Hiện nay cú rất nhiều phương phỏp xử lý khớ thải, tuy nhiờn tuỳ theo thành phần và khối lượng khớ thải mà người ta lựa chọn phương phỏp xử lý phự hợp đảm bảo kỹ thuật xử lý và tớnh kinh tế của phương phỏp đú. Khi lựa chọn thiết bị làm sạch khớ thải cần phải tớnh đến hiệu quả làm sạch, những chi phớ đầu tư ban đầu, những chi phớ trong quỏ trỡnh vận hành, tuổi thọ của hệ thống xử lý, đơn giản trong vận hành, dễ kiểm tra sửa chữa, diện tớch chiếm chỗ, chi phớ điện năng ớt.
Trờn thế giới hiện nay, cú rất nhiều cỏc phương phỏp làm sạch khớ thải, chỳng khỏc nhau về cấu tạo thiết bị cũng như về cụng nghệ làm sạch. Để đạt được mức độ làm sạch khụng khớ cao cần phải sử dụng phối hợp đồng thời nhiều phương phỏp và thiết bị xử lý khỏc nhau. Những chất thải khớ dưới dạng hơi hay là hỗn hợp khớ sẽ được xử lý sạch qua cỏc thiết bị rửa khớ hay qua cỏc thiết bị làm sạch bằng khớ nộn và đốt khớ. Phương phỏp nhiệt hay phương phỏp đốt xỳc tỏc cũng sẽ được ỏp dụng trong trường hợp khụng cho phộp hoặc khụng cú khả năng tuần hồn khớ để tỏi sử dụng.
Cỏc phương phỏp làm sạch khớ kiểu hỳt bỏm (hấp phụ) hay phương phỏp hấp thụ (hồ tan) thường được sử dụng rộng rĩi nhất. Trong trường hợp khụng cú khả năng thu hồi hay đốt cỏc khớ độc hại thỡ phải dựng biện phỏp trung hồ hay chuyển tải chỳng đi xa để pha loĩng nồng độ trong khụng khớ.
Phương phỏp xử lý khớ độc hại phụ thuộc vào tớnh chất vật lý, hoỏ học và nồng độ của hơi khớ độc hại cú trong khớ thải. Cỏc phương phỏp đú dựa trờn ba nguyờn lý cơ bản : Thiờu huỷ; hấp thụ (hồ tan); và hấp phụ (hỳt bỏm). Ngồi ra cũn cú cỏc phương phỏp khỏc như phương phỏp ngưng tụ và phương phỏp sinh hoỏ - vi sinh, hay lọc để loại cỏc chất độc hại.[32, 67]