b) Vị trí hấp phụ điển hình trên mạng bề mặt.
2.6.3.3.Phương pháp tạo màng
Như đã biết tư ø lâu, độ bám dính của nhiều cặp màng -đế đư ợc phủ bằng phún xạ rất lớn hơn khi nhận đư ợc bằng nhiệt bay hơi chân khơng. Nguyên nhân của điều đĩ là động năng của hạt phún xạ rất cao, cĩ thể làm biến thể bề mặt đế, và do đĩ tăng độ bám dính qua mặt phân giới. Sư ï biến thể bề mặt cĩ thể dư ới dạng bề mặt sạch, phún xạ, và sản sinh sai hỏng .
Động năng trung bình của nguyên tư û bay hơi sẽ tỷ lệ với nhiệt độ nguồn và nĩ gần bằng 0.1eV với 10000K. Năng lư ợng của chúng đạt tới đế cũng bằng chính năng lư ợng của nguyên tư û bay ra tư ø nguồn, vì mất mát năng lư ợng do va chạm cĩ thể bỏ qua. Năng lư ợng đĩ sẽ mất trên đế sau một hoặc hai chu kỳ dao động mạng .
Ngư ợc lại, đặc trư ng của nguyên tư û phún xạ rất k hác. Trong hệ phún xạ, để duy trì phĩng điện áp suất phải lớn hơn 10-2 torr với thế phĩng điện cở vài KV. Năng lư ợng phần lớn nguyên tư û phún xạ nằm giư õa 1eV đến 10eV khi rời khỏi bia. Tuy nhiên, khi nguyên tư û phún xạ đạt tới đế thì năng lư ợng và sư ï phân bố theo năng lư ợng của chúng sẽ biến đổi do va chạm với nguyên tư û khí làm việc trong khơng gian phĩng điện .
Trong hệ magnetron, áp suất làm việc cở 10-2 10-3 torr, năng lư ợng phần lớn hạt phún xạ đạt tới đế cở 8eV .
Trong trư ờng hợp mạ ion, thế dịch trên đế thấp nhất cũng vài chục eV, và năng lư oợng của ion đạt đến đế cũng chính bằng thế dịch âm đĩ, như vậy, ion khí làm việc và ion nguyên tư û phún xạ cĩ thể đâm sâu vào bề mặt, làm biến thể cấu trúc và sản sinh sai hỏng bên trong. Sư ï sản sinh sai hỏng và tái phún xạ bề mặt đế sẽ làm nhịe lớp phân giới – đư ợc gọi là quá trình giả khuếch tán – như đã bàn luận ở mục trư ớc .
Với áp suất xác định, cĩ thể điều chỉnh thế dịch âm trên đế để điều chỉnh ư ùng suất nội theo ý muốn.
Liên kết tiếp giáp giư õa các lớp màng với nhau và giư õa màng với đế đư ợc thiết lập bằng tư ơng tác vật lý cũng như tư ơng tác hĩa học mà ta đã bàn luận ở các mục trư ớc. Màng và đế cĩ thể gắn với nhau dư ới trạng thái ư ùng suất nén hay ư ùng suất căng qua lư ïc truyền của mặt phân giới. Ư Ùng suất màng cĩ ảnh hư ởng đến chất lư ợng bám dính qua biểu thư ùc (2.6.1). Ư Ùng suất biến đổi rộng với các điều kiện tạo màng và với tính chất vật lý của vật liệu màng và đế. Trư ớc khi khảo sát ảnh hư ởng của ư ùng suất của màng lên tính chất của chúng, ta hãy tổng quan một vài cơ sở vật lý về ư ùng suất trong thể rắn.