cảm biến áp suất mems

Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian pptx

Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian pptx

... Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian Cảm biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở silicon, được phát triển để đo từ 20Bar tới ... ra cảm biến từ hai áp suất giống nhau và nhiệt độ cảm biến được đặt cùng một vị trí trong dầu. Việc so sánh đầu ra cảm biến đã được thực hiện khoảng 3 năm sau trong điều kiện lắp đặt áp suất ... những ứng dụng cho áp suất trung bình và cao như áp suất dầu và gas có yêu cầu về độ chính xác, ổn định lâu dài và khử độ rung. Hình 2: Sai số áp suất áp dụng cho áp suất và nhiệt độ khác

Ngày tải lên: 25/03/2014, 04:22

15 449 5
mô phỏng đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất mems màng vuông tâm cứng dưới tải áp suất

mô phỏng đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất mems màng vuông tâm cứng dưới tải áp suất

... Thị Ngọc Quỳnh - Lớp K31 Vật lý CHƯƠNG 1 CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS VÀ PHẦN MỀM MÔ PHỎNG ANSYS 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 Vài nét về cảm biến áp suất MEMS Ngày nay với sự phát triển như vũ bão ... trong rất nhiều cảm biến khác như cảm biến nhiệt, cảm biến từ, cảm biến quang, cảm biến hoá, cảm biến sinh học Không chỉ dừng lại ở lĩnh vực cảm biến, các linh kiện MEMS còn được ứng dụng rộng rãi ... Lớp K31 Vật lý 1.1.2 Cảm biến áp suất MEMS màng vuông và các vấn đề còn tôn tại 1.1.2.1 Cam biến áp suất MEMS màng vuông Đã có nhiều kỹ thuật để đo áp suất Thông thường áp suất cần đo được chuyển

Ngày tải lên: 23/09/2014, 18:15

38 352 0
Mô phỏng đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện của cảm biến áp suất MEMs kiểu điện dung dưới tải áp suất

Mô phỏng đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện của cảm biến áp suất MEMs kiểu điện dung dưới tải áp suất

... silic Có nhiều hệ chủng loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý chuyển ... chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất? ?? Mục đích nghiên cứu Mô đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Nguyễn Thị Trà ... tượng nghiên cứu Cảm biến áp suất MEMS Nhiệm vụ nghiên cứu - Tìm hiểu cấu trúc nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung - Mô đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến - Kết thảo

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

28 340 0
Mô phỏng đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất mems màng chữ nhật phẳng dưới tải áp suất

Mô phỏng đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất mems màng chữ nhật phẳng dưới tải áp suất

... K31B_Lý Khoá luận tốt nghiệp Hoàng Thị Trang Chương cảm biến áp suất MEMS phần mềm mô ANSYS 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 vài nét cảm biến áp suất MEMS Ngày với phát triển khoa học công nghệ, nhiều ... Lời cảm ơn Lời cam đoan Mục lục Mở đầu Lí chọn đề tài Mục đích nghiên cứu 1 2 Phương pháp nghiên cứu Chương cảm biến áp suất mems phần mềm mô ansys 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 Vài nét cảm biến ... và phần mềm mô phỏng 3 ansys 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 Vài nét về cảm biến áp suất MEMS 1.1.2 Cảm biến áp suất MEMS màng chữ nhật phẳng 3 1.2 Phần

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

32 243 0
Mô phỏng đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất mems màng vuông tâm cứng dưới tải áp suất

Mô phỏng đặc trưng đáp ứng cơ của cảm biến áp suất mems màng vuông tâm cứng dưới tải áp suất

... chương Cảm biến áp suất MEMS phần mềm mô ANSYS 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 Vài nét cảm biến áp suất MEMS Ngày với phát triển vũ bÃo khoa học công nghệ nhiều ngành khoa học đời mang lại biến ... trưng ? ?áp ứng cảm biến áp suất mems màng vuông tâm cứng tải áp suất dựa phần mềm mô ANSYS II Mục đích nghiên cứu Nghiên cứu mô đặc trưng ? ?áp ứng cảm biến áp MEMS màng vuông tâm cứng tải áp suất ... đo áp suất biến dạng thay cho đầu đo truyền thống Cùng với phát triển công nghệ, MEMS không bó hẹp loại cảm biến mà ứng dụng nhiều cảm biến khác cảm biến nhiệt, cảm biến từ, cảm biến quang, cảm

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

39 270 0
Mô phỏng đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện của cảm biến áp suất MEMs kiểu điện dung dưới tải áp suất

Mô phỏng đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện của cảm biến áp suất MEMs kiểu điện dung dưới tải áp suất

... điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất? ?? Mục đích nghiên cứu Mơ đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Đối tượng nghiên cứu Cảm biến áp ... silic Có nhiều hệ chủng loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý chuyển ... nghệ MEMS khơng bó hẹp loại cảm biến mà phát triển ứng dụng nhiều lĩnh vực cảm biến khác Vì cảm biến áp suất chế tạo dựa công nghệ MEMS 1.2 Giới thiệu cảm biến đo áp suất dựa công nghệ MEMS Các

Ngày tải lên: 05/05/2018, 09:01

28 288 0
Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS : Luận văn ThS. Kỹ thuật điện tử - viễn thông: 2 07 00

Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS : Luận văn ThS. Kỹ thuật điện tử - viễn thông: 2 07 00

... giảm độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công nghệ M EM S với kết thực nghiệm đạt thông ... đổi cảm biến áp suất sở silic trở thành lựa chọn số Cảm biến vi silic cung cấp m ột độ xóc cao m ột giá thành thấp v đảm nhiệm vai trò ghép nối g iữ a giới học hệ thống điện • Áp suất đo áp suất ... cách hợp lý • Các cảm biến áp suất MEMS nói chung M otorola nói riêng phong phú v đa dạng chủng loại, dải áp suất đo mức độ tích hợp m ộ t chip N hững m ức độ tích hợp cảm biến khơng có m ạch

Ngày tải lên: 23/09/2020, 23:13

110 74 0
(Luận văn thạc sĩ) thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS

(Luận văn thạc sĩ) thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất MEMS

... giảm độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công nghệ M EM S với kết thực nghiệm đạt thông ... đổi cảm biến áp suất sở silic trở thành lựa chọn số Cảm biến vi silic cung cấp m ột độ xóc cao m ột giá thành thấp v đảm nhiệm vai trò ghép nối g iữ a giới học hệ thống điện • Áp suất đo áp suất ... cách hợp lý • Các cảm biến áp suất MEMS nói chung M otorola nói riêng phong phú v đa dạng chủng loại, dải áp suất đo mức độ tích hợp m ộ t chip N hững m ức độ tích hợp cảm biến khơng có m ạch

Ngày tải lên: 05/12/2020, 09:38

110 55 0
Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất mems

Thiết kế và thử nghiệm một số hệ thống đo lường chuyên dụng trên cơ sở cảm biến áp suất mems

... giảm độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công nghệ M EM S với kết thực nghiệm đạt thông ... đổi cảm biến áp suất sở silic trở thành lựa chọn số Cảm biến vi silic cung cấp m ột độ xóc cao m ột giá thành thấp v đảm nhiệm vai trò ghép nối g iữ a giới học hệ thống điện • Áp suất đo áp suất ... cách hợp lý • Các cảm biến áp suất MEMS nói chung M otorola nói riêng phong phú v đa dạng chủng loại, dải áp suất đo mức độ tích hợp m ộ t chip N hững m ức độ tích hợp cảm biến khơng có m ạch

Ngày tải lên: 16/03/2021, 12:39

110 29 0
SẢN XUẤT THÀNH CÔNG CHIP CảM BIẾN ÁP SUẤT BẰNG CÔNG NGHỆ MEMS

SẢN XUẤT THÀNH CÔNG CHIP CảM BIẾN ÁP SUẤT BẰNG CÔNG NGHỆ MEMS

... nghiệp, chip cảm biến áp suất có tác dụng kiểm soát áp suất đường ống, khí gas Trong lĩnh vực y tế, chip cảm biến áp suất dùng thiết bị đo huyết áp Còn đời sống, chip cảm biến áp suất dùng thiết ... công chip cảm biến áp suất công nghệ MEMS sẵn sàng cho thương mại hóa sản phẩm Theo thạc sĩ Trương Hữu Lý, Trưởng nhóm nghiên cứu chip cảm biến áp suất Trung tâm R&D, chip cảm biến áp suất ứng ... Sản xuất thành công chip cảm biến áp suất công nghệ MEMS  1-0012178: Chân chống bên xe máy hai bánh có kết cấu tựa xoay  Thiết kế chế tạo hệ thống lắp ráp tự động cuộn cảm  1-0012194: Kết cấu

Ngày tải lên: 18/02/2016, 01:29

15 270 0
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

... kế 50 25 Hình 2.6 Cảm biến áp suất kết nối dùng điện trở 50 cầu Wheatstone 26 Hình 2.7 Cấu trúc cảm biến áp suất 59 27 Hình 2.8 Mơ hình phần tử hữu hạn cuả cảm biến áp suất áp 60 điện trở 28 ... cảm biến áp suất áp 61 điện trở 29 Hình 2.10 Kết tính tốn phần tử hữu hạn cảm biến 62 áp suất với L = 500 µm, H = 10 µm, P = 100 KPa 30 Hình 2.11 Kết tính tốn phần tử hữu hạn cảm biến 63 áp suất ... 2.2 a) Cấu trúc cảm biến áp suất áp điện trở b) Cầu 46 46 Wheatstone 22 Hình 2.3 Q trình mơ MEMS cảm biến cụ thể 48 23 Hình 2.4 Trình bày layout linh kiện cảm biến áp suất áp 49 điện trở dùng cơng

Ngày tải lên: 16/11/2016, 21:19

12 366 0
Mô phỏng, phân tích cảm biến áp suất điện dung mems sử dụng lớp màng hình vuông và hình chữ nhật

Mô phỏng, phân tích cảm biến áp suất điện dung mems sử dụng lớp màng hình vuông và hình chữ nhật

... 43 2.1.3 Ứng dụng cảm biến MEMS [4] 47 2.2 Cảm biến áp suất [4] 47 2.2.1 Vi cảm biến áp suất kiểu tụ 48 2.2.2 Vi cảm biến áp suất kiểu áp trở 49 2.3 ... khác Một loại cảm biến với nhiều ứng dụng rộng rãi, cảm biến áp suất Cảm biến áp suất đƣợc dùng đo trực tiếp hệ thống lò hơi, trạm bơm nƣớc hay nhà máy… Do việc tìm hiểu cảm biến áp suất, công nghệ ... cao điện cực áp suất đƣợc áp dụng, thay đổi điện dung cảm biến đƣợc phát Tấm dƣới cảm biến điện dung cố định, phần linh hoạt, biến dạng có áp suất tác động Khi áp suất đƣợc áp dụng, biến dạng khoảng

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:55

72 15 0
Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

Nghiên cứu mô phỏng và khảo sát cảm biến áp suất kiểu áp trở chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)

... 1.3 Phân loại MEMS cảm biến áp suất 1.3.1 Màng silicon vi 1.3.2 Cảm biến áp suất áp trở 1.3.3 Cảm biến áp suất kiểu tụ điện 1.3.4 Cảm biến áp suất cộng hưởng ... ? ?áp ứng nhu cầu đa dạng địi hỏi cảm biến áp suất phải ? ?áp ứng cách tốt cho trƣờng hợp cụ thể Chính cảm biến áp suất kiểu áp trở, ? ?áp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi rộng Cảm biến áp suất ... kế 50 25 Hình 2.6 Cảm biến áp suất kết nối dùng điện trở 50 cầu Wheatstone 26 Hình 2.7 Cấu trúc cảm biến áp suất 59 27 Hình 2.8 Mơ hình phần tử hữu hạn cuả cảm biến áp suất áp 60 điện trở 28

Ngày tải lên: 25/03/2015, 11:56

110 1,2K 6
PRESSURE SENSOR & METER CẢM BIẾN ÁP SUẤT

PRESSURE SENSOR & METER CẢM BIẾN ÁP SUẤT

... Giải pháp là Tiên phong www.thietbicongnghiep.vn PRESSURE SENSOR & METER CẢM BIẾN ÁP SUẤT Full Catalog HAOYING – China LĨNH VỰCSẢN PHẨM - Bơm ... Áp suất, Nhiệt độ, Mức, - Hệ thống pha trộn – định lượng – Chiết rót. - Chế biến thực phẩm - Bia – Rượu - Dược phẩm – Sinh học - Hóa chất - Sơn – nhuộm - Giấy – Bộtgiấy CÔNG TY CP GIẢI PHÁP

Ngày tải lên: 10/06/2014, 20:56

21 749 0
nghiên cứu thiết kế, mô phỏng và chế tạo thử nghiệm chip cảm biến áp suất nhằng hướng tới ứng dụng trong các thiết bị dân dụng

nghiên cứu thiết kế, mô phỏng và chế tạo thử nghiệm chip cảm biến áp suất nhằng hướng tới ứng dụng trong các thiết bị dân dụng

... kiện MEMS năm 2011. 6 1.3 Quy trình chế tạo cảm biến áp suất kiểu tụ. 7 1.4 Mặt cắt của cảm biến áp suất cộng hưởng. 8 1.5 Mặt cắt cảm biến áp suất áp điện. 8 1.6 Mặt cắt và mô hình cảm biến áp suất ... cảm biến này là sai số lớn Hình 1.5 trình bày mặt cắt của cảm biến áp suất áp điện Hình 1.5: Mặt cắt cảm biến áp suất áp điện [5] • Cảm biến áp suất áp trở Cảm ... Cảm biến áp suất có thể phân thành bốn loại chính như sau: (1) cảm biến áp suất kiểu tụ (capacitive), (2) cảm biến áp suất cộng hưởng, (3) cảm biến áp suất áp

Ngày tải lên: 11/02/2015, 01:34

132 591 0
Cảm biến áp suất và các ứng dụng của chúng

Cảm biến áp suất và các ứng dụng của chúng

... áp suất tháp nó sẽ co lại Cảm biến áp suất dạng lò xo Khi giãn ra hay co lại, lò xo sẽ làm quay kim chỉ thị của áp kế Cảm biến áp suất dạng lò xo Cảm biến áp suất ... cho ống bị biến dạng và đầu tự do di chuyển Cần di động Áp suất p Cảm biến áp suất dạng lò xo Cần di động Cần di động Áp suất p Áp suất p Cảm biến áp suất dạng ... cảm biến áp suất Cảm biến áp suất có thể được đặt ở đáy một bể chứa để giám sát áp suất cột chất lỏng trong bể Cảm biến sẽ gửi tín hiệu... Wheatsone Cảm biến áp

Ngày tải lên: 22/04/2015, 10:35

44 850 4
Tìm hiểu kỹ vào loại cảm biến áp suất thông dụng nhất là loại áp điện trở

Tìm hiểu kỹ vào loại cảm biến áp suất thông dụng nhất là loại áp điện trở

... cách đo tần số xoáy Nhiễu và chống nhiễu: Cảm biến áp điện rất nhạy cảm với nhiễu, đặc biệt là do sự rung trên các đường ống, do vậy các cảm biến lưu lượng tần số dòng xoáy phải đưuọc ... AD)EF&;MA&N&&A&O&JP>  2P F   ,AD)EF 2 ? ?Cảm biến áp suất điện áp QO&&784&7>?57 ... !"#$ %&'(!)*%+ ,' / 01- 2' GVHD: PHAN HỮU TƯỚC I. CẢM BIẾN ÁP SUẤT KIỂU ÁP ĐIỆN 3 &45"67&&7

Ngày tải lên: 17/05/2015, 21:37

16 336 3
khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến áp suất MEMS

khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến áp suất MEMS

... biến của cảm biến áp suất là sử dụng trong y tế để đo huyết áp của bệnh nhân. Trong máy đo huyết áp phần tử cảm biến chính là cảm biến áp suất. Cảm biến áp suất sẽ thu thập dữ liệu về áp suất ... vào độ lớn của áp suất tác dụng vào. Cảm biến áp suất kiểu màng có một số cấu trúc sau: Cảm biến áp suất tuyệt đối (hình 2.a) Cảm biến áp suất tương đối (hình 2.b) Cảm biến áp suất vi sai (hình ... trước, là áp suất chuẩn. Với cảm biến áp suất tuyệt đối, áp suất cần đo được so sánh với áp suất của chân không, còn cảm biến áp suất tương đối thì áp suất cần đo được so sánh với áp suất khí quyển....

Ngày tải lên: 11/04/2013, 16:01

23 1,2K 2

Bạn có muốn tìm thêm với từ khóa:

w