chế tạo màng mỏng bằng phương pháp mocvd

... help your business! Let’s talk! Chế tạo màng mỏng phương pháp phún xạ Giảng viên hướng dẫn : TS Đặng Đình Long Các phương pháp chế tạo màng mỏng Nội dung ◉Cơ chế phún xạ ◉Hiệu suất phún xạ ◉Định ... Trong đó: In số hạt nằm phương pháp tuyến với mẫu đơn vị thời gian Ii số hạt nằm phương hợp với phương pháp tuyến góc Ɵ Định luật phân bố cosin Ưu nhược điểm phương pháp phún xạ Ưu điểm 1, 2, ... phún xạ ◉Ưu nhược điểm phương pháp “ Phún xạ phương pháp sử dụng ion phóng điện cao áp để thực “đánh bật” nguyên tử từ bia khỏi bề mặt lắng đọng chúng đế Cơ chế phún xạ Cơ chế phún xạ Bắn ion có...

Ngày tải lên: 14/03/2016, 14:33

... dạng hidrat 3.6 CHẾ TẠO MÀNG MỎNG KẼM (II) OXIT BẰNG PHƯƠNG PHÁP CVD 3.6.1 Quy trình chế tạo màng mỏng kẽm(II) oxit phƣơng pháp CVD Sơ đồ thiết bị Các màng mỏng chế tạo phương pháp CVD áp suất ... hoàn thành mục tiêu chế tạo màng mỏng Kết luận: Từ tiền chất Zn(Piv)2 chế tạo màng có chất lượng tốt 500 - 550 oC với bề mặt đồng đều, độ truyền qua tốt 3.6.3 Nghiên cứu màng chế tạo từ tiền chất ... tiền chất để chế tạo màng mỏng Với mục đích tạo màng ZnO nghiên cứu tính chất màng, luận văn bao gồm nội dung sau: Tổng hợp axetylaxetonat pivalat Zn(II) Nghiên cứu phức chất thu phương pháp: phân...

Ngày tải lên: 10/02/2014, 15:29

... thế, để tạo màng có điện trở suất thấp, cần tránh tạo màng có cấu trúc xốp vùng I (mơ hình Thornton) Nghĩa tránh tạo màng có nhiều biên hạt trống Muốn vậy, ta cần phải tạo màng theo chế nhiệt ... dày màng xác định phương pháp Stylus, điện trở mặt màng xác định phương pháp bốn mũi dò[4] Cấu trúc tinh thể kích thước hạt màng xác định dựa vào phổ nhiễu xạ tia X Chiết suất n hệ số tắt k màng ... màng TiN đế thủy tinh kiềm với mục đích nghiên tứu tích chất quang điện màng để ứng dụng làm màng phản xạ hệ màng đa lớp Vì vậy, cơng trình chúng tơi nghiên cứu, tìm điều kiện tối ưu để chế tạo...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 11:20

... mặt đế để tạo màng mỏng mong muốn Ngoài phương pháp CVD, màng mỏng chế tạo phương pháp khác phương pháp điện hoá (anốt hoá mạ điện) phương pháp solgel Phương pháp sol-gel gồm có trình tạo sol tiền ... dạng hidrat 3.6 CHẾ TẠO MÀNG MỎNG KẼM (II) OXIT BẰNG PHƢƠNG PHÁP CVD 3.6.1 Quy trình chế tạo màng mỏng kẽm(II) oxit phƣơng pháp CVD Sơ đồ thiết bị Các màng mỏng chế tạo phương pháp CVD áp suất ... Cu(Piv)2, Ba(Piv)2, Y(Piv)3 để chế tạo màng mỏng oxit siêu dẫn nhiệt độ cao 1.3.2 Các phương pháp chế tạo màng mỏng Các trình lắng đọng màng mỏng hồn tồn q trình vật lý phương pháp bay hơi, hồn tồn q...

Ngày tải lên: 08/01/2015, 12:47

Ngày tải lên: 12/03/2015, 14:36

... đến đế Vì phún xạ?? So với bốc bay -Phún xạ tạo màng có độ đồng pp bốc bay -Dễ dàng tạo màng hơp kim CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ: NHỮNG HẠT PHÚN XẠ CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ Phún xạ trình: Những ... trơ (Ar+) chuyển sang dạng plasma ( CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ Kết là: - Vật liệu từ bia hình thành màng đế (bia đơn chất  màng đơn chất; bia hợp chất  màng hợp chất mang tính chất thin film) ... Các ion khí trơ  PHÚN XẠ KHÔNG PHẢN ỨNG Vd: màng Al, Cu, Ag, … * Các ion có phản ứng với bia  PHÚN XẠ PHẢN ỨNG Vd: màng Al2O3, ZnO, CrN, TiN CƠ CHẾ VẬT LÝ CỦA PHÚN XẠ Năng lượng truyền từ ion...

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:41

...  Tổng quan Màng ITO Phương pháp phún xạ magnetron Thực nghiệm Các bước tạo màng Các phương pháp xác định tính chất màng Kết Khoảng cách bia đế Công suất phún xạ Nhiệt độ đế Độ dày màng Khí oxi ... định tính chất màng Phương pháp mũi dò thẳng: đo điện trở mặt màng Phương pháp van der Pauw với máy HMS 3000: xác định nồng độ độ linh động Hall hạt tải Phương pháp đo độ dày :bằng máy Stylus ... dễ dàng phún xạ  Phương pháp có chi phí khơng cao  Có khả phủ màng diện tích rộng Page  Phún xạ Magetron Page  Thực nghiệm Page  Một số đặc điểm trình tạo màng Hệ tạo màng mỏng Univex 450...

Ngày tải lên: 15/08/2015, 10:06

... Mỏng | Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng Dụng cụ giữ, thay đổi bia shutter Chứa tối đa bia khác | Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng (Susbtrate heater) Dụng ... Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng Hình 4.8 Sự chắn phần chùm tia laser tới plasma dẫn đến làm giảm lượng laser đến bia | Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng Hình 4.9 ... thương mại hố, dùng phòng thí nghiệm | Pulse Laser Deposition Phương Pháp Chế Tạo Màng Mỏng IV CƠ CHẾ CHÍNH TRONG VIỆC PHỦ MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PLD? IV.1 Một số khái niệm Laser ánh sáng đơn sắc (...

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:34

... 3/2012 mơ thi minh tính pháp pháp có bánh cao phù chi bánh cao Do phay cơng khn, tránh gia cơng bánh sau có biên … Chi qua mài Khó khơng lý phơi xác tinh hồn pháp tháo 27 khn pháp q nóng 3/2012 5.4 ... (BRC) rãi máy móc, an tồn máy pháp cho phù Các có án gia cơng phay, bào… tính khí : gian khó 3/2012 So sánh tiêu hao kim bánh côn visai ô tô (Z = 10, m = 8) pháp pháp theo [2]: Các t 3,26 0,92 ... xác tinh hồn pháp tháo 27 khn pháp q nóng 3/2012 5.4 Nghiên bánh thành công côn) Các báo cáo cao pháp (ví khí quan, mơ cho nghiên có tính tham chun sâu tài có khn, xác cho chi theo làm thí chuyên...

Ngày tải lên: 05/01/2014, 21:09

Ngày tải lên: 26/02/2014, 19:20

Ngày tải lên: 06/10/2014, 11:52

... nano FePd chế tạo phương pháp hóa siêu âm Theo hiểu biết chúng tôi, hạt nano FePd chưa chế tạo phương pháp điện hóa siêu âm Trong khn khổ luận vănnày chúng tơi thực đề tài: “Nghiên cứu chế tạo hạt ... giả giới [5,7,12,13,14] Cho đến nay, người ta thường chế tạo vật liệu cấu trúc nano FePd phương pháp như: phương pháp hóa khử [2,7], phương pháp rượu đa chức [14] Nguyễn Thị Thanh Vân đồng nghiệp ... tài: “Nghiên cứu chế tạo hạt nano FePd phương pháp điện hóa siêu âm” Mục tiêu luận văn: Chế tạo thành công hạt nano FePd theo tỷ lệ thành phần khác phương pháp điện hóa siêu âm; nghiên cứu chuyển...

Ngày tải lên: 31/08/2016, 16:00

... BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI - Lê Ngọc An NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO XÚC TÁC BẰNG PHƢƠNG PHÁP CACBON HÓA NGUỒN SINH KHỐI BÃ TẢO VÀ ... tổng hợp biodiesel 2.2.2 Các phƣơng pháp nghiên cứu đặc trƣng xúc tác 2.2.2.1 Phương pháp nhiễu xạ tia X (X-ray Diffraction - XRD) Phƣơng pháp XRD phƣơng pháp đƣợc sử dụng phổ biến để nghiên ... theo phƣơng pháp ASTM D189 đƣợc sử dụng rộng rãi loại nhiên liệu 2.3.9 Phƣơng pháp sắc kí- khối phổ (GC-MS) Phƣơng pháp nà dùng để xác định thành phần et l este có sản phẩm a Phương pháp sắc ký...

Ngày tải lên: 24/11/2016, 01:54

... liệu tạo kết tủa Phương pháp sol – gel tỏ hiệu việc chế tạo hạt nano phát quang, phương pháp tốn sử dụng alkoxit kim loại hay tác nhân tạo phức Phương pháp thủy nhiệt phương pháp hiệu việc chế tạo ... lựa chọn phương pháp tổng hợp vật liệu phù hợp 1.3.1 Phương pháp đồng kết tủa Phương pháp đồng kết tủa phương pháp kết tủa hợp chất có nhiều cation Đây phương pháp truyền thống để chế tạo hạt ... YPO4:Tb(III),Bi(III)  Phƣơng pháp nghiên cứu: - Phương pháp nghiên cứu phương pháp thực nghiệm: tổng hợp hóa học để chế tạo vật liệu nano phương pháp phản ứng cháy nổ - Sử dụng phương pháp như: giản đồ...

Ngày tải lên: 06/06/2017, 12:49

... liệu tạo kết tủa Phương pháp sol – gel tỏ hiệu việc chế tạo hạt nano phát quang, phương pháp tốn sử dụng alkoxit kim loại hay tác nhân tạo phức Phương pháp thủy nhiệt phương pháp hiệu việc chế tạo ... lựa chọn phương pháp tổng hợp vật liệu phù hợp 1.3.1 Phương pháp đồng kết tủa Phương pháp đồng kết tủa phương pháp kết tủa hợp chất có nhiều cation Đây phương pháp truyền thống để chế tạo hạt ... YPO4:Tb(III),Bi(III)  Phƣơng pháp nghiên cứu: - Phương pháp nghiên cứu phương pháp thực nghiệm: tổng hợp hóa học để chế tạo vật liệu nano phương pháp phản ứng cháy nổ - Sử dụng phương pháp như: giản đồ...

Ngày tải lên: 16/06/2017, 13:40

... ỐNG BẰNG DỊNG CAO TẦN 3.1 Các phương pháp hàn sản xuất ống thép…………………………… 4.1.1 Phương pháp hàn điện trở ……………………………………………… 3.1.2 Phương pháp hàn cảm ứng …………………………………………… 3.1.3 Phương pháp ... phương pháp hàn cụ thể cho phù hợp với phương pháp Việc lựa chọn phương pháp hàn phụ thuộc vào số tiêu sau : - Phương pháp tạo hình - Kiểu trục tạo hình - Vận tốc tạo hình - Các yêu cầu kỹ thuật ống ... phép tạo hình ống từ băng kim loại định kích thước ống nằm miền dung sai cho phép Do vậy, ứng với phương pháp tạo hình, hình dạng trục tạo hình mà ta chọn phương pháp hàn phù hợp với phương pháp...

Ngày tải lên: 24/07/2017, 22:44

... liệu tạo kết tủa Phương pháp sol – gel tỏ hiệu việc chế tạo hạt nano phát quang, phương pháp tốn sử dụng alkoxit kim loại hay tác nhân tạo phức Phương pháp thủy nhiệt phương pháp hiệu việc chế tạo ... YPO 4:Tb(III)  Phương pháp nghiên cứu: – Phương pháp nghiên cứu phương pháp thực nghiệm: tổng hợp hóa học để chế tạo vật liệu nano phương pháp phản ứng cháy nổ – Sử dụng phương pháp như: giản ... lựa chọn phương pháp tổng hợp vật liệu phù hợp 1.3.1 Phương pháp đồng kết tủa (Co – precipitation method) Phương pháp đồng kết tủa phương pháp kết tủa hợp chất có nhiều cation Đây phương pháp truyền...

Ngày tải lên: 10/11/2017, 10:45

... Sự thay đổi khảo sát tác giả B.Yao, màng mỏng ZnO: N chế tạo phương pháp phún xạ magnetron RF điều kiện nhiệt độ 510K đế thạch anh xác định cấu trúc phương pháp nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu ... HỢP MÀNG ZnO LOẠI P Trong phần trình bày việc nghiên cứu thực nghiệm tổng hợp màng ZnO, ZnO:Al,Ga từ tìm điều kiện tổng hợp màng ZnO:N có tính dẫn loại p Vật liệu khối Bằng kỹ thuật chế tạo bia ... để tạo hình trước cho vào lò nung 1800 oC nhiệt độ 1350oC vòng Sản phẩm sau nung có dạng đĩa tròn đường kính tất bia xấp xỉ 7,7cm phù hợp làm bia trình phún xạ magnetron tạo màng Chế tạo màng...

Ngày tải lên: 18/03/2013, 11:49

Ngày tải lên: 03/04/2014, 15:20

... suất màng mỏng thực với phương pháp khác ta thấy có phù hợp tốt Chiết suất màng cao màng bốc bay phản ứng thấp phương pháp FCVA Technique Bulk (bảng 01) Bảng 1.Chiết suất màng Al2O3 với phương pháp ... Vol 12, No.03 - 2009 Bài viết trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al2O3 phương pháp phún xạ magnetron rf chuyển pha xử lý nhiệt sau Màng phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại mơi trường ... Hình Phổ UV−VIS màng Al2O3 đế thủy tinh đo ĐH KHTN Tp HCM 3.2 Phổ IR màng Al2O3 Phổ hồng ngoại đo trường ĐH KHTN Tp HCM Màng đế thủy tinh đo phương pháp ATR, viên nén KBr đo phương pháp hấp thu...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 10:20