IV. CẤU TRÚC CỦA LUẬN VĂN
2.2.2. Chụp ảnh hiển vi điện tử quột (SEM)
SEM là một trong những kĩ thuật phõn tớch tiện lợi và nhanh chúng nhất, cho phộp quan sỏt trạng thỏi bề mặt mẫu được phúng đại lờn rất nhiều lần.
* Nguyờn lý hoạt động
Điện tử được phỏt ra từ sỳng phúng điện tử, sau đú được tăng tốc và hội tụ thành một chựm điện tử hẹp, nhờ hệ thống thấu kớnh từ, sau đú quột trờn bề mặt mẫu nhờ cỏc cuộn quột tĩnh điện. Khi điện tử tương tỏc với bề mặt mẫu vật sẽ cú cỏc bức xạ phỏt ra. Cỏc bức xạ phỏt ra chủ yếu gồm: điện tử thứ cấp, điện tử tỏn xạ ngược, tia X, điện tử Auger. Mỗi loại bức xạ thoỏt ra mang một thụng tin về mẫu phản ỏnh một tớnh chất nào đú ở chổ tia điện tử tới đập vào mẫu, cỏc điện tử thoỏt ra này được thu vào đầu thu đó kết nối với mỏy vi tớnh (cú cài đặt chương trỡnh xử lớ), kết quả thu được là thụng tin bề mặt mẫu được đưa ra màn hỡnh.
Trong SEM chủ yếu dựng ảnh của cỏc điện tử phỏt xạ thứ cấp, năng lượng của cỏc electron này nhỏ nờn chỉ ở vựng gần bề mặt cỡ vài nm chỳng mới thoỏt ra ngoài được. Khi quan sỏt hỡnh ảnh bề mặt của mẫu, nếu đầu thu thu được tớn hiệu mạnh thỡ điểm tương ứng trờn màn sẽ sỏng lờn. Vỡ mẫu để nghiờng so với chựm tia tới nờn khụng cú sự đối xứng, do đú độ sỏng của tớn hiệu phụ thuộc vào vựng bề mặt mà cỏc electron đầu tiờn đập vào. Nếu bề mặt mẫu cú những lỗ nhỏ thỡ trờn màn sẽ cú những vết đen do điện tử thứ cấp phỏt ra từ lỗ đú đến đầu thu tớn hiệu rất ớt và biến thành xung điện bộ. Ngược lại với bề mặt phẳng thỡ màn ảnh sẽ sỏng đều. Từ đú chỳng ta quan sỏt được bề mặt của mẫu.
Sơ đồ cấu tạo và nguyờn tắc hoạt động của SEM được mụ tả trờn hỡnh dưới đõy