... VI CẢM BIẾN ĐO ÁP SUẤT MEMS KIỂU ĐIỆN DUNG 10 1.1 áp suất cảm biến áp suất 10 1.2 Các dạng cảm biến áp suất MEMS kiểu tụ tiêu biểu 12 1.3 Vật liệu công nghệ chế tạo cảm ... kế cảm biến đo áp suất MEMS kiểu diện dung độ nhạy cao phù hợp với cụng nghệ ăn mòn khô ’’cho phép rút số kết luận sau: - Đã phát triển cấu trúc cảm biến áp suất dựa cấu trúc màng cảm biến áp suất ... cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung 1.2 Các dạng cảm biến áp suất MEMS kiểu tụ tiêu biểu 1.2.1 Vi cảm biến áp suất kiểu tụ sử dụng màng vuông Cấu trúc cảm
Ngày tải lên: 17/12/2015, 06:47
... Lời cam đoan Lời cảm ơn Mục lục Mở đầu Chương Tổng quan cảm biến áp suất MEMS kích thước nhỏ .5 1.1 áp suất cảm biến áp suất 1.2 Các dạng cảm biến áp suất ... 0.101325 N/mm2 = 1,033 kf/cm2 1.1.2 Cảm biến đo áp suất Cảm biến đo áp suất quan tâm nghiên cứu nhiều trung tâm giới Đã có nhiều loại thành phẩm cảm biến đo áp suất chế tạo dựa công nghệ khác thương ... có hai phương pháp sử dụng rộng rãi cảm biến kiểu áp trở cảm biến kiểu tụ trình bày 1.2.1 Cảm biến đo áp suất MEMS kiểu áp trở Cấu trúc cảm biến sử dụng thường màng vuông có cấy áp điện trở kiểu
Ngày tải lên: 21/11/2016, 22:02
Tìm hiểu về cảm biến đo áp suất chất lưu
... cứu nguyên lí cấu tạo cảm biến đo áp suất chất lưu - Nghiên cứu chế hoạt động cảm biến đo áp suất chất lưu - Nghiên cứu thông số đo lường phạm vi ứng dụng cảm biến đo áp suất chất lưu Phương pháp ... chế tạo cảm biến kĩ thuật khuyếch tán planar Sơ đồ nguyên lý cảm biến áp trở: Hình 2.7a: Sơ đồ nguyên lý cấu tạo cảm biến áp điện Trong cảm biến này, đế silic loại N đảm bảo chuyển đổi áp suất ... đề tài tìm hiểu vấn đề sau: Vài nét khái quát cảm biến nói chung Cảm biến đo áp suất chất lưu: - Áp suất đơn vị đo áp suất - Nguyên tắc đo áp suất chất lưu trường hợp chất lưu không chuyển
Ngày tải lên: 12/05/2018, 11:00
Nghiên cứu thiết kế cảm biến đo áp suất mems kiểu áp trở độ nhạy cao
... Lời cam đoan Lời cảm ơn Mục lục Mở đầu Chơng Tổng quan cảm biến áp suÊt MEMS kÝch thíc nhá .5 1.1 áp suất cảm biến áp suất 1.2 C¸c dạng cảm biến áp suất MEMS ... 0.101325 N/mm2 = 1,033 kf/cm2 1.1.2 Cảm biến đo áp suất Cảm biến đo áp suất đợc quan tâm nghiên cứu nhiều trung tâm giới Đã có nhiều loại thành phẩm cảm biến đo áp suất chế tạo dựa công nghệ khác ... hai phơng pháp đợc sử dụng rộng rãi cảm biến kiểu áp trở cảm biến kiểu tụ đợc trình bày dới 1.2.1 Cảm biến đo áp suất MEMS kiểu áp trở Cấu trúc cảm biến sử dụng thờng màng vuông có cấy áp điện trở
Ngày tải lên: 25/01/2019, 15:19
Cảm biến đo áp suất bằng phương pháp cân bằng thủy tĩnh
... Bên cảm biến đo áp suất cảm biến đo mức nước thủy tĩnh (thả chìm) có ống thơng để hở Mục đích dùng để so sánh giữ áp suất tác động lên màng cảm biến áp suất khí Phần : Kiểu cảm biến áp suất I Cảm ... Ứng dụng Cảm biến đo áp suất thủy tĩnh phương pháp đo mức liên tục dựa nguyên lý đo áp suất chất lỏng Cảm biến đo áp suất thủy tĩnh ngày nhiều công ty , nhà máy , nhà máy nước , khu xử lý nước ... THUẬT ĐO LƯỜNG Xin chào cô giáo ban ! NỘI DUNG THUYẾT TRÌNH Trình bày cảm biến đo áp suất phương pháp cân thủy tĩnh ( cảm biến áp suất kiểu phao kiểu chuông) Phần : CÂN BẰNG THỦY TĨNH I Áp suất
Ngày tải lên: 11/05/2021, 11:05
TÌM HIỂU VỀ CẢM BIẾN ĐO ÁP SUẤT VÀ LƯU LƯỢNG DÒNG CHẢY
... TÌM HIỂU VỀ CẢM BIẾN ĐO ÁP SUẤT VÀ LƯU LƯỢNG DỊNG CHẢY GVHD: Ths Phạm Xn Hơ Thực hiện: Nhóm MỤC LỤC CHƯƠNG I CẢM BIẾN ÁP SUẤT Lý thuyết 1.1 Khái niệm nguyên lý đo áp suất Áp suất tỉ số lực ... loại đo chênh áp có ngõ vào áp suất thay loại đo áp suất tương đối tuyệt đối Hình 1.11 Cấu tạo loại đo áp suất đo chênh áp Tên cảm biến quy rõ ràng để người dùng lựa chọn theo yêu cầu đo Áp suất ... thể thạch anh, loại gốm áp điện, lithium niobate,… Các cảm biến áp suất ứng dụng 2.1 Cảm biến áp suất P-3000S 2.1.1 Nguyên lý hoạt động P-3000S cảm biến áp suất theo kiểu áp điện trở bán dẫn (Si)
Ngày tải lên: 14/11/2021, 10:32
Báo Cáo Tuần 3 Kỹ Thuật Cảm Biến Cảm Biến Đo Ánh Sáng Và Cảm Biến Đo Áp Suất.pdf
... capacitance), và áp biến (piezoelectric) Trong đó cảm biến áp suất BMP180 thuộc dạng áp biến Áp biến là một loại cảm biến điện tử có thể đo áp suất Nguyên lý hoạt động của áp biến dựa trên sự thay ... là 1 lux II Cảm biến áp suất(BMP180) Cảm biến áp suất BMP180 là loại cảm biến đo áp suất khí quyển, với dữ liệu đầu ra dạng số với độ chính xác cao Do tiêu thụ ít năng lượng nên cảm biến này được ... màng áp xác định có thể tính ra áp lực Cấu tạo bên trong của cảm biến đo áp suất Có ba loại cảm biến áp suất phổ biến nhất là dạng cầu (strain gage based), biến dung (variable capacitance), và áp
Ngày tải lên: 04/05/2024, 12:48
ứng dụng hiệu ứng tenzo cho việc chếtạo cảm biến đo áp suất
... Kỹ thuật đo lường (4) GV: Hoàng Sĩ Hồng ứng dụng hiệu ứng tenzo cho việc chế tạo cảm biến đo áp suất ứng dụng hiệu ứng tenzo cho việc chế tạo cảm biến đo áp suất Nhiệt điện trở (RTD) ... chủa RTD,NTD chủ yếu đo nhiệt độ, đo đại lượng không điện đo di chuyển, áp suất, nồng độ số chất khí Các kiểu dây RTD thông dụng • Sư khác sử dụng 2,3 dây ? Mạch đo phương pháp nguồn dòng Nguồn ... điện colecto (Ic) không đổi Nguyên lý Nguyên lý Bù phi tuyến IC LM35 Chuyển đổi điện tử ion • Nguyên lý chung: dựa vào thay đổi dòng ion dòng điện tử tác dụng đại lượng đo • Chuyển đổi điện tử:
Ngày tải lên: 10/08/2016, 10:00
Giáo trình hình thành hệ thống ứng dụng nguyên lý nén khí trong áp suất tỏa nhiệt p1 docx
... Hơi nớc quá nhiệt ở áp suất p 1 = 10 bar, nhiệt độ t 1 = 300 0 C lu động qua ống tăng tốc nhỏ dần vào môi trờng trong hai trờng hợp: a) có áp suất p 2 = 7 bar, b) có áp suất p 2 = 4 bar, ... khí ẩm Bài tập 1.60 Máy nén lý tởng mỗi giờ nén đợc 100 m 3 không khí từ áp suất p 1 = 1 at, nhiệt độ t 1 = 27 0 C đến áp suất p 2 = 8 at theo quá trình đa biến với n = 1,2. Xác định công ... trình: quá trình dãn nở đoạn nhiệt trong tuốc bin, ngng tụ đẳng áp trong bình ngng, nén đoạn nhiệt trong bơm, cấp nhiệt đẳng áp trong lò hơi và bộ quá nhiệt. Hiệu suất nhiệt của chu trình
Ngày tải lên: 10/08/2014, 08:21
Giáo trình hình thành hệ thống ứng dụng nguyên lý nén khí trong áp suất tỏa nhiệt p2 pot
... nớc có nhiệt độ và áp suất vào tuabin t 1 = 500 0 C, p 1 = 100 bar, áp suất bình ngng p 2 = 0,05 bar Xác định hiệu suất nhiệt và công của chu trình. Lời giải Hiệu suất nhiệt của chu ... máy nén là hơi bão hoà khô ở áp suất p 1 = 1 bar, áp suất sau khi nén p 2 = 5 bar, công của máy nén N = 50 KW. Xác định hệ số làm lạnh, lợng môi chất lạnh, năng suất lạnh của máy lạnh. Lời ... dãn nở đoạn nhiệt trong tua bin, entanpi giảm đi 150 kJ/kg, sau đó hơI nớc ngng tụ đẳng áp trong bình ngng thảI nhiệt 280. Xác định hiệu suất nhiệt của chu trình. Lời giải Hiệu suất nhiệt
Ngày tải lên: 10/08/2014, 08:21
Giáo trình hình thành hệ thống ứng dụng nguyên lý nén khí trong áp suất tỏa nhiệt p4 pps
... khi đánh bắt, giết mổ xuống nhiệt độ bảo quản Có hai chế độ xử lý lạnh sản phẩm là xử lý lạnh và xử lý lạnh đông Trang 10 a) Xử lý lạnh là làm lạnh các sản phẩm xuống đến nhiệt độ bảo quản lạnh ... lạnh và diện tích buồng lạnh cũng giảm Đối với chế biến thịt thường sử dụng phương pháp 01 pha Đối với hàng thuỷ sản do phải qua khâu chế biến và tích trữ trong kho chờ đông nên thực tế diễn ... nổi tiếng “Bàn về nguyên nhân của nóng và lạnh“ đã cho rằng: Những quá trình sống và thối rửa diễn ra nhanh hơn do nhiệt độ cao và kìm hãm chậm lại do nhiệt độ thấp Thật vậy, biến đổi của thực
Ngày tải lên: 10/08/2014, 08:21
Giáo trình hình thành hệ thống ứng dụng nguyên lý nén khí trong áp suất tỏa nhiệt p5 pps
... nhất chỉ có thể ở thể lỏng, ở nhiệt độ bình thờng áp suất ngng tụ của CO 2 đạt gần 100at. Vì vậy để giảm áp suất bảo quản CO 2 xuống áp suất dới 20 kG/cm 2 cần thiết phải hạ nhiệt độ bảo ... tính chất đó ngời ta sử dụng metanol để rửa và làm sạch các chất khí thô ở áp suất cao. Quá trình rửa thực hiện ở áp suất 20 bar và nhiệt độ - 75 o C. Khi hấp thụ CO 2 , nhiệt độ metanol tăng ... dới áp suất từ 10ữ35 bar và nhiệt độ tới -100 o C với êtylen là môi chất lạnh. Sản phẩm thu đợc là êtylen, propylen và các ôlefin khác nhau. Êtylen cũng có thể sản xuất bằng 13 phơng pháp
Ngày tải lên: 10/08/2014, 08:21
Nghiên cứu, chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý cảm biến tụ điện đồng phẳng
... chênh lệch áp suất, cảm biến lưu lượng điện từ, cảm biến lưu lượng Coriolis, cảm biến lưu lượng siêu âm [3] Cảm biến lưu lượng dựa vào chênh lệch áp suất loại này hoạt động dựa vào nguyên lý Bernoulli ... nhiên cảm biến điện từ có giá thành cao hơn so với cảm biến lưu lượng kiểu chênh lệch áp suất Trang 21Cảm biến lưu lượng Coriolis là nhóm cảm biến đo lưu lượng khá phổ biến Chúng thực hiện đo trực ... Chương 2 CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG 18 2.3 Các hiện tượng vật lý của cảm biến điện dung 27 2.4 Nguyên lý của cảm biến chất lỏng điện dung kiểu ɛ 28 2.5 Cảm biến tụ kép vi sai 32 2.4 Mạch đo: 32 Chương
Ngày tải lên: 25/03/2015, 11:07
Nghiên cứu, chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý cảm biến tụ điện đồng phẳng : Luận văn ThS. Kỹ thuật điện tử - Viễn thông: 60 52 02 03
... Chƣơng CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG 18 2.3 Các tượng vật lý cảm biến điện dung 27 2.4 Nguyên lý cảm biến chất lỏng điện dung kiểu ɛ 28 2.5 Cảm biến tụ kép vi sai 32 2.4 Mạch đo: ... Hình Cảm biến dịng chảy dựa ngun lý tụ điện đồng phẳng 36 Hình 3 Kênh dẫn cho cảm biến sử dụng ống truyền y tế 36 Hình Sơ đồ nguyên lý mạch điện tử cảm biến 37 Hình Mạch nguồn cảm ... cực hình thành cảm biến điện dung [2] 15 Hình 1.3 Mơ hình xử lý cảm biến với tín hiệu thời gian thực [5] 16 Hình Cảm biến lưu lượng kiểu lỗ tròn 19 Hình 2 Cảm biến lưu lượng
Ngày tải lên: 23/09/2020, 23:04
Nghiên cứu, chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý cảm biến tụ điện đồng phẳng
... Chƣơng CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG 2.3Các tượng vật lý cảm biến điện dung 2.4Nguyên lý cảm biến chất lỏng điện dung kiểu 2.5Cảm biến tụ kép vi sai 2.4Mạch đo: Chƣơng THIẾT KẾ CHẾ TẠO CẢM ... Hình Cảm biến siêu âm Dropler [3] Hình 2.5 Cảm biến siêu âm xuyên thẳng [3] Hình a,b,c- Cảm biến chất lỏng theo phương pháp thủy tĩnh Hình Cảm biến đo xạ xác định mức c Hình Cảm biến ... thành cảm biến điện dung [2] Hình 1.3 Mơ hình xử lý cảm biến với tín hiệu thời gian thực [5] Hình Cảm biến lưu lượng kiểu lỗ trịn Hình 2 Cảm biến lưu lượng điện từ [3] Hình Cảm biến
Ngày tải lên: 11/11/2020, 22:06
(Luận văn thạc sĩ) nghiên cứu, chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý cảm biến tụ điện đồng phẳng
... Chƣơng CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG 18 2.3 Các tượng vật lý cảm biến điện dung 27 2.4 Nguyên lý cảm biến chất lỏng điện dung kiểu ɛ 28 2.5 Cảm biến tụ kép vi sai 32 2.4 Mạch đo: ... Hình Cảm biến dịng chảy dựa ngun lý tụ điện đồng phẳng 36 Hình 3 Kênh dẫn cho cảm biến sử dụng ống truyền y tế 36 Hình Sơ đồ nguyên lý mạch điện tử cảm biến 37 Hình Mạch nguồn cảm ... cực hình thành cảm biến điện dung [2] 15 Hình 1.3 Mơ hình xử lý cảm biến với tín hiệu thời gian thực [5] 16 Hình Cảm biến lưu lượng kiểu lỗ tròn 19 Hình 2 Cảm biến lưu lượng
Ngày tải lên: 05/12/2020, 11:43
Nghiên cứu chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý cảm biến tụ điện đồng phẳng
... Chƣơng CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG 18 2.3 Các tượng vật lý cảm biến điện dung 27 2.4 Nguyên lý cảm biến chất lỏng điện dung kiểu ɛ 28 2.5 Cảm biến tụ kép vi sai 32 2.4 Mạch đo: ... Hình Cảm biến dịng chảy dựa ngun lý tụ điện đồng phẳng 36 Hình 3 Kênh dẫn cho cảm biến sử dụng ống truyền y tế 36 Hình Sơ đồ nguyên lý mạch điện tử cảm biến 37 Hình Mạch nguồn cảm ... cực hình thành cảm biến điện dung [2] 15 Hình 1.3 Mơ hình xử lý cảm biến với tín hiệu thời gian thực [5] 16 Hình Cảm biến lưu lượng kiểu lỗ tròn 19 Hình 2 Cảm biến lưu lượng
Ngày tải lên: 16/03/2021, 11:20
Nghiên cứu tích hợp hệ thống cơ điện tử cho thiết bị khảo sát biên độ áp suất ổ thủy động
... giải pháp số hóa cho thiết bị khảo sát biên 79 độ áp suất ổ thủy động Giải pháp tối ưu cho việc đo lấy áp suất sử dụng cảm biến áp suất WIKA-E10-4364844 Vi xử lý ESP32 thu thập tín hiệu áp suất ... khảo sát đo biên độ áp suất ổ thủy động tương ứng với giá trị tốc độ (n) tải trọng (W) vùng khảo sát Thiết bị khảo sát sử dụng cảm biến áp suất để đo lấy tín hiệu áp suất, tín hiệu áp suất thu ... đầu đo .56 Hình 2.16: Cảm biến áp suất WIKA-E10-4364844 58 Hình 2.17: Sơ đồ kết cảm biến áp suất 59 Hình 2.18 Sơ đồ kết nối bàn phím .60 Hình 2.19 Sơ đồ nguyên lý
Ngày tải lên: 07/04/2021, 09:40
Nghiên cứu tích hợp hệ thống cơ điện tử cho thiết bị khảo sát biên độ áp suất ổ thủy động
... giải pháp số hóa cho thiết bị khảo sát biên 79 độ áp suất ổ thủy động Giải pháp tối ưu cho việc đo lấy áp suất sử dụng cảm biến áp suất WIKA-E10-4364844 Vi xử lý ESP32 thu thập tín hiệu áp suất ... khảo sát đo biên độ áp suất ổ thủy động tương ứng với giá trị tốc độ (n) tải trọng (W) vùng khảo sát Thiết bị khảo sát sử dụng cảm biến áp suất để đo lấy tín hiệu áp suất, tín hiệu áp suất thu ... đầu đo .56 Hình 2.16: Cảm biến áp suất WIKA-E10-4364844 58 Hình 2.17: Sơ đồ kết cảm biến áp suất 59 Hình 2.18 Sơ đồ kết nối bàn phím .60 Hình 2.19 Sơ đồ nguyên lý
Ngày tải lên: 26/04/2021, 11:49
Nghiên cứu tích hợp hệ thống cơ điện tử cho thiết bị khảo sát biên độ áp suất ổ thủy động
... giải pháp số hóa cho thiết bị khảo sát biên 79 độ áp suất ổ thủy động Giải pháp tối ưu cho việc đo lấy áp suất sử dụng cảm biến áp suất WIKA-E10-4364844 Vi xử lý ESP32 thu thập tín hiệu áp suất ... khảo sát đo biên độ áp suất ổ thủy động tương ứng với giá trị tốc độ (n) tải trọng (W) vùng khảo sát Thiết bị khảo sát sử dụng cảm biến áp suất để đo lấy tín hiệu áp suất, tín hiệu áp suất thu ... đầu đo .56 Hình 2.16: Cảm biến áp suất WIKA-E10-4364844 58 Hình 2.17: Sơ đồ kết cảm biến áp suất 59 Hình 2.18 Sơ đồ kết nối bàn phím .60 Hình 2.19 Sơ đồ nguyên lý
Ngày tải lên: 27/04/2021, 15:31
Bạn có muốn tìm thêm với từ khóa: