Cách thứ nhất:
Đầu tiên chúng tôi tiến hành pha tạp Er3+ theo phương pháp đồng bốc bay với quy trình tương tự chế tạo dây nano Si với vật liệu nguồn là SiO. Chúng tôi quan sát thấy rằng có dây Si mọc trên phiến Si.
Cách thứ hai:
Tiếp theo sau khi tiến hành tổng hợp được dây nano Si chúng tôi tách dây Si bằng cách rung siêu âm trong 30 phút. Tạo được dung dịch có dây nano Si.
Lấy dung dịch trên pha với hỗn hợp dung dịch Er3+ + Ethanol (0.5 g +500 ml). Sau đó cho dung dịch này khuấy trong 2h ở nhiệt độ phòng.
Với hỗn hợp dung dịch tổng hợp chúng tôi đem quay phủ theo quy trình sau: - Nâng nhiệt độ của lò lên 900oC.
- Quay phủ hỗn hợp trên lên phiến Si. - Đặt phiến Si vào lò trong thời gian 1 phút.
- Lặp lại quá trình quay phủ và ủ nhiệt 25 lần (thay đổi số lần quay phủ từ 5
đến 25 lần)
- Lần 25 sử lý nhiệt trong thời gian 30 phút.
Cách thứ ba:
Cách pha tạp Er3+ tiếp theo được tiến hành theo các bước sau: - Đầu tiên cho 4,42 ml TEOS vào bình phản ứng.
- Cho 20,5 ml C2H5OH (Ethanol) vào bình và khuấy trong thời gian 10 phút. - Nhỏ từ từ hỗn hợp H2O + HCl vào bình (axit làm chất xúc tác phản ứng). - Nhỏ 2.3 ml dung dịch ErCl3.6H2O vào bình.
- Nâng nhiệt độ lên 70oC khuấy tiếp trong thời gian 2 giờ. - Để hỗn hợp Soll nguội và quay phủ.
- Nâng nhiệt độ của lò lên 900oC.
- Quay phủ hỗn hợp trên lên phiến Si đã tổng hợp được dây nano Si - Đặt phiến Si vào lò trong thời gian 1 phút.
- Lặp lại quá trình quay phủ và ủ nhiệt 25 lần (thay đổi số lần quay phủ từ 5
đến 25 lần)
Cách thứ tư: Pha tạp Er3+ nhỏ phủ và ủ nhiệt
Tạo dung dịch chứa ion đất hiếm bằng cách Er3+ + C2H5OH (0.5 g+500 ml), khuấy trong 2h ở nhiệt độ phòng.
Nhỏ hỗn hợp đã thu được và quay phủ lên phiến Si (có dây nano Si) theo quy trình sau:
- Ủ nhiệt phiến Si trong thời gian 1 phút ở 900oC. - Lặp lại quá trình 25 lần
- Lần 25 sử lý nhiệt trong thời gian 2 giờở nhiệt độ 1000oC và 1100oC