Bộ kích hoạt được dùng trong micromotor quay có cấu trúc răng lược với các răng lược dạng cong. Cấu tạo và nguyên tắc hoạt động của bộ kích hoạt này cũng giống với bộ kích hoạt răng lược thẳng. Hình 3.1 mô tả một bộ kích hoạt răng lược cong được dùng trong micromotor quay.
Cấu tạo một bộ kích hoạt răng lược gồm hai phần: phần động là điện cực (dầm) mang các răng lược di động (1) và phần tĩnh là điện cực mang các răng lược cố định (2). Các răng lược cố định được đặt đối xứng và xen kẽ về hai phía so với các răng lược di động. Dầm mang các răng lược di động được thiết kếđặc biệt với cổ dầm (tại điểm O) được thu hẹp để có thể dễ dàng lắc quanh vị trí điểm O. Các răng lược cong trên các điện cực có tâm quay trùng với điểm O (Hình 3.1).
z
x
Hình 3.1 Cấu tạo một bộ kích hoạt tĩnh điện kiểu răng lược
y
V
2
1
CHƯƠNG 3. MICROMOTOR QUAY VÀ THIẾT KẾ CẢI TIẾN
NGUYỄN ĐÌNH HƯỚNG 24
Hoạt động của bộ kích hoạt răng lược này dựa trên lý thuyết tĩnh điện. Nghĩa là, khi ta đặt điện áp (V ≠ 0) vào hai điện cực, phần trùng nhau của các cặp răng lược sẽ trở thành các tụ điện. Theo lý thuyết tĩnh điện sẽ sinh ra các lực tĩnh điện pháp tuyến và tiếp tuyến. Do thiết kế của bộ kích hoạt, các lực pháp tuyến sẽ bị triệt tiêu, chỉ còn các lực tiếp tuyến tác dụng. Hợp các lực tiếp tuyến này sẽ làm dầm lắc về bên phải. Khi điện áp đặt vào các cực (V = 0), dầm trở về vị trí cũ do lực đàn hồi tại cổ dầm O. Quá trình tác dụng liên tục của lực tĩnh điện (khi V ≠ 0) và lực
đàn hồi (khi V = 0) sẽ làm dầm lắc qua lắc lại. Ta sẽ sử dụng nguyên lý hoạt động này cho thiết kế của micromotor quay sau này. Hình dưới mô tả quá trình làm việc của bộ kích hoạt răng lược.