Tài liệu tham khảo |
Loại |
Chi tiết |
[1] . Đinh Văn Dũng(2004), Nghiên cứu chế tạo cảm biến vi cơ trên cơ sở hiệu ứng áp trở, Luận án tiến sĩ Vật lý, Thư viện Trường ĐHSP Hà Nội 2 |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Nghiên cứu chế tạo cảm biến vi cơ trên cơ sở hiệu ứng áp trở |
Tác giả: |
Đinh Văn Dũng |
Năm: |
2004 |
|
[3]. Đ. V. Dũng, V .N. Hùng, T. Q. Thông, N. Đ. Chiến (12/ 2001), “Nghiên cứu thiết kế sensor áp suất kiểu cầu điện trở”, Hội nghị Khoa học lần thứ 19 – Trường Đại học Bách Khoa Hà nội, Tuyển tập Công trình Khoa học 2001, Ph©n ban VËt lý Kü thuËt, tr. 33 – 37 |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Nghiên cứu thiết kế sensor áp suất kiểu cầu điện trở”, "Hội nghị Khoa học lần thứ 19 – Trường Đại học Bách Khoa Hà nội, Tuyển tập Công trình Khoa học 2001, Ph©n ban VËt lý Kü thuËt |
|
[4]. Đinh Văn Dũng (2010), “Cải thiện phân bố ứng suất và nâng cao độ nhạy đối với cảm biến áp suất MEMS kiểu áp trở dựa trên giải pháp màng 4 góc mỏng”, Tạp chí Khoa học và Công nghệ, ISSN 0868 – 3980, Các trường Đại học Kĩ thuật |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Cải thiện phân bố ứng suất và nâng cao độ nhạy đối với cảm biến áp suất MEMS kiểu áp trở dựa trên giải pháp màng 4 góc mỏng"”, "Tạp chí Khoa học và Công nghệ |
Tác giả: |
Đinh Văn Dũng |
Năm: |
2010 |
|
[5] . Nguyễn Văn Phái, Trương Tích Thiện, Nguyễn Tường Long, Nguyễn Định Giang (2006), Giải bài toán cơ kỹ thuật bằng chương trình ANSYS, Nhà xuất bản Khoa học Kỹ thuật Hà nội |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Giải bài toán cơ kỹ thuật bằng chương trình ANSYS |
Tác giả: |
Nguyễn Văn Phái, Trương Tích Thiện, Nguyễn Tường Long, Nguyễn Định Giang |
Nhà XB: |
Nhà xuất bản Khoa học Kỹ thuật Hà nội |
Năm: |
2006 |
|
[6]. Phan Quốc Phô, Nguyễn Đức Chiến (2008), Giáo trình cảm biến, Nhà xuất bản Khoa học và kỹ thuật |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Giáo trình cảm biến |
Tác giả: |
Phan Quốc Phô, Nguyễn Đức Chiến |
Nhà XB: |
Nhà xuất bản Khoa học và kỹ thuật |
Năm: |
2008 |
|
[8]. Nguyễn Thành Long (2009) Nghiên cứu mô hình hóa cấu trúc và mô phỏng các đặc trưng hoạt động của cảm biến áp suất MEMS kích thước nhỏ, Thư viện Trường ĐHSP Hà Nội 2 |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Nghiên cứu mô hình hóa cấu trúc và mô "phỏng các đặc trưng hoạt động của cảm biến áp suất MEMS kích thước nhỏ |
|
[9]. Alavi. M, Buttgenbach. S, Schumacher. A, and Wagner. H. J (1992), “Fabrication of Microchannels by Laser Manchining and Anisotropic Etching of Silicon”, Sensors and Actuators, vol. A 32, pp. 299 – 302 |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Fabrication of Microchannels by Laser Manchining and Anisotropic Etching of Silicon”, "Sensors and Actuators |
Tác giả: |
Alavi. M, Buttgenbach. S, Schumacher. A, and Wagner. H. J |
Năm: |
1992 |
|
[10]. Boukabache. A, Pons. P, Blasquez. G and Dibi. Z (2000), “Characterization and modeling of the mismatch of TCRs and their effects on the drift of the offset voltage of piezoresistive pressure sensors”, Sensors and Actuators, vol. A 84, pp. 292 – 296 |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Characterization and modeling of the mismatch of TCRs and their effects on the drift of the offset voltage of piezoresistive pressure sensors”, "Sensors and Actuators |
Tác giả: |
Boukabache. A, Pons. P, Blasquez. G and Dibi. Z |
Năm: |
2000 |
|
[11]. D. V. Dung, T. Q. Thong , V. N. Hung and N. D. Chien (9/2001), “Design and fabrication of four – terminal silicon pressure sensor”, Communications in Physics, ISSN 0868 – 3166, vol .11, no .3, pp. 169- 174 |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Design and fabrication of four – terminal silicon pressure sensor”, "Communications in Physics |
|
[12]. D. V. Dung, T. Q. Thong, V. N. Hung and N. D. Chien (11/1999), “Using finitedifference method to calculate membrane deflection, stress distribution and pressure sensitivity of piezoresistive sensors”, Proceedings of the Third International Wordshop on Materials Science (IWOMS’99), Ha noi, pp. 853 – 856 |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Using finitedifference method to calculate membrane deflection, stress distribution and pressure sensitivity of piezoresistive sensors"”, "Proceedings of the Third International Wordshop on Materials Science (IWOMS’99) |
|
[13]. Dzung Viet Dao (2003), Study on Silicon Piezoresistive Six – Degree of Freedom Micro Force – Moment Sensors and Application to Fluid Mechanics, Doctoral Program in Science and Engineering Ritsumeikan University |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Study on Silicon Piezoresistive Six – Degree of Freedom Micro Force – Moment Sensors and Application to Fluid Mechanics |
Tác giả: |
Dzung Viet Dao |
Năm: |
2003 |
|
[14]. Kloeck. B, Collins. S. D, de Rooij N. F. and Smith. R. L (1989), “Study of electronchemical etch – stop for high precision thickness control of silicon membranes”, IEEE Transaction Electron Devices, vol. 36, no.4,pp. 663 – 669 |
Sách, tạp chí |
Tiêu đề: |
Study of electronchemical etch – stop for high precision thickness control of silicon membranes”, "IEEE Transaction Electron Devices |
Tác giả: |
Kloeck. B, Collins. S. D, de Rooij N. F. and Smith. R. L |
Năm: |
1989 |
|