Kỹ thuật tạo màng bằng phương phỏp quay phủ ly tõm được mụ tả như sau: Dung dịch chứa chất tạo màng cựng dung mụi hũa tan của nú nhỏ xuống từng giọt trờn đế đó được xử lý đang quay với tốc độ xỏc định. Số giọt chất lỏng nhỏ xuống tựy thuộc vào yờu cầu về độ dày của lớp màng. Lưu ý rằng, trước khi tiến hành quay phủ cần phải kiểm tra xem mỏy bơm hỳt hoạt động cú tốt khụng để tạo lực hỳt mạnh, giữ chặt mẫu trờn trục quay, nếu khụng vật mẫu sẽ văng ra ngoài khi tiến hành quay phủ. Khi nhỏ chất lỏng xuống thỡ quỏ trỡnh sẽ tiến hành theo cỏc bước sau:
- Phủ, bắt đầu quay. - Kết thỳc giai đoạn quay
- Làm bay hơi
Trong giai đoạn phủ, một lượng chất lỏng được phủ lờn bề mặt chất nền. Trong giai đoạn spin-up, lớp chất lỏng hướng ra ngoài do bị chi phối bởi lực ly tõm. Khi lớp màng mỏng đi, tỷ lệ loại bỏ lớp chất lỏng này trong giai đoạn kết thỳc quay giảm xuống. Bởi màng càng mỏng thỡ sự cản trở dũng chảy càng lớn. Khi kết thỳc quỏ trỡnh quay phủ, lớp chất lỏng này chảy quanh chu vi của giỏ đỡ và tạo thành những giọt nhỏ.
Trong giai đoạn ba, sự bay hơi được xem là khõu cơ bản của việc làm mỏng lớp màng, đõy là điểm đặc trưng của phương phỏp quay so với cỏc phương phỏp khỏc.
Thuận lợi của phương phỏp này là lớp màng tạo ra cú tớnh đồng nhất về độ dày, khuynh hướng trờn xuất hiện là do sự cõn bằng của hai lực chớnh:
1. Lực ma sỏt do độ nhớt gõy ra.
2. Lực ly tõm điều chỉnh dũng chảy hướng ra ngoài.
Độ dày của lớp màng theo thời gian được tớnh theo cụng thức: h(t) = h0 [(1 + 4 2 h0 2 t)/3 ]-1/2 Trong đú: : vận tốc gúc t: thời gian
Đặt biệt là với ưu thế giữ được cấu trỳc phõn tử của cỏc polymer nờn phương phỏp này thường được lựa chọn cho việc chế tạo màng mỏng hữu cơ, vớ dụ như chế tạo màng dẫn lỗ trống, điện tử hoặc phỏt xạ trong cỏc OLED. Từ quỏ trỡnh thực hiện cho thấy quỏ trỡnh tạo màng bằng phương phỏp quay phủ rất đơn giản, khụng đũi hỏi về chõn khụng khắc khe như cỏc phương phỏp lắng đọng pha hơi vật lý.