cảm biến áp suất kiểu áp điện

... nối cảm biến với chuyển đổi điện áp - điện tích trình bày hình 16.7b 5/6 Cảm biến áp điện Hình 16.7: Sơ đồ khuếch đại điện tích a) Sơ đồ khối b) Sơ đồ ghép nối cảm biến chuyển đổi điện tích - điện ... nhánh) cảm biến (hình 16.5a) Nhánh ρ, λ, γ đặc trưng cho cộng hưởng điện thứ tần số cao nằm dải thông cảm biến Điện trở Rg điện trở cách điện vật liệu áp điện, tần số thấp trở thành trở kháng cảm biến ... điện áp tương đương với điện trở Re mắc song song với tụ Ce, mạch tương đương có dạng hình 16.6 4/6 Cảm biến áp điện Hình 16.6: Sơ đồ tương đương cảm biến mắc nối tiếp với khuếch đại điện Điện áp...

Ngày tải lên: 31/12/2015, 16:54

... tinh thể áp điện Ở tinh thể áp điện tồn hiệu ứng áp điện ngược: đặt tinh thể vào điện trường tinh thể bị biến dạng, biến dạng S t lệ thuận với điện trường E có hệ số t lệ d hiệu ứng áp điện thuận: ... số điện môi môi trường chân không  Điện trở suất màng   Dung sai A Diện tích tụ C Điện dung D Khoảng cách hai tụ (bề dày màng) dijk Môđun áp điện Độ cảm điện môi E, ED Điện trường ngoài, điện ... sắt điện PZT 67 3.13 Sự phụ thuộc hệ số áp điện (a) số điện môi (b) vào thành phần pha định hướng pha tinh thể vật liệu sắt điện – áp điện PZT 68 3.14 Định hướng đô men sắt điện tác dụng điện áp...

Ngày tải lên: 10/05/2016, 17:00

... [P60/P40]3 (b) 80 Hệ số áp điện d33 (pm/V) Mômen sắt điện dư, Pr (µC/cm2) (hình 3.10) Kết giải thích suy giảm ứng suất kéo màng dị lớp, hình thành điện áp nội lớp tiếp xúc sắt điện- sắt điện dẫn đến tăng ... lý hoạt động cảm biến sinh học sở rung áp điện 52 Ln n ến dạn t an run 5.2.1 Quy trình chế tạo Hình 5.2 giới thiệu quy trình chế tạo linh kiện cảm biến dạng rung sở màng mỏng áp điện PZT Đây ... thiện số điện môi màng dày PZT cấu trúc dị lớp khảo sát mô hình hệ tụ điện có vật liệu sắt điện k p cặp cực điện cực kim loại (kim loại -điện áp- kim loại) Hình 3.11 trình bày kết xác định số điện...

Ngày tải lên: 10/05/2016, 17:23

... tinh thể áp điện Ở tinh thể áp điện tồn hiệu ứng áp điện ngược: đặt tinh thể vào điện trường tinh thể bị biến dạng, biến dạng S t lệ thuận với điện trường E có hệ số t lệ d hiệu ứng áp điện thuận: ... sắt điện áp điện vật liệu PZT trình bày Ả ưở t ầ Một vật liệu sắt điện áp điện quan trọng dung dịch rắn dị nguyên sắt điện PbTiO3 phản sắt điện PbZrO3 (PZT) Sự chuyển pha từ không sắt điện- sắt điện ... ứng suất kéo cấu trúc giảm với hình thành điện áp nội lớp tiếp x c làm tăng khả quay domain sắt điện Màng PZT sau sử dụng việc chế tạo linh kiện cảm biến khối lượng sở rung áp điện Thanh rung áp...

Ngày tải lên: 10/05/2016, 17:36

... [P60/P40]3 (b) 80 Hệ số áp điện d33 (pm/V) Mômen sắt điện dư, Pr (µC/cm2) (hình 3.10) Kết giải thích suy giảm ứng suất kéo màng dị lớp, hình thành điện áp nội lớp tiếp xúc sắt điện- sắt điện dẫn đến tăng ... lý hoạt động cảm biến sinh học sở rung áp điện 52 Ln n ến dạn t an run 5.2.1 Quy trình chế tạo Hình 5.2 giới thiệu quy trình chế tạo linh kiện cảm biến dạng rung sở màng mỏng áp điện PZT Đây ... thiện số điện môi màng dày PZT cấu trúc dị lớp khảo sát mô hình hệ tụ điện có vật liệu sắt điện k p cặp cực điện cực kim loại (kim loại -điện áp- kim loại) Hình 3.11 trình bày kết xác định số điện...

Ngày tải lên: 06/06/2016, 15:07

... tinh thể áp điện Ở tinh thể áp điện tồn hiệu ứng áp điện ngược: đặt tinh thể vào điện trường tinh thể bị biến dạng, biến dạng S t lệ thuận với điện trường E có hệ số t lệ d hiệu ứng áp điện thuận: ... số điện môi môi trường chân không  Điện trở suất màng   Dung sai A Diện tích tụ C Điện dung D Khoảng cách hai tụ (bề dày màng) dijk Môđun áp điện Độ cảm điện môi E, ED Điện trường ngoài, điện ... sắt điện PZT 67 3.13 Sự phụ thuộc hệ số áp điện (a) số điện môi (b) vào thành phần pha định hướng pha tinh thể vật liệu sắt điện – áp điện PZT 68 3.14 Định hướng đô men sắt điện tác dụng điện áp...

Ngày tải lên: 06/07/2016, 18:24

... áp ứng nhu cầu đa dạng đòi hỏi cảm biến áp suất phải áp ứng cách tốt cho trường hợp cụ thể Chính cảm biến áp suất kiểu áp trở, áp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi rộng Cảm biến áp suất ... thật áp ứng Do đó, luận văn tập trung vào đặc tính vật liệu silic đơn tinh thể, vật liệu sử dụng phổ biến linh kiện MEMS đặc biệt đặc tính áp điện trở Việc nghiên cứu MEMS cảm biến áp suất áp điện ... nghệ MEMS Chương 2: Thiết kế mô cảm biến áp suất áp điện trở Trên sở dùng phương pháp giải tích Mô đặc tính học màng cảm biến dùng phần mềm ANSYS dùng phương pháp phần tử hữu hạn Xây dựng toán...

Ngày tải lên: 16/03/2014, 12:43

Ngày tải lên: 27/09/2014, 00:35

Ngày tải lên: 04/10/2014, 10:56

... số áp điện trở 1.3 Phân loại MEMS cảm biến áp suất 1.3.1 Màng silicon vi 1.3.2 Cảm biến áp suất áp trở 1.3.3 Cảm biến áp suất kiểu tụ điện 1.3.4 Cảm biến ... áp ứng nhu cầu đa dạng đòi hỏi cảm biến áp suất phải áp ứng cách tốt cho trƣờng hợp cụ thể Chính cảm biến áp suất kiểu áp trở, áp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi rộng Cảm biến áp suất ... 50 25 Hình 2.6 Cảm biến áp suất kết nối dùng điện trở 50 cầu Wheatstone 26 Hình 2.7 Cấu trúc cảm biến áp suất 59 27 Hình 2.8 Mơ hình phần tử hữu hạn cuả cảm biến áp suất áp 60 điện trở 28 Hình...

Ngày tải lên: 25/03/2015, 11:56

... loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý chuyển đổi tín hiệu cơ- điện ... chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Mục đích nghiên cứu Mô đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Nguyễn Thị Trà ... hẹp loại cảm biến mà phát triển ứng dụng nhiều lĩnh vực cảm biến khác Vì cảm biến áp suất chế tạo dựa công nghệ MEMS 1.2 Giới thiệu cảm biến đo áp suất dựa công nghệ MEMS Các vi cảm biến sử dụng...

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

... hệ áp suất điện áp ngỏ 69 cảm biến với nguồn cung cấp khác 39 Hình 2.20 Sơ đồ mặt nạ cảm biến áp suất có kích 71 thước mm x mm 40 Hình 3.1 (a) Sắp xếp áp điện trở dây kết nối bên cảm biến áp suất, ... 50 25 Hình 2.6 Cảm biến áp suất kết nối dùng điện trở 50 cầu Wheatstone 26 Hình 2.7 Cấu trúc cảm biến áp suất 59 27 Hình 2.8 Mô hình phần tử hữu hạn cuả cảm biến áp suất áp 60 điện trở 28 Hình ... quan hệ điện áp ngỏ áp suất với 67 độ dày áp điện trở khác 36 Hình 2.17 Độ nhạy điện áp ngỏ thay đổi độ dày 68 màng cảm biến 37 Hình 2.18 Độ nhạy điện áp ngỏ thay đổi kích thước 68 màng cảm biến...

Ngày tải lên: 16/11/2016, 21:19

... màng Cảm biến áp suất loại cảm biến thường dùng công nghiệp Trong y tế cảm biến áp suất thường sử dụng để đo áp suất động mạch tĩnh mạch Ưu điểm lớn độ nhạy Cụ thể dải điện áp thấp, độ nhạy cảm biến ... chế tạo cảm biến áp suất vi điện tử 2.2 Chế tạo cảm biến áp suất vi điện tử Để chế tạo cảm biến áp suất ta sử dụng phiến silic loại n, bề dày 380µm, có định hướng bề mặt {100}, điện trở suất nằm ... trúc cảm biến áp suất Khi áp suất đặt lên màng, cầu điện trở trạng thái cân bằng, điện lối lúc Khi có áp suất đặt lên, màng mỏng bị biến dạng, áp lực phân bố màng bị thay đổi Do hiệu ứng áp điện...

Ngày tải lên: 10/12/2013, 14:15

... THIỆU CẢM BIẾN ÁP SUẤT 3.1 Giới thiệu 3.2 Một số ứng dụng cảm biến áp suất 3.3 Phân loại cảm biến áp suất 3.3.1 Cảm biến áp suất kiểu tụ 3.3.2 Cảm biến áp suất ... 25 Hình 3.1 Cảm biến áp suất kiểu tụ 26 Hình 3.2 Cảm biến áp suất cộng hưởng 27 Hình 3.3 Các loại cảm biến áp suất kiểu áp trở 28 Hình 3.4 Mặt cắt ngang cách bố trí áp trở màng cảm biến 29 Hình ... áp ứng ngõ cảm biến thiết kế Hình 5.38 Ảnh hưởng nhiệt lên áp ứng ngõ cảm biến MPX10 84 Hình 5.39 Chi tiết qui trình chế tạo cảm biến áp suất áp trở 85 Hình 5.40 Bộ mặt nạ cho đơn cảm biến áp...

Ngày tải lên: 03/10/2014, 23:09

... HỮU TƯỚC I CẢM BIẾN ÁP SUẤT KIỂU ÁP ĐIỆN Cảm biến áp suất điện áp có nguyên tắc hoạt động dựa tượng thay đổi hay xuất phân cực điện khi số chất điện môi bị biến dạng tác dụng lực Bộ cảm biến gồm ... dụng lực lên cảm biến màng PVDF chịu ứng suất hình thành điện tích bề mặt Lớp mặt Màng PVDF F Lớp đế Cảm biến áp suất điện áp Điện tích thay đổi tạo nên biến thiên điện áp Biên độ điện áp tỉ lệ với ... lệ với lực tác động vào cảm biến Cảm biến áp điện dùng để đo lực biến thiên(đến 10KN), đo áp suất 1000 ms-1 (100N/mm2) gia tốc (tới 1kg) dải tần từ 0,5100kHz Ưu điểm cảm biến loại cấu trúc đơn...

Ngày tải lên: 17/05/2015, 21:37

... 80 Độ lệch lối (mV/V) ứng suất cực đại (N/micro-m2) 800 700 600 500 400 300 70 60 50 40 30 200 20 100 10 0 Hỡnh S ph thuc ca ng sut cc i vo ỏp sut áp suất (atm) áp suất (atm) Hỡnh S ph thuc ca ... 24 Độ lệch màng cức đại (micro mét) 22 20 18 16 14 12 10 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.2 1.4 1.6 1.8 2.2 áp suất (atm) Hỡnh S ph thuc ca lch cc i trờn mng cm bin vo ỏp sut Kt qu cho thy, vựng kho sỏt,...

Ngày tải lên: 04/09/2015, 19:15

... (A) Dòng điện pha phía hạ áp : I2f = I2= 2310 (A) 5 .Điện áp pha : Do cuộn dây nối Y/yo nên điện áp pha có trị số nh sau: Điện áp pha phía cao áp : U1f = U1/ =35/ =20,207 (kV) (1-5) Điện áp pha ... ảnh hởng lớn Hình 2.Sơ đồ kích thớc chủ yếu máy biến áp tới tiêu kinh tế kỹ thuật máy biến áp : Về mặt kinh tế: với máy biến áp có công suất, điện áp , tham số kỹ thuật nhỏ, d12 giảm, I tăng, ... dây dây quấn cao áp với điện áp định mức: Uf2 w2đm = w1 U = 12 f1 20207 = 1050 231 vòng Chọn kiểu điều chỉnh điện áp hình 13-18c Dòng điện tiếp điểm điều chỉnh 26,4(A) 10 Điện áp làm việc tiếp...

Ngày tải lên: 08/04/2013, 11:49

Ngày tải lên: 11/04/2013, 16:01

...    Ud điện áp vào hiệu UP , IP điện áp vào dòng điện vào cửa thuận UN , IN điện áp vào dòng điện vào cửa đảo Ur , Ir điện áp dòng điện Bộ khuếch đại thuật toán khuếch đại hiệu điện áp U d = ... số-tương tự tiếp nhận mã số n bít song song nối tiếp lối vào biến đổi dòng điện điện áp tương ứng lối Dòng điện hay điện áp lối hàm biến thiên phù hợp theo mã số lối vào Sinh Viên : Lê Trần Triệu ... đầu vào, Vref điện áp tham chiếu DAC sở cấu tạo chuyển mạch tương tự điều khiển mã số đầu vào điện trở xác Các chuyển mạch tương tự điều chỉnh dòng điện hay điện áp trích từ điện áp tham chiếu...

Ngày tải lên: 16/04/2013, 10:35