... help your business! Let’s talk! Chếtạomàngmỏngphươngpháp phún xạ Giảng viên hướng dẫn : TS Đặng Đình Long Các phươngphápchếtạomàngmỏng Nội dung ◉Cơ chế phún xạ ◉Hiệu suất phún xạ ◉Định ... Trong đó: In số hạt nằm phươngpháp tuyến với mẫu đơn vị thời gian Ii số hạt nằm phương hợp với phươngpháp tuyến góc Ɵ Định luật phân bố cosin Ưu nhược điểm phươngpháp phún xạ Ưu điểm 1, 2, ... phún xạ ◉Ưu nhược điểm phươngpháp “ Phún xạ phươngpháp sử dụng ion phóng điện cao áp để thực “đánh bật” nguyên tử từ bia khỏi bề mặt lắng đọng chúng đế Cơ chế phún xạ Cơ chế phún xạ Bắn ion có...
... dạng hidrat 3.6 CHẾTẠOMÀNGMỎNG KẼM (II) OXIT BẰNGPHƯƠNGPHÁP CVD 3.6.1 Quy trình chếtạomàngmỏng kẽm(II) oxit phƣơng pháp CVD Sơ đồ thiết bị Các màngmỏngchếtạophươngpháp CVD áp suất ... hoàn thành mục tiêu chếtạomàngmỏng Kết luận: Từ tiền chất Zn(Piv)2 chếtạomàng có chất lượng tốt 500 - 550 oC với bề mặt đồng đều, độ truyền qua tốt 3.6.3 Nghiên cứu màngchếtạo từ tiền chất ... tiền chất để chếtạomàngmỏng Với mục đích tạomàng ZnO nghiên cứu tính chất màng, luận văn bao gồm nội dung sau: Tổng hợp axetylaxetonat pivalat Zn(II) Nghiên cứu phức chất thu phương pháp: phân...
... thế, để tạomàng có điện trở suất thấp, cần tránh tạomàng có cấu trúc xốp vùng I (mơ hình Thornton) Nghĩa tránh tạomàng có nhiều biên hạt trống Muốn vậy, ta cần phải tạomàng theo chế nhiệt ... dày màng xác định phươngpháp Stylus, điện trở mặt màng xác định phươngpháp bốn mũi dò[4] Cấu trúc tinh thể kích thước hạt màng xác định dựa vào phổ nhiễu xạ tia X Chiết suất n hệ số tắt k màng ... màng TiN đế thủy tinh kiềm với mục đích nghiên tứu tích chất quang điện màng để ứng dụng làm màng phản xạ hệ màng đa lớp Vì vậy, cơng trình chúng tơi nghiên cứu, tìm điều kiện tối ưu để chế tạo...
... mặt đế để tạomàngmỏngmong muốn Ngoài phươngpháp CVD, màngmỏngchếtạophươngpháp khác phươngpháp điện hoá (anốt hoá mạ điện) phươngpháp solgel Phươngpháp sol-gel gồm có trình tạo sol tiền ... dạng hidrat 3.6 CHẾTẠOMÀNGMỎNG KẼM (II) OXIT BẰNG PHƢƠNG PHÁP CVD 3.6.1 Quy trình chếtạomàngmỏng kẽm(II) oxit phƣơng pháp CVD Sơ đồ thiết bị Các màngmỏngchếtạophươngpháp CVD áp suất ... Cu(Piv)2, Ba(Piv)2, Y(Piv)3 để chếtạomàngmỏng oxit siêu dẫn nhiệt độ cao 1.3.2 Các phươngphápchếtạomàngmỏng Các trình lắng đọng màngmỏng hồn tồn q trình vật lý phươngpháp bay hơi, hồn tồn q...
... đến đế Vì phún xạ?? So với bốc bay -Phún xạ tạomàng có độ đồng pp bốc bay -Dễ dàng tạomàng hơp kim CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ: NHỮNG HẠT PHÚN XẠ CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ Phún xạ trình: Những ... trơ (Ar+) chuyển sang dạng plasma ( CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ Kết là: - Vật liệu từ bia hình thành màng đế (bia đơn chất màng đơn chất; bia hợp chất màng hợp chất mang tính chất thin film) ... Các ion khí trơ PHÚN XẠ KHÔNG PHẢN ỨNG Vd: màng Al, Cu, Ag, … * Các ion có phản ứng với bia PHÚN XẠ PHẢN ỨNG Vd: màng Al2O3, ZnO, CrN, TiN CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ Năng lượng truyền từ ion...
... Tổng quan Màng ITO Phươngpháp phún xạ magnetron Thực nghiệm Các bước tạomàng Các phươngpháp xác định tính chất màng Kết Khoảng cách bia đế Công suất phún xạ Nhiệt độ đế Độ dày màng Khí oxi ... định tính chất màngPhươngpháp mũi dò thẳng: đo điện trở mặt màngPhươngpháp van der Pauw với máy HMS 3000: xác định nồng độ độ linh động Hall hạt tải Phươngpháp đo độ dày :bằng máy Stylus ... dễ dàng phún xạ Phươngpháp có chi phí khơng cao Có khả phủ màng diện tích rộng Page Phún xạ Magetron Page Thực nghiệm Page Một số đặc điểm trình tạomàng Hệ tạomàngmỏng Univex 450...
... Mỏng | Pulse Laser Deposition PhươngPhápChếTạoMàngMỏng Dụng cụ giữ, thay đổi bia shutter Chứa tối đa bia khác | Pulse Laser Deposition PhươngPhápChếTạoMàngMỏng (Susbtrate heater) Dụng ... Laser Deposition PhươngPhápChếTạoMàngMỏng Hình 4.8 Sự chắn phần chùm tia laser tới plasma dẫn đến làm giảm lượng laser đến bia | Pulse Laser Deposition PhươngPhápChếTạoMàngMỏng Hình 4.9 ... thương mại hố, dùng phòng thí nghiệm | Pulse Laser Deposition PhươngPhápChếTạoMàngMỏng IV CƠ CHẾ CHÍNH TRONG VIỆC PHỦ MÀNGBẰNGPHƯƠNGPHÁP PLD? IV.1 Một số khái niệm Laser ánh sáng đơn sắc (...
... 3/2012 mơ thi minh tính pháppháp có bánh cao phù chi bánh cao Do phay cơng khn, tránh gia cơng bánh sau có biên … Chi qua mài Khó khơng lý phơi xác tinh hồn pháp tháo 27 khn pháp q nóng 3/2012 5.4 ... (BRC) rãi máy móc, an tồn máy pháp cho phù Các có án gia cơng phay, bào… tính khí : gian khó 3/2012 So sánh tiêu hao kim bánh côn visai ô tô (Z = 10, m = 8) pháppháp theo [2]: Các t 3,26 0,92 ... xác tinh hồn pháp tháo 27 khn pháp q nóng 3/2012 5.4 Nghiên bánh thành công côn) Các báo cáo cao pháp (ví khí quan, mơ cho nghiên có tính tham chun sâu tài có khn, xác cho chi theo làm thí chuyên...
... nano FePd chếtạophươngpháp hóa siêu âm Theo hiểu biết chúng tôi, hạt nano FePd chưa chếtạophươngpháp điện hóa siêu âm Trong khn khổ luận vănnày chúng tơi thực đề tài: “Nghiên cứu chếtạo hạt ... giả giới [5,7,12,13,14] Cho đến nay, người ta thường chếtạo vật liệu cấu trúc nano FePd phươngpháp như: phươngpháp hóa khử [2,7], phươngpháp rượu đa chức [14] Nguyễn Thị Thanh Vân đồng nghiệp ... tài: “Nghiên cứu chếtạo hạt nano FePd phươngpháp điện hóa siêu âm” Mục tiêu luận văn: Chếtạo thành công hạt nano FePd theo tỷ lệ thành phần khác phươngpháp điện hóa siêu âm; nghiên cứu chuyển...
... BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI - Lê Ngọc An NGHIÊN CỨU CHẾTẠO XÚC TÁC BẰNG PHƢƠNG PHÁP CACBON HÓA NGUỒN SINH KHỐI BÃ TẢO VÀ ... tổng hợp biodiesel 2.2.2 Các phƣơng pháp nghiên cứu đặc trƣng xúc tác 2.2.2.1 Phươngpháp nhiễu xạ tia X (X-ray Diffraction - XRD) Phƣơng pháp XRD phƣơng pháp đƣợc sử dụng phổ biến để nghiên ... theo phƣơng pháp ASTM D189 đƣợc sử dụng rộng rãi loại nhiên liệu 2.3.9 Phƣơng pháp sắc kí- khối phổ (GC-MS) Phƣơng pháp nà dùng để xác định thành phần et l este có sản phẩm a Phươngpháp sắc ký...
... liệu tạo kết tủa Phươngpháp sol – gel tỏ hiệu việc chếtạo hạt nano phát quang, phươngpháp tốn sử dụng alkoxit kim loại hay tác nhân tạo phức Phươngpháp thủy nhiệt phươngpháp hiệu việc chếtạo ... lựa chọn phươngpháp tổng hợp vật liệu phù hợp 1.3.1 Phươngpháp đồng kết tủa Phươngpháp đồng kết tủa phươngpháp kết tủa hợp chất có nhiều cation Đây phươngpháp truyền thống để chếtạo hạt ... YPO4:Tb(III),Bi(III) Phƣơng pháp nghiên cứu: - Phươngpháp nghiên cứu phươngpháp thực nghiệm: tổng hợp hóa học để chếtạo vật liệu nano phươngpháp phản ứng cháy nổ - Sử dụng phươngpháp như: giản đồ...
... liệu tạo kết tủa Phươngpháp sol – gel tỏ hiệu việc chếtạo hạt nano phát quang, phươngpháp tốn sử dụng alkoxit kim loại hay tác nhân tạo phức Phươngpháp thủy nhiệt phươngpháp hiệu việc chếtạo ... lựa chọn phươngpháp tổng hợp vật liệu phù hợp 1.3.1 Phươngpháp đồng kết tủa Phươngpháp đồng kết tủa phươngpháp kết tủa hợp chất có nhiều cation Đây phươngpháp truyền thống để chếtạo hạt ... YPO4:Tb(III),Bi(III) Phƣơng pháp nghiên cứu: - Phươngpháp nghiên cứu phươngpháp thực nghiệm: tổng hợp hóa học để chếtạo vật liệu nano phươngpháp phản ứng cháy nổ - Sử dụng phươngpháp như: giản đồ...
... ỐNG BẰNG DỊNG CAO TẦN 3.1 Các phươngpháp hàn sản xuất ống thép…………………………… 4.1.1 Phươngpháp hàn điện trở ……………………………………………… 3.1.2 Phươngpháp hàn cảm ứng …………………………………………… 3.1.3 Phươngpháp ... phươngpháp hàn cụ thể cho phù hợp với phươngpháp Việc lựa chọn phươngpháp hàn phụ thuộc vào số tiêu sau : - Phươngpháptạo hình - Kiểu trục tạo hình - Vận tốc tạo hình - Các yêu cầu kỹ thuật ống ... phép tạo hình ống từ băng kim loại định kích thước ống nằm miền dung sai cho phép Do vậy, ứng với phươngpháptạo hình, hình dạng trục tạo hình mà ta chọn phươngpháp hàn phù hợp với phương pháp...
... liệu tạo kết tủa Phươngpháp sol – gel tỏ hiệu việc chếtạo hạt nano phát quang, phươngpháp tốn sử dụng alkoxit kim loại hay tác nhân tạo phức Phươngpháp thủy nhiệt phươngpháp hiệu việc chếtạo ... YPO 4:Tb(III) Phươngpháp nghiên cứu: – Phươngpháp nghiên cứu phươngpháp thực nghiệm: tổng hợp hóa học để chếtạo vật liệu nano phươngpháp phản ứng cháy nổ – Sử dụng phươngpháp như: giản ... lựa chọn phươngpháp tổng hợp vật liệu phù hợp 1.3.1 Phươngpháp đồng kết tủa (Co – precipitation method) Phươngpháp đồng kết tủa phươngpháp kết tủa hợp chất có nhiều cation Đây phươngpháp truyền...
... Sự thay đổi khảo sát tác giả B.Yao, màngmỏng ZnO: N chếtạophươngpháp phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phươngpháp nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu ... HỢP MÀNG ZnO LOẠI P Trong phần trình bày việc nghiên cứu thực nghiệm tổng hợp màng ZnO, ZnO:Al,Ga từ tìm điều kiện tổng hợp màng ZnO:N có tính dẫn loại p Vật liệu khối Bằng kỹ thuật chếtạo bia ... để tạo hình trước cho vào lò nung 1800 oC nhiệt độ 1350oC vòng Sản phẩm sau nung có dạng đĩa tròn đường kính tất bia xấp xỉ 7,7cm phù hợp làm bia trình phún xạ magnetron tạomàngChếtạo màng...
... suất màngmỏng thực với phươngpháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phươngpháp FCVA Technique Bulk (bảng 01) Bảng 1.Chiết suất màng Al2O3 với phươngpháp ... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chếtạomàngmỏng Al2O3 phươngpháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại mơi trường ... Hình Phổ UV−VIS màng Al2O3 đế thủy tinh đo ĐH KHTN Tp HCM 3.2 Phổ IR màng Al2O3 Phổ hồng ngoại đo trường ĐH KHTN Tp HCM Màng đế thủy tinh đo phươngpháp ATR, viên nén KBr đo phươngpháp hấp thu...