Phổ tán xạ năng lượng tia X, hay phổ tán xạ năng lượng là kỹ thuật phân tích thành phần hóa học của vật rắn dựa vào việc ghi lại phổ tia X phát ra từ vật rắn do tương tác với các bức xạ (mà chủ yếu là chùm điện tử có năng lượng cao trong các kính hiển vi điện tử). Trong các tài liệu khoa học, kỹ thuật này thường được viết tắt là EDX hay EDS xuất phát từ tên gọi tiếng Anh Energy-Dispersive X- ray Spectroscopy [15].
Nguyên lí EDX
Kỹ thuật EDX chủ yếu được thực hiện qua kính hiển vi điện tử, trong đó, ảnh vi cấu trúc vật rắn được chi lại thông qua việc sử dụng chùm điện tửcó năng lượng cao tương tác với vật rắn được ghi lại thông qua việc sử dụng chùm điện tửcó năng lượng cao tương tác với vật rắn. Khi chùm điện tử có năng lượng lớn được chiếu vào vật rắn, nó sẽđâm xuyên sâu vào nguyên tử vật rắn và tương tác với các lớp điện tử bên trong của nguyên tử. Tương tác này dẫn đến việc tạo ra các tia X có bước sóng đặc trưng tỉ lệ với số nguyên tử (Z) của nguyên tửtheo định luật Mosley:
27
Có nghĩa là, tần số tia X phát ra là đặc trưng với nguyên tử của mỗi chất có mặt
trong chất rắn. Việc ghi nhận phổ tia X phát ra từ vật rắn sẽ thông tin về các nguyên tố
hóa học có mặt trong mẫu đồng thời cho các thông tin về tỉ phần các nguyên tố này.
Có nhiều thiết bị phân tích EDX nhưng chủ yếu EDX được phát triển trong các
kính hiển vi điện tử, ở đó các phép phân tích được thực hiện nhờ các chùm điện tử có năng lượng cao và được thu hẹp nhờ các chùm điện tử có năng lượng cao và được thu hẹp
nhờ hệ thấu kính điện tử. Phổ tia X phát ra sẽ có tần số (năng lượng photon tia X) trải
trong một vùng rộng và được phân tích nhờ phổ kế tán sắc năng lượng do đó ghi nhận
thông tin về các nguyên tố cũng như thành phần. Kỹ thuật EDX được phát triển từ những năm 1960 và thiết bị thương phẩm xuất hiện vào đầu những năm 1970 với việc sử dụng
detector dịch chuyển Si, Li hoặc Ge.
Hình 2.3. Nguyên lý của phép phân tích EDX
Khi chùm điện tửcó năng lượng cao tương tác với các lớp vỏđiện tử bên trong của nguyên tử vật rắn, phổtia X đặc trưng sẽđược ghi nhận.
Thực nghiệm: Phổ tán xạ năng lượng tia X của vật liệu được đo bằng máy JED- 2300-Analysis station, JEOL, tại bộ môn chất rắn, khoa vật lý, Đại học khoa học tự nhiên – Đại học Quốc Gia Hà Nội.