Phương pháp được sử dụng trong luận văn là phương pháp quang khắc. Đây là kỹ thuật hiệu quả và phù hợp với kích thước mẫu. Các bước thực hiện và hệ thiết bị quang khắc tương ứng được mô tả trong Hình 2.3 và 2.4.
Hình 2.4. Hệ thiết bị quang khắc dùng trong chế tạo vật liệu biến hóa tại Viện Khoa học vật liệu.
- Bước 1: Chiếu sáng
Đầu tiên, phủ lớp cảm quang lên bề mặt PCB, đặt một mặt nạ với cấu trúc thiết kế sẵn lên trên một lớp đồng. Sau đó sử dụng nguồn sáng là đèn halogel công
suất 45 W đặt cách mẫu 15 cm, chiếu trong khoảng 15 ÷ 18 phút (thời gian có thể dài hay ngắn hơn tùy thuộc vào khoảng cách chiếu sáng cũng như công suất của đèn chiếu).
- Bước 2: Tẩy rửa chất cảm quang
Sử dụng chất tẩy rửa cảm quang có thành phần chủ yếu là KOH với lượng thích hợp (200 g chất tẩy rửa cảm quang hòa tan với 1 lít nước, sử dụng được cho 20 mẫu có kích thước 10 × 15 cm2). Ngâm mẫu trong dung dịch từ 2 ÷ 5 phút với nhiệt độ từ 40 – 50oC
- Bước 3: Ăn mòn, tạo cấu trúc
Sử dụng hóa chất ăn mòn chuyên dụng cho mạch in với thành phần chủ yếu là muối Na2S2O8 (300 g hòa tan trong 2 lít nước, sử dụng được cho 20 mẫu có kích thước 10 × 15 cm2). Ngâm mẫu trong dung dịch ăn mòn từ 20 – 45 phút, nhiệt độ 30 – 40oC.
- Bước 4: Hiện hình cấu trúc
Sau khi ăn mòn, chiếu sáng cấu trúc 10 – 15 phút, sau đó ngâm trong dung dịch rửa cảm quang 2 phút để loại bỏ phần cảm quang còn lại.