Trong nghiên cứu này chúng ta sử dụng hệ thống phún xạ một chiều Magnetron (hình 3.5). Với hệ thống bơm sơ cấp và bơm khuếch tán có thể hút buồng tới áp suất đạt 10−5torr. Buồng với hệ thống đầu dò đo áp suất buồng và hệ điều chỉnh van kim đưa khí làm vào. Đế được lắp bếp gia nhiệt khi làm việc với nhiệt độ cần thiết. Khí phản ứng Ar(99.999%) với lưu lượng Q=25sccm.
Trong quá trình tạo màng đa lớp, chúng tôi sử dụng đồng thời ba hệ Magnetron tương ứng với các bia GZO, Ti, Ag trong buồng chân không như hình (3.6).
Hình 3.6 :Cấu tạo bên trong của buồng chân không
Hệ Magnetron vuông dùng cho bia GZO: có kích thước như sau:
Độ cao của nam châm: 2,0cm.
Bề dày vòng nam châm ngoài: 1,5cm.
Đường kính cục nam châm trong: 2,5cm.
Khoảng cách giữa vòng nam châm trong và ngoài, là độ rộng của áo nước giải nhiệt: 1,4cm.
Áo nước giải nhiệt được làm bằng đồng. Cường độ từ trường của nam châm riêng lẻ là 1000 Gauss. Sau khi lắp ráp, cường độ từ trường trên bề mặt bia tại vùng bị bắn phá là 450 Gauss.
Hệ Magnetron tròn dùng cho bia Ag
Hệ Magnetron được thiết kế như hình (3.8) với kích thước như sau:
Độ cao của nam châm: 2,5cm.
Bề dày vòng nam châm ngoài (dạng hình vành khăn): 1cm.
Đường kính cục nam châm trong: 4,8cm.
Khoảng cách giữa vòng nam châm trong và ngoài, là độ rộng của áo nước giải nhiệt: 1,4cm.
Áo nước giải nhiệt được làm bằng đồng. Cường độ từ trường của nam châm riêng lẻ là 1000 Gauss. Sau khi lắp ráp, cường độ từ trường trên bề mặt bia tại vùng bị bắn phá là 450 Gauss
Hình 3.8 : Hệ Magnetron tròn dùng cho bia Ag
Hệ Magnetron tròn dùng cho bia Ti (hình 3.9)
Độ cao của nam châm: 2,6cm.
Bề dày vòng nam châm ngoài (dạng hình vành khăn): 1cm.
Đường kính cục nam châm trong: 2,8cm.
Khoảng cách giữa vòng nam châm trong và ngoài, là độ rộng của áo nước giải nhiệt: 1,4cm.
Áo nước giải nhiệt được làm bằng đồng. Cường độ từ trường của nam châm riêng lẻ là 1000 Gauss. Sau khi lắp ráp, cường độ từ trường trên bề mặt bia tại vùng bị bắn phá là 450 Gauss
Hình 3.9 : Hệ Magnetron tròn dùng cho bia Ti