kim loại điện cư ïc đư ợc đốt nĩng bằng dịng cao tần trong chân khơng cao.
c. Khi nhiêït độ thấp, thì trở nên lớn, ngay cả khi Ed nhỏ như trư ờng hợp hấp phụ vật lý. Hiện tư ợng hấp phụ ở nhiệt độ thấp đã đư ợc dùng trong bơm hấp phụ, ngư ng tụ.
2.2. Sự khuếch tán bề mặt.
Sư ï khuếch tán bề mặt là một trong như õng định thư ùc quan trọng của cấu trúc màng, vì nĩ cho phép các hạt hấp phụ tìm đến lẫn nhau, tìm đến vị trí hoạt hố nhất, hoặc tìm đến vị trí epitaxi.
Bây giờ chúng ta hãy dùng lý thuyết về vận tốc _phản ư ùng_ hồn tồn để khai triển biểu thư ùc đối với vận tốc khuếch tán bề mặt. Mặc dù biểu thư ùc gần đúng này khơng thể đánh giá đúng về lư ợng của vận tốc khuếch tán, như ng nĩ cĩ khả năng xác định như õng đại lư ợng nào xác định vận tốc đĩ.
Hình 2.1.1 chư ùng tỏ rằng, nguyên tư û hay phân tư û hấp phụ lư u trú trong hố thế trên bề mặt, như ng nĩ khơng khảo sát sư ï biến đổi độ sâu của hố thế theo vị trí x dọc theo bề mặt. Hình 2.2.1a chư ùng tỏ rằng, đợ sâu này là tuần hồn hay uốn thành gợn sĩng với hàng rào thế năng cĩ độ sâu Es giư õa hai vị trí bề mặt. Đỉnh của hàng rào đư ợc xem như “trạng thái chuyển tiếp” giư õa 2 vị trí bề mặt, theo ngơn ngư õ của lý thuyết về vận tốc phản ư ùng. Hình 2.2.1b trình bày trạng thái hấp phụ điển hình trong hố gợn sĩng đĩ. Nĩ là mạng tinh thể_ mặt bĩ chặt_lục giác, trên đĩ các vị trí hấp phụ là tâm của các tam giác của các nguyên tư û bề mặt, cịn trạng thái chuyển tiếp là “điểm yên ngư ïa” giư õa chúng. Các trạng thái liên kết khác, cĩ thể dẫn đến vị trí hấp phụ khác , ví dụ như các tâm của các nguyên tư û bề mặt. Quá trình khuếch tán bề mặt địi hỏi phải cắt đư ùt một phần các liên kết giư õa hạt hấp phụ với vị trí bề mặt, như thế nào để hạt hấp phụ cĩ thể chuyển động đến vị trí bề mặt la ân cận và thành lập liên kết mới ở đây. Như õng quá trình này cĩ thể xem như dạng sơ đẳng của phản ư ùng hố học, vì mỗi một phản ư ùng bao gồm cắt đư ùt một phần mối liên kết của chất phản ư ùng và thành lập một phần mối liên kết mới trong quá trình chuyển động qua trạng thái chuyển tiếp.
Hình 2.2.1: Sự khuếch tán bề mặt