Mỗi một siêu mô hình sẽ xác định một tập các thực thể được sử dụng trong quá trình trao đổi định nghĩa tiến trình. Các thực thể mức cao sẽ được chỉ ra dưới đây:
3.1.1.1. Định nghĩa tiến trình
Thực thể định nghĩa tiến trình sẽ cung cấp thông tin một cách khái niệm để áp dụng cho các thực thể khác cho tiến trình Workflow đó. Nó cung cấp các thông tin giám sát (thời gian tạo, tác giả) hoặc cung cấp các thông tin được sử dụng trong quá trình thực thi (tham số khởi tạo, độ ưu tiên, các giới hạn thời gian được kiểm tra, thông tin mô phỏng, người được thông báo).
3.1.1.2. Hành vi tiến trình
Một định nghĩa tiến trình bao gồm một hay nhiều hành vi, các đơn vị công việc logic hay bao gồm định nghĩa tiến trình khác. Một hành vi mô tả một công việc. Công việc đó sẽ được thực hiện bằng việc phối hợp các tài nguyên hoặc các ứng dụng tính toán. Các hành vi sẽ sử dụng các dữ liệu liên quan đến Workflow. Phạm vi của hành vi là cục bộ đối với mỗi định nghĩa tiến trình cụ thể.
Một hành vi có thể là một tiến trình con. Trong trường hợp này hành vi đó sẽ thực thi một định nghĩa tiến trình riêng biệt. Nó có thể được thực hiện một cách cục bộ trong một dịch vụ Workflow tương tự hoặc dịch vụ từ xa. Một tiến trình con cũng chính là một định nghĩa tiến trình, nó cũng chứa các hành vi, chứa các chuyển tiếp, chứa các tài nguyên, các ứng dụng (mặc dù chúng có thể kế thừa từ một nguồn chung).
Một hành vi có thể là một hành vi khối nhằm thực hiện một tập các hành vi hoặc ánh xạ các hành vi và các chuyển tiếp. Các hành vi và các chuyển tiếp sẽ chia sẻ không gian tên và tiến trình chứa chúng.
Cuối cùng, hành vi giả (dummy activity) không thực hiện một công việc cụ thể nào cả (Do vậy nó không kết hợp với các tài nguyên cũng như các ứng dụng). Hành vi giả hỗ trợ một cách đơn giản việc đưa ra quyết định định tuyến giữa các phép chuyển đầu vào và các phép chuyển đầu ra.
3.1.1.3. Thông tin chuyển tiếp giữa các hành vi
Mỗi hành vi có liên quan đến các hành vi khác theo các điều kiện điều khiển. Các điều kiện đó được gọi là thông tin chuyển tiếp. Mỗi một chuyển tiếp đều có 3 thành phần cơ bản đó là hành vi nguồn, hành vi đích và điều kiện . Một chuyển tiếp từ hành vi này đến hành vi khác có thể có điều kiện hoặc không có điều kiện (Bao gồm các biểu thức được tính giá trị để cho phép hoặc cấm chuyển tiếp đó). Việc chuyển tiếp trong một tiến trình có thể diễn ra một cách trình tự hoặc song song. Các thông tin có liên quan được kết hợp với các điều kiện gia nhập (join) hoặc điều kiện phân tách (split) được định nghĩa trong hành vi tương ứng. Phạm vi của một chuyển tiếp cụ thể là cục bộ đối với định nghĩa tiến trình chứa nó.
Đối với các chuyển tiếp phức tạp, chúng không thể được biểu diễn bằng cách sử dụng các chuyển tiếp cơ bản và các chức năng gia nhập và phân tách, chúng được hình thành bằng cách sử dụng các hành vi giả, là hành vi có thể được xác định như những bước chuyển trung gian giữa các hành vi thực để cho phép phối hợp bổ xung vào các thao tác gia nhập và phân tách.
3.1.1.4. Khai báo thành phần tham gia Workflow
Phần này cung cấp cách mô tả các tài nguyên đóng vai trò như là người thực thi các hành vi khác nhau trong định nghĩa tiến trình. Các tài nguyên cụ thể, có thể được gán để thực hiện các hành vi cụ thể, chúng được định rõ như một thuộc tính của hành vi đó. Thao tác gán là việc kết nối hành vi đó với một tập các tài nguyên (trong khai báo tài nguyên Workflow). Các tài nguyên này có thể được cấp phát cho hành vi đó. Việc khai báo thành phần tham gia Workflow không nhất thiết phải là con người hoặc một cá nhân riêng biệt, nhưng cũng có thể xác định một tập các cá nhân có cùng kỹ năng hoặc trách nhiệm, hoặc một tài nguyên tự động như máy móc. Siêu mô hình bao gồm một vài kiểu tài nguyên có thể được định nghĩa trong thành phần khai báo thành phần tham gia Workflow.
3.1.1.5. Kho tài nguyên
Kho tài nguyên chứa các thành phần tham gia. Đó có thể là con người, là các chương trình, hoặc các máy móc thiết bị. Trong nhiều trường hợp việc khai báo
thành phần tham gia có thể tham chiếu đến kho tài nguyên, kho tài nguyên có thể là một mô hình tổ chức trong trường hợp thành phần tham gia là con người.
3.1.1.6. Khai báo ứng dụng Workflow
Phần này cung cấp sự mô tả các ứng dụng IT hoặc các giao diện có thể được triệu gọi bởi các dịch vụ Workflow nhằm mục đích hỗ trợ tự động một phần hoặc tự động hoàn toàn việc thực thi một hành vi. Các ứng dụng như vậy có thể là các công cụ công nghiệp chung, hoặc các dịch vụ xí nghiệp cụ thể, hoặc các thủ tục cục bộ đã được cài đặt trong framework của hệ thống quản lý Workflow đó. Việc định nghĩa các ứng dụng Workflow phản ánh giao diện giữa Workflow engine với các ứng dụng đó.
3.1.1.7. Dữ liệu liên quan đến Workflow
Phần này định nghĩa dữ liệu được tạo ra và sử dụng trong mỗi bản sao tiến trình trong quá trình thực thi. Dữ liệu đó luôn sẵn sàng cho các hành vi hoặc các ứng dụng trong Workflow và có thể được sử dụng nhằm chuyển những thông tin liên tục hoặc các kết quả trung gian để tính toán các biểu thức điều kiện như là trong các chuyển tiếp hoặc để gán các thành phần tham gia. Dữ liệu liên quan đến Workflow có kiểu xác định. Các hành vi, các ứng dụng được triệu gọi và/hoặc các điều kiện chuyển tiếp có thể tham chiếu tới dữ liệu liên quan Workflow.
3.1.1.8. Dữ liệu môi trường và dữ liệu hệ thống
Đây là dữ liệu được bảo trì bởi hệ thống quản lý Workflow hoặc môi trường hệ thống cục bộ, nhưng cũng có thể được truy cập bởi các hành vi hoặc được sử dụng bởi hệ thống Workflow đó trong việc tính toán các biểu thức điều kiện một cách tương tự như dữ liệu liên quan Workflow.
3.1.1.9. Các kiểu dữ liệu và các biểu thức
Siêu mô hình đưa ra một số các kiểu dữ liệu chuẩn như ( kiểu chuỗi, kiểu số nguyên, kiểu số thực, kiểu thời gian). Các biểu thức có thể sự dụng các kiểu dữ liệu đó để hỗ trợ việc tính toán. Ngoài ra còn hỗ trợ một số kiểu mở rộng khác.