cảm biến áp suất điện dung

... khảo sát cảm biến áp suất điện dung 26 3.2.1 Thiết kế cảm biến áp suất điện dung 26 3.2.2 Cảm biến áp suất điện dung thay đổi vật liệu 28 3.2.3 Cảm biến áp suất điện dung thay ... Hình 2.1 Cảm biến áp suất áp trở 12 Hình 2.2 Nguyên lý áp kế điện dung 13 Hình 2.3 Sơ đồ khối cảm biến áp suất 13 Hình 2.4 Mơ hình ngun khối cảm biến áp suất điện dung 16 ... cảm biến áp suất điện dung thay đổi vật liệu 32 Bảng 3.4 Độ nhạy cảm biến áp suất điện dung 34 Bảng 3.5 Độ nhạy hoành cảm biến thay đổi bề dày màng cảm biến .38 Bảng 3.6 Độ nhạy cảm biến

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:54

... giá trị 0,27  m áp suất 10kPa  Lúc đồ thị bề mặt cảm biến điện dung hàm áp suất b) Ảnh hưởng áp suất tới giá trị điện dung cảm biến Kết ảnh hưởng áp suất tới giá trị điện dung đưa hình 3.4: ... Multiphysics sử dụng để mơ cảm biến áp suất điện dung, tìm hiểu thay đổi giá trị điện dung, dịch chuyển màng cảm biến áp suất thay đổi, ảnh hưởng nhiệt độ tới giá trị điện dung cảm biến MỞ ĐẦU Hiện nay, ... đồ khối cảm biến áp suất .36 Hình 2.2: Cảm biến áp suất 36 Hình 2.3: Cấu tạo cảm biến kiểu áp trở .37 Hình 2.4: Đo áp suất động ống Pitot 41 Hình 2.5: Đo áp suất động

Ngày tải lên: 12/12/2019, 17:42

... động áp suất lên vi cảm biến áp suất điện dung Mục đích đề tài mô cảm biến áp suất điện dung, khảo sát tác động áp suất đến điện dung cảm biến ảnh hƣởng nhiệt độ đến giá trị điện dung cảm biến ... Tìm hiểu cảm biến ứng dụng cảm biến Sau vào tìm hiểu cơng nghệ MEMS cảm biến áp suất, vi cảm biến áp suất kiểu tụ vi cảm biến áp suất kiểu áp trở Nghiên cứu kết mô cảm biến áp suất điện dung để ... bày khái niệm cảm biến, phân loại ứng dụng cảm biến Chƣơng trình bày cơng nghệ vi điện tử (MEMS), cảm biến áp suất điện dung, vi cảm biến áp suất kiểu tụ vi cảm biến áp suất kiểu áp trở Chƣơng

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:32

... tụ vi cảm biến áp suất kiểu áp trở Chƣơng trình bày phần mềm COMSOL Multiphysics kết mô tác động áp suất lên vi cảm biến áp suất điện dung vật liệu Mục đích đề tài mơ cảm biến áp suất điện dung, ... thị [5] 3.2 Thiết kế cảm biến áp suất điện dung MEMS 3.2.1 Cấu tạo cảm biến áp suất điện dung Cảm biến áp suất điện dung MEMS bao gồm hai cực đặt song song đƣợc cách chất điện môi Bản cực phía ... kiểu điện dung 35 Hình 3.1 Mơ hình vi cảm biến áp suất điện dung .44 Hình 3.2 Mặt cắt ngang 2D cảm biến áp suất điện dung 45 Hình 3.3 Tác động áp suất lên lớp màng cảm biến

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:53

... giới 3.2 Mô cảm biến áp suất điện dung 3.2.1 Nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất điện dung Một cảm biến điện dung dựa lớp màng có điện cực hoạt động nhƣ lớp màng nhạy cảm với áp suất, dẫn đến ... chiều cao điện cực áp suất đƣợc áp dụng, thay đổi điện dung cảm biến đƣợc phát Tấm dƣới cảm biến điện dung cố định, phần linh hoạt, biến dạng có áp suất tác động Khi áp suất đƣợc áp dụng, biến dạng ... PHỎNG CẢM BIẾN ÁP SUẤT ĐIỆN DUNG 51 3.1 Giới thiệu phần mềm Comsol Multiphysics [5] 51 3.2 Mô cảm biến áp suất điện dung 52 3.2.1 Nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất điện dung

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:55

... động cảm biến áp suất 29 2.3.3 Ứng dụng cảm biến áp suất 29 2.4 Vi cảm biến áp suất 30 2.4.1 Vi cảm biến áp suất kiểu tụ 33 2.4.2 Vi cảm biến áp suất kiểu áp trở ... tạo cảm biến Trình bày cảm biến áp suất đặc điểm cảm biến áp suất nhƣ khái niệm, nguyên tắc hoạt động ứng dụng Giới thiệu hai loại vi cảm biến áp suất thƣờng gặp vi cảm biến kiểu áp trở vi cảm biến ... động cảm biến áp suất điện dung MEMS Cảm biến áp suất điện dung MEMS hoạt động nguyên lý điện Khi có áp lực bên tác dụng lên màng mỏng, gây khoang có chênh lệch 36 áp suất bên áp suất bên gây biến

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:54

... cách đo tần số xoáy Nhiễu và chống nhiễu: Cảm biến áp điện rất nhạy cảm với nhiễu, đặc biệt là do sự rung trên các đường ống, do vậy các cảm biến lưu lượng tần số dòng xoáy phải đưuọc ... AD)EF&;MA&N&&A&O&JP>  2P F   ,AD)EF 2 ? ?Cảm biến áp suất điện áp QO&&784&7>?57 ... %&'(!)*%+ ,' / 01- 2' GVHD: PHAN HỮU TƯỚC I. CẢM BIẾN ÁP SUẤT KIỂU ÁP ĐIỆN 3 &45"67&&7

Ngày tải lên: 17/05/2015, 21:37

... II.5.2 Nội dung 5.2: Chế tạo nguồn áp suất chuẩn dùng để đo lường hàng loạt cảm biến áp suất 99 II.5.3 Nội dung 5.3: Đo đặc tuyến cảm biến áp suất phụ thuộc điện áp vào áp suất; phụ ... tạo cảm biến áp suất, khảo sát đưa lựa chọn thích hợp cho quy trình cơng nghệ chế tạo Đã chế tạo thành công 100 cảm biến áp suất, khảo sát đặc tuyến cảm biến áp suất Ứng dụng cảm biến áp suất ... 104 II.5.4 Nội dung 5.4: Chế tạo buồng thay đổi áp suất để đo độ bền cảm biến áp suất 107 II.5.5 Nội dung 5.5: Nghiên cứu đo độ bền cảm biến áp suất sau chu kỳ thay đổi áp suất

Ngày tải lên: 05/10/2023, 19:34

... loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý chuyển đổi tín hiệu cơ- điện ... chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất? ?? Mục đích nghiên cứu Mô đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Nguyễn Thị Trà ... thống hoá kiến thức cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất - Đã mô độ lệch màng làm sở cho việc xác định thay đổi điện dung chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất - Đã mô đặc trưng

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

... loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý chuyển đổi tín hiệu cơ- điện ... hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất? ?? Mục đích nghiên cứu Mơ đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Đối tượng nghiên cứu Cảm biến ... tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Phương pháp nghiên cứu Phương pháp tra cứu tài liệu, mô phỏng, thảo luận đánh giá CHƯƠNG 1: GIỚI THIỆU VỀ CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS

Ngày tải lên: 05/05/2018, 09:01

... hệ thống điện • Áp suất đo áp suất phức tạp rác rối Tuy nhiên, với hầu hết hệ thống tương đối dễ dàng để nhận kết đo áp suất xác phương pháp kỹ thuật thích hợp sử dụng • Các cảm biến áp suất nói ... thống - điện thông thường Bởi giá thảnh giảm độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công ... m ưa tuyết Thiết kế ghi lại kết đọc áp suất thời so sánh với kết áp suất đọc tnróc Nó tạo m ột định có m ột giảm tăng áp suất Bằng cách sử đụng thông tin áp suất đo với thông tin nhiệt độ độ ẩm

Ngày tải lên: 23/09/2020, 23:13

... Vi cảm biến áp suất 15 1.3.1 Màng silicon vi 15 1.3.2 Vi cảm biến áp suất áp điện trở 17 1.3.3 Vi cảm biến áp suất kiểu tụ điện 21 1.3.4 Vi cảm biến ... thiết Cuối tìm hiểu loại cảm biến áp suất khác sử dụng công nghệ MEMS Chƣơng 2: Cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung Chƣơng giới thiệu tổng quan vi cảm biến áp suất điện dung Giới thiệu tính chất ... 25 2.3 Cảm biến áp suất 29 2.4 Các dạng cảm biến áp suất MEMS kiểu tụ điển hình 29 2.4.1 Vi cảm biến áp suất kiểu tụ sử dụng màng vuông 29 2.4.2 Vi cảm biến áp suất kiểu

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:39

... tạo cảm biến áp suất kiểu tụ. 7 1.4 Mặt cắt của cảm biến áp suất cộng hưởng. 8 1.5 Mặt cắt cảm biến áp suất áp điện. 8 1.6 Mặt cắt và mô hình cảm biến áp suất áp trở. 9 1.7 Cấu trúc của cảm biến ... cảm biến này là sai số lớn Hình 1.5 trình bày mặt cắt của cảm biến áp suất áp điện Hình 1.5: Mặt cắt cảm biến áp suất áp điện [5] • Cảm biến áp suất áp trở Cảm ... Cảm biến áp suất có thể phân thành bốn loại chính như sau: (1) cảm biến áp suất kiểu tụ (capacitive), (2) cảm biến áp suất cộng hưởng, (3) cảm biến áp suất áp

Ngày tải lên: 11/02/2015, 01:34

... loại Cảm biến áp suất dạng màng Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở Nguyên lý làm việc của cảm biến loại này dựa trên sự biến dạng của cấu trúc màng ( khi có áp suất ... cho ống bị biến dạng và đầu tự do di chuyển Cần di động Áp suất p Cảm biến áp suất dạng lò xo Cần di động Cần di động Áp suất p Áp suất p Cảm biến áp suất dạng ... biến sẽ gửi tín hiệu... Wheatsone Cảm biến áp suất dạng màng Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở Khi không có áp suất tác động các điện trở ở trạng thái cân bằng, điện

Ngày tải lên: 22/04/2015, 10:35

... 50 25 Hình 2.6 Cảm biến áp suất kết nối dùng điện trở 50 cầu Wheatstone 26 Hình 2.7 Cấu trúc cảm biến áp suất 59 27 Hình 2.8 Mơ hình phần tử hữu hạn cuả cảm biến áp suất áp 60 điện trở 28 Hình ... cảm biến áp suất áp 61 điện trở 29 Hình 2.10 Kết tính tốn phần tử hữu hạn cảm biến 62 áp suất với L = 500 µm, H = 10 µm, P = 100 KPa 30 Hình 2.11 Kết tính tốn phần tử hữu hạn cảm biến 63 áp suất ... quan hệ điện áp ngõ vi sai cảm 94 biến áp suất với nguồn cung cấp mA 69 Hình 4.10 Sự phụ thuộc điện áp ngõ vi sai vào áp 95 suất sau cầu cân 70 Hình 4.11 Mối quan hệ điện áp ngõ tải áp suất 96

Ngày tải lên: 16/11/2016, 21:19

... tụ Cảm biến áp suất kiểu dòng xoáy từ trở Cảm biến áp suất vật liệu biến dạng Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở • Nguyên lý làm việc cảm biến loại dựa biến dạng cấu trúc màng (khi có áp suất ... mA - Công nghệ cảm biến: dựa theo yêu cầu sử dụng Nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất Cảm biến Áp suất Xử lí Áp suất: nguồn áp suất cần kiểm tra áp suất khí, chất lỏng… Ngõ Cảm biến: phận nhận ... cảm biến thực xử lý để chuyển đổi tín hiệu sang dạng tín hiệu tiêu chuẩn Một số loại cảm biến áp suất: • • • • • Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở (thường sử dụng) Cảm biến áp suất kiểu tụ Cảm

Ngày tải lên: 10/03/2017, 20:19

... hệ thống điện • Áp suất đo áp suất phức tạp rác rối Tuy nhiên, với hầu hết hệ thống tương đối dễ dàng để nhận kết đo áp suất xác phương pháp kỹ thuật thích hợp sử dụng • Các cảm biến áp suất nói ... thống - điện thông thường Bởi giá thảnh giảm độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công ... m ưa tuyết Thiết kế ghi lại kết đọc áp suất thời so sánh với kết áp suất đọc tnróc Nó tạo m ột định có m ột giảm tăng áp suất Bằng cách sử đụng thông tin áp suất đo với thông tin nhiệt độ độ ẩm

Ngày tải lên: 05/12/2020, 09:38

... hệ thống điện • Áp suất đo áp suất phức tạp rác rối Tuy nhiên, với hầu hết hệ thống tương đối dễ dàng để nhận kết đo áp suất xác phương pháp kỹ thuật thích hợp sử dụng • Các cảm biến áp suất nói ... thống - điện thông thường Bởi giá thảnh giảm độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công ... m ưa tuyết Thiết kế ghi lại kết đọc áp suất thời so sánh với kết áp suất đọc tnróc Nó tạo m ột định có m ột giảm tăng áp suất Bằng cách sử đụng thông tin áp suất đo với thông tin nhiệt độ độ ẩm

Ngày tải lên: 16/03/2021, 12:39

... cần đo cảm biến loại đó) tác động lên cảm biến, cảm biến đưa giá trị vi xử lý, vi xử lý tín hiệu đưa tín hiệu Sơ đồ khối cảm biến áp suất Sơ đồ khối cảm biến áp suất Áp suất: nguồn áp suất cần ... cần kiểm tra áp suất khí, hơi, chất lỏng… Hình Cảm biến áp suất hệ thống bơm nước 1.3 Cấu tạo nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất Hình Cấu tạo cảm biến áp suất Cấu tạo cảm biến áp suất? ?gồm phần ... THUYẾT CỦA PHÉP ĐO ÁP SUẤT .4 1.1 Áp suất 1.2 Cảm biến áp suất gì? 1.3 Cấu tạo nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất 1.4 Ứng dụng cảm biến áp suất CHƯƠNG

Ngày tải lên: 17/09/2021, 07:16

... biến của cảm biến áp suất là sử dụng trong y tế để đo huyết áp của bệnh nhân. Trong máy đo huyết áp phần tử cảm biến chính là cảm biến áp suất. Cảm biến áp suất sẽ thu thập dữ liệu về áp suất ... vào độ lớn của áp suất tác dụng vào. Cảm biến áp suất kiểu màng có một số cấu trúc sau: Cảm biến áp suất tuyệt đối (hình 2.a) Cảm biến áp suất tương đối (hình 2.b) Cảm biến áp suất vi sai (hình ... suất vi sai (hình 2.c) Hình 2. Các loại cảm biến áp suất kiểu màng a) Cảm biến áp suất tuyệt đối b) Cảm biến áp suất tương đối c) Cảm biến áp suất vi sai 73 nhạy thay đổi từ 0,2 đến...

Ngày tải lên: 11/04/2013, 16:01