì các giá trị của tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc với độ linh động electron (DL/µ) tương ứng trong hỗn hợp khí TRIES - Kr lớn hơn của nguyên chất TRIES và nhỏ hơn của nguyên chất Kr được xác định là nằm giữa các khí nguyên chất.

(Hình 3.7d) Hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động electron (DL/µ) của hỗn hợp khí TRIES-Xe

Hình 3.7d thể hiện các giá trị của tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc với độ linh động electron (DL/µ). Về cơ bản tại cùng một giá trị E/N thì các giá trị của tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc với độ linh động electron (DL/µ) tương ứng trong hỗn hợp khí TRIES - Xe lớn hơn của nguyên chất TRIES và nhỏ hơn của nguyên chất Xe được xác định là nằm giữa các khí nguyên chất.

(Hình 3.7e) Hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động electron (DL/µ) của hỗn hợp khí TRIES-He

Hình 3.7e thể hiện các giá trị của tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc với độ linh động electron (DL/µ). Về cơ bản tại cùng một giá trị E/N thì các giá trị của tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc với độ linh động electron (DL/µ) tương ứng trong hỗn hợp khí TRIES - He lớn hơn của nguyên chất TRIES và nhỏ hơn của nguyên chất He được xác định là nằm giữa các khí nguyên chất.

(Hình 3.7g) Hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động của điện tử (DL/µ) của hỗn hợp khí TRIES-Ne

Hình 3.7g thể hiện các giá trị của tỷ lệ giữa hệ số khuếch tán dọc với độ linh động electron (DL/µ) được xác định là nằm giữa các khí nguyên chất.

Hình 3.7a đến 3.7g trình bày kết quả tính toán của hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động electron trong hỗn hợp khí TRIES với các chất khí O2, Ar, Kr, Xe, He và Ne với các tỷ lệ phần trăm khác nhau. Như vậy xét tại cùng một giá trị E/N trong vùng E/N thấp, giá trị DL/µ của hỗn hợp nằm giữa giá trị của DL/µ trong các nguyên chất thành phần trong toàn dải E/N.

Một phần của tài liệu Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch. (Trang 93 - 104)

Tải bản đầy đủ (DOCX)

(170 trang)
w