hệ vi cơ điện tử mems

... Tổng quan về hệ vi cơ điện tử MEMS và hiệu ứng áp điện trở trong vật liệu bán dẫn silic. Tìm hiểu sơ lượt về công nghệ chế tạo, cũng như các vật liệu ứng dụng trong MEMS. Hiệu ứng áp điện trở trong ... áp suất khác nhau sử dụng công nghệ MEMS. Chương 2: Thiết kế và mô phỏng cảm biến áp suất áp điện trở. Trên cơ sở dùng phương pháp giải tích. Mô phỏng đặc tính cơ học của màng cảm biến dùng phần ... tập trung nghiên cứu trong lĩnh vực này. Đặc biệt khi có sự xuất hiện công nghệ vi cơ, mở ra khả năng mới trong vi c chế tạo linh kiện có kích thước thu nhỏ. Ngày nay, cảm biến áp suất silic...

... (disipated/absorbed) e = Rf  Thể hiệnmốiquanhệ tuyếntínhgiữatác động và biến đổi: Mô hình kếtkhối (lumped-model) Mô hình điệntrở (generalized resistor) 76 II. Cơ sở về cơ điện4 . Thiết kế qui trình chế tạo Thiếtkế ... cầucủathị trường, khả năng công nghệ kếthợp vớiý tưởng sáng tạol cơ sở cho vi cthựchiệnthiếtkế một linh kiệnMEMS . ) Các nguyên lý, định luậtvậtlýởởkích thước vi mô sẽđưa đến các hiệu ứng khác ... 5 MASK 6 Ví dụ thiếtkế cảmbiếngiatốcápđiệntrở 3 bậctự do 20 Kích thướccủahệ vậtlý Thu nhỏ kích thướcvàtínhchấtcơ học Tầnsố dao động riêng Đốivớihệ dao động cơ, có: SS S M k M k f 1 2 1 3 =∝∝= π )...

... vi c học đối với những người khiếm thính là rất khó khăn. Như ngày nay ở Vi t Nam vi c phổ cập giáo dục cho những người khiếm thính đã được quan tâm, nhưng vẫn còn rất hạn chế. Vì chỉ với vi c ... suy giảm bởi vi c tiếp cận Có thể bị hạn chế bởi chuyển động Từ vi c phân tích các phương pháp trên, em thấy rằng phương pháp dùng c ảm biến là phù hợp cho vi c xây dựng một hệ thống nhỏ gọn ... đếm của vi điều khiển mà không cần bộ biến đổi AD hay một bộ logic nào. Chu kỳ lối ra được hiệu chỉnh từ 0.5ms tới 10ms thông qua một điện trở (Rset). Nếu điện áp l ối ra được đề cập thì điện...

... được mô hình tối ưu 1.3 Đặc điểm thiết kế hệ cơ điện tử 1.3 Đặc điểm thiết kế hệ cơ điện tử Thiết kế cơ điện tử: 1.3 Đặc điểm thiết kế hệ cơ điện tử Tích hợp các thành phần Nhược điểm: ... tích hệ thống điều khiển phản hồi hở và điều khiển phản hồi kín) 1.2 Cấu trúc cơ bản của hệ cơ điện tử 1.1 Các khái niệm hệ thống cơ điện tử - Kasakawa electric: “ Thuật ngữ cơ điện tử (Mechatronics) ... - Không có các cơ cấu truyền động cơ khí vì vậy làm vi c không có lực tác dụng nên không hao mòn cơ học. 1.1 Các khái niệm hệ thống cơ điện tử 1.2 Cấu trúc cơ bản của hệ cơ điện tử Điều khiển: -...

... phụ. Trong điều khiển người ta sử dụng phần tử nhớ trung gian (ký hiệu x và x là tín hiệu ra của phần tử nhớ trung gian). Phương trình logic trên được vi t lại như sau: x.b.aA b.aB x.b.aB b.aA 01 11 01 00 = = = = − − + + ... ta vi t lại phương trình logic như sau: x.b.aA x.b.aB x.b.aB x.b.aA 01 11 01 00 = = = = − − + + Trong quy trình thêm một phần tử nhớ trung gian (Z), ta có tín hiệu ra để điều khiển phần tử ... nên phải thêm điều kiện phụ, đó là phần tử nhớ trung gian. Lệnh SET của phần tử nhớ trung gian sẽ nằm khối ở giữa + 1 B và − 1 B . Lệnh RESET của phần tử trung gian sẽ nằm khối giữa + 2 B ...

... bằng nhau. Sự chênh lệch điện áp giữa hai cuộn dây thứ cấp phụ thuộc vào vị trí của thanh sắt. Điện áp ra từ LVDT là điện áp xoay chiều. Điện áp này thờng đợc chuyển thành điện áp dc. Analog và ... thể áp điện (Hình 1.13(b)). Khi tinh thể điện áp bị nén, sẽ có sự chuyển dịch tơng đối các điện tích dsơng và âm trong trong tinh thể đó và các bề mặt phía ngoài của tinh thể sẽ tích điện. Do ... Hình 1.3 Các loại tín hiệu a)rời rạc; b)digital; c)analog Thời gian Điện áp Thời gian Điện áp Điện áp Thời gian a) c) b) Điện áp nguồn PLC Hình 1.4 Các bộ cảm biến công tắc PLC Đòn bẩy đuợc...

... đang tiến tới một hệ thống mới: Hệ thống cơ điện tử  Vi t Nam PGS. TSKH Phạm Thượng Cát đã định nghóa cơ điện tử như sau:  Cơ điện tử là một lĩnh vực khoa học và cơng nghệ được hình thành ... đồng thời cơ khí, điện tử và sự điều khiển bằng máy tính – hệ thống giao tiếp cơ điện. Giớithiệu 1 2 3 Đặc điểm và cấu trúc hệ thống Cơ điện tử 4 5 Lý thuyết thiết kế hệ thống Cơ điện tử Baùo ... thiết kế tối ưu các sản phẩm cơ điện. ” Cơ điện tử so với thiết kế cơ khí Cơ điện tử so với thiết kế điện tử/ phần mềm 1. Một trong các đặc tính quan trọng của cơ điện tử là tính vận hành theo logic....

... điều khiển tương ứng đến các cơ cấu chấp hành. Các cơ cấu chấp hành được sử dụng trong hệ thống là các van khí nén kích điện từ được điều khiển bằng tín hiệu điện, hệ thống xi lanh – pít tông ... kích điện từ. Hệ thống cơ điện tử sẵn có này chưa được thực hiện điều khiển và giám sát bằ ng một giao diện điều khiển trung tâm từ máy tính. Bài báo này trình bày phương pháp thực hiện vi c ... lưu trữ an toàn nên WinCC có tính hữu dụng cao. Hệ thống MPS (Modular Production System) là mô hình hệ thống sản xuất linh hoạt cơ điện tử của hãng FESTO gồm năm trạm, bao gồm: trạm cung...

... triển. 1.3 Một số hệ thống cơ điện tử ở các trường đại học trên thế giới. HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ  Vi t Nam PGS. TSKH Ph m Th ng Cát đã định nghóa cơ ạ ượ điện tử như sau:  Cơ điện tử là một lĩnh ... BAÛN LỊCH SỬ PHÁT TRIỂN CỦA CÁC HỆ CƠ HỌC, ĐIỆN, ĐIỆN TỬ LỊCH SỬ PHÁT TRIỂN & XU THẾ  Đặc trưng của Hệ cơ điện tử : 3 Mơ tả cơ bản :  Một là : Một hệ cơ điện tử tiếp nhận tín hiệu, Xử lý ... trong cơ điện tử CÁC KHÁI NIỆM CƠ BẢN Gần đây, Bolton đề xuất định nghĩa “Một hệ cơ điện tử không chỉ là sự kết hợp chặt chẽ các hệ cơ khí, điện và nó cũng không chỉ đơn thuần là một hệ điều...

... PHẦN CƠ BẢN CỦA HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ 2.2 CAÁU TRUÙC HEÄ THOÁNG CÔ ÑIEÄN TÖÛ CÁC THÀNH PHẦN CƠ BẢN CỦA HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ 2.1.TÍCH HỢP HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ CÁC THÀNH PHẦN CƠ BẢN CỦA HT CƠĐIỆN TỬ H.2. ... THÀNH PHẦN CƠ BẢN CỦA HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ 2.2.1.1 Moõ Hỡnh Hoựa Vaứ Moõ Phoỷng CC THNH PHN C BN CA H THNG C IN T 2.1.TÍCH HỢP HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ CÁC THÀNH PHẦN CƠ BẢN CỦA HT CƠĐIỆN TỬ H.2. Tích ... Điện (tt) Hệ thống điện là tích hợp trong tiếp cận cơ điện tử. Các thành phần điện thường được sử dụng phổ biến trong cơ điện tử là các thành phần sau: • Động cơ điện và máy phát điện. • Cảm...

... HỆ THỐNG CƠ ĐiỆN TỬ 1 Gần đây, Bolton đề xuất định nghĩa “Một hệ cơ điện tử không chỉ là sự kết hợp chặt chẽ các hệ cơ khí, điện và nó cũng không chỉ đơn thuần là một hệ điều khiển. ... TRIỂN CỦA CÁC HỆ CƠ HỌC, ĐIỆN, ĐIỆN TỬ Năm 1997, Shetty và Kolk quan niệm Cơ điện tử là một phương pháp luận được dùng để thiết kế tối ưu các sản phẩm cơ điện. ” CÁC KHÁI NIỆM CƠ BẢN LỊCH SỬ ... 1996 Cơ điện tử là sự kết hợp chặt chẽ của kỹ thuật cơ khí với điện tử và điều khiển máy tính thông minh trong thiết kế, chế tạo các sản phẩm và quy trình công nghiệp.” CÁC KHÁI NIỆM CƠ BẢN •.20i*.;+9c$A!0.![$![. $%6$!#/01$23C6%G c$/zC6=%G/B2!|.!01$/0-* /t CHƯƠNG...

... lực. 3.4.1.3. ÑOÄNG CÔ BÖÔÙC. Giới thiệu: • Động cơ bước là động cơ điện không có bộ phận đảo mạch. Hình 3.17. Phân biệt động cơ bước và động cơ điện thông thường. 3.1.2: CÔ CAÁU CHAÁP HAØNH Hình ... CHAÁP HAØNH Hình 3.2. Thiết bị chấp hành thông thường. Phân loại: - Theo dạng năng lượng: điện, điện cơ, điện từ, thủy lực và khí nén. - Dạng nhị phân và dạng liên tục. Phân loại cảm biến

... THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ 1.1.4. THIẾT KẾ HỆ THỐNG CƠ ĐIÊN TỬ H. Cách tích hợp HT – Cơ điện tử 1.1.4. THIẾT KẾ HỆ THỐNG CƠ ĐIÊN TỬ THIẾT KẾ HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ BĐK tốc độ ĐC-DC 1.4. ĐẶC TRƯNG HỆ THỐNG CƠ ... HÌNH HỆ THỐNG KHÍ NÉN 1.1.4. THIẾT KẾ HỆ THỐNG CƠ ĐIÊN TỬ THIẾT KẾ HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ Hệ thống tích hợp công nghệ cơ khí, điện tử và công nghệ thông tin để tạo thành HT cơ điện tử , Hệ thống ... liên hệ V-I • CCCH ( Actuator) ĐC – DC 1.1.4. THIẾT KẾ HỆ THỐNG CƠ ĐIÊN TỬ THIẾT KẾ HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ Các thành phần cơ bản hệ thống cơ điện tử HT TT HT ĐIỆN HT TT HT MT HTCĐT không là HT Cơ...

... thế nào là hệ thống cơ điện tử? 2. Hãy trình bày ứng dụng của hệ thống cơ điện tử? 3. Hãy thiết kế một hệ thống cơ điện tử mà em biết? Giáo Trình Hệ Thống Cơ Điện Tử ... phỏng Hệ thống thông tin Điều khiển Tự động Tối ưu hóa Cơ Điện Tử Hệ cơ điện Giao tiếp thời gian Hệ Thống Cơ Hệ Thống Điện Hệ Thống Máy tính Cơ cấu tác ... Hình 1.8: Các thành phần cơ bản của Hệ Thống Cơ Điện Tử Giải pháp modun, thiết kế sản phNm cơ điện tử: Giải pháp cơ điện tử trong thiết kế kĩ thuật liên quan đến vi c cung cấp một cấu trúc...

... H Ọ Ọ C NHA TRANG C NHA TRANG KHOA CƠ KH KHOA CƠ KH Í Í CHUYÊN NG CHUYÊN NG À À NH CƠ ĐI NH CƠ ĐI Ệ Ệ N T N T Ử Ử B B Á Á O C O C Á Á O: O: H H Ệ Ệ TH TH Ố Ố NG CƠ ĐI NG CƠ ĐI Ệ Ệ N T N T Ử Ử GVHD : GVHD ... Danh Danh s s á á ch ch nh nh ó ó m m 5 5   Nguy Nguy ễ ễ n n Trư Trư ờ ờ ng ng Th Th ị ị nh nh 4913033051 4913033051   Lê Lê Văn Văn Thoa Thoa 4913033053 4913033053   Ngô Ngô Xuân Xuân Th Th à à nh nh 4913033049 4913033049   Nguy Nguy ễ ễ n n Trư Trư ờ ờ ng ng Sơn Sơn 4913033044 4913033044   Nguy Nguy ễ ễ n n H H ồ ồ ng ng Th Th á á i i 4913033046 4913033046   Đinh Đinh Ho Ho à à ng ng Thu Thu ậ ậ n n 4913033054 4913033054 L L Ờ Ờ I N I N Ó Ó I Đ I Đ Ầ Ầ U U Trong Trong h h ệ ệ th th ố ố ng ng giao giao thông thông Vi Vi ệ ệ t t Nam Nam th th ì ì đ đ è è n n giao giao thông thông l l à à m m ộ ộ t t thi thi ế ế t t b b ị ị c c ự ự c c k k ỳ ỳ quan quan tr tr ọ ọ ng,h ng,h ệ ệ th th ố ố ng ng gi gi ú ú p p phân phân lu lu ồ ồ ng ng giao giao thông thông h h ợ ợ p p l l í í , , gi gi ả ả m m b b ớ ớ t t hi hi ệ ệ n n tư tư ợ ợ ng ng ph ph ó ó ng ng nhanh nhanh vư vư ợ ợ t t ẩ ẩ u u , , gi gi ú ú p p cho cho vi vi ệ ệ c c đi đi l l ạ ạ i i c c ủ ủ a a con ... th th ì ì đ đ è è n n giao giao thông thông l l à à m m ộ ộ t t thi thi ế ế t t b b ị ị c c ự ự c c k k ỳ ỳ quan quan tr tr ọ ọ ng,h ng,h ệ ệ th th ố ố ng ng gi gi ú ú p p phân phân lu lu ồ ồ ng ng giao giao thông thông h h ợ ợ p p l l í í , , gi gi ả ả m m b b ớ ớ t t hi hi ệ ệ n n tư tư ợ ợ ng ng ph ph ó ó ng ng nhanh nhanh vư vư ợ ợ t t ẩ ẩ u u , , gi gi ú ú p p cho cho vi vi ệ ệ c c đi đi l l ạ ạ i i c c ủ ủ a a con con ngư ngư ờ ờ i i thu thu ậ ậ n n ti ti ệ ệ n n v v à à an...