cảm biến áp suất công nghệ mems

... hiểu cảm biến áp suất, công nghệ chế tạo nhƣ phƣơng pháp để thiết kế cảm biến áp suất nhu cầu cần thiết cho chúng ta, lý tơi chọn đề tài “Mơ phỏng, phân tích cảm biến áp suất điện dung MEMS sử ... 43 2.1.3 Ứng dụng cảm biến MEMS [4] 47 2.2 Cảm biến áp suất [4] 47 2.2.1 Vi cảm biến áp suất kiểu tụ 48 2.2.2 Vi cảm biến áp suất kiểu áp trở 49 2.3 ... góc phần tƣ cảm biến Một phần tƣ cảm biến áp suất đƣợc mô phần mềm Comsol thể hình 3.5 Hình 3.5 Một phần tƣ mơ hình cảm biến áp suất điện dung sử dụng lớp màng hình vng  Cảm biến áp suất điện

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:55

... 21 I.1.1 Công nghệ MEMS 21 I.1.2 Cảm biến áp suất dạng áp trở chế tạo công nghệ MEMS 22 I.1.3 Tình hình nghiên cứu chế tạo cảm biến áp suất dạng áp trở Việt Nam ... gồm việc hoàn thiện công nghệ chế tạo cảm biến áp suất dạng áp trở ứng dụng cảm biến áp suất hệ thống quan trắc tình trạng ngập lụt Tp Hồ Chí Minh Các cấu trúc cảm biến áp suất dải đo 0-50 kPa ... đóng gói cảm biến áp suất 80 II.4.1 Lựa chọn thông số cho quy trình cơng nghệ 80 II.4.2 Các bước chế tạo cảm biến áp suất 82 II.4.3 Kết chế tạo cảm biến áp suất

Ngày tải lên: 05/10/2023, 19:34

... 1.3 Phân loại MEMS cảm biến áp suất 1.3.1 Màng silicon vi 1.3.2 Cảm biến áp suất áp trở 1.3.3 Cảm biến áp suất kiểu tụ điện 1.3.4 Cảm biến áp suất cộng hưởng ... đáp ứng nhu cầu đa dạng địi hỏi cảm biến áp suất phải đáp ứng cách tốt cho trƣờng hợp cụ thể Chính cảm biến áp suất kiểu áp trở, đáp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi rộng Cảm biến áp suất ... kế 50 25 Hình 2.6 Cảm biến áp suất kết nối dùng điện trở 50 cầu Wheatstone 26 Hình 2.7 Cấu trúc cảm biến áp suất 59 27 Hình 2.8 Mơ hình phần tử hữu hạn cuả cảm biến áp suất áp 60 điện trở 28

Ngày tải lên: 25/03/2015, 11:56

... CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS KIỂU ĐIỆN DUNG 25 2.1 Áp suất 25 2.2 Nguyên lý đo áp suất dựa phép đo biến dạng 25 2.3 Cảm biến áp suất 29 2.4 Các dạng cảm biến áp ... giá ảnh hƣởng nhiệt độ đến áp suất vi cảm biến kiểu điện dung TĨM TẮT Đồ án tập trung tìm hiểu công nghệ MEMS, thiết kế mô vi cảm biến áp suất Cụ thể vi cảm biến áp suất điện dung phần mềm COMSOL ... Vi cảm biến áp suất áp điện trở 17 1.3.3 Vi cảm biến áp suất kiểu tụ điện 21 1.3.4 Vi cảm biến áp suất cộng hƣởng 22 1.4 Kết luận chƣơng 24 Chƣơng CẢM

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:39

... lock-in với cảm biến áp suất MPX2300D: Để đánh giá khả đo đạc khuyếch đại lock-in xây dựng em thực thiết kế hệ đo cho sensor áp suất MPX2300D 3.3.2.1 Cảm biến áp suất MPX2300D: - Cảm biến áp suất MPX2300D ... cho cảm biến có nhân khuyếch đại lock-in vừa chế tạo Cụ thể khóa luận thử nghiệm hệ đo áp dụng cho cảm biến áp suất MPX2300D công ty Motorola cung cấp Sinh Viên : Lê Trần Triệu Tuấn ĐH Cơng Nghệ ... Sơ đồ chân cảm biến MPX2300D Vs S+ S- GND Sinh Viên : Lê Trần Triệu Tuấn 56 ĐH Công Nghệ - ĐHQG Hà Nội Khóa Luận Tốt Nghiệp Bảng 3.1 Sơ đồ chân cảm biến MPX2300D Hình dáng bên bên cảm biến biểu

Ngày tải lên: 16/04/2013, 10:35

... CHƯƠNG 1 CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS VÀ PHẦN MỀM MÔ PHỎNG ANSYS 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 Vài nét về cảm biến áp suất MEMS Ngày nay với sự phát triển như vũ bão của khoa học công nghệ nhiều ... loại cảm biến cơ mà còn được ứng dụng trong rất nhiều cảm biến khác như cảm biến nhiệt, cảm biến từ, cảm biến quang, cảm biến hoá, cảm biến sinh học Không chỉ dừng lại ở lĩnh vực cảm biến, các ... Đó là các áp điện trở Cảm biến áp suất MEMS màng vuông mới vẫn hoạt động dựa trên nguyên lý của cảm biến áp suất MEMS màng vuông dạng phẳng thông thường: Đó là khi có chênh lệch áp suất màng

Ngày tải lên: 23/09/2014, 18:15

... silic Có nhiều hệ chủng loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý chuyển ... chế tạo dựa công nghệ MEMS 1.2 Giới thiệu cảm biến đo áp suất dựa công nghệ MEMS Các vi cảm biến sử dụng silic làm vật liệu đế chế tạo kỹ thuật công nghệ vi Với khả đặc biệt công nghệ chế tạo ... nghiệp nghệ MEMS có bước phát triển mạnh mẽ mở nhiều kỹ thuật đạt thành tựu đáng kể Công nghệ MEMS không bó hẹp loại cảm biến mà phát triển ứng dụng nhiều lĩnh vực cảm biến khác Vì cảm biến áp suất

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

... nghiệp Hoàng Thị Trang Chương cảm biến áp suất MEMS phần mềm mô ANSYS 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 vài nét cảm biến áp suất MEMS Ngày với phát triển khoa học công nghệ, nhiều ngành khoa học Vật ... Lời cảm ơn Lời cam đoan Mục lục Mở đầu Lí chọn đề tài Mục đích nghiên cứu 1 2 Phương pháp nghiên cứu Chương cảm biến áp suất mems phần mềm mô ansys 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 Vài nét cảm biến ... và phần mềm mô phỏng 3 ansys 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 Vài nét về cảm biến áp suất MEMS 1.1.2 Cảm biến áp suất MEMS màng chữ nhật phẳng 3 1.2 Phần

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

... triển công nghệ, MEMS không bó hẹp loại cảm biến mà ứng dụng nhiều cảm biến khác cảm biến nhiệt, cảm biến từ, cảm biến quang, cảm biến hoá, cảm biến sinh học Không dừng lại lĩnh vực cảm biến, ... chương Cảm biến áp suất MEMS phần mềm mô ANSYS 1.1 Cảm biến áp suất MEMS 1.1.1 Vài nét cảm biến áp suất MEMS Ngày với phát triển vũ bÃo khoa học công nghệ nhiều ngành khoa học đời mang lại biến ... v.v Ngày cảm biến áp suất MEMS đóng vai trò lớn ngành công nghiệp đời sống hàng ngày Người ta không kể đến cảm biến áp suất nhắc đến MEMS hay ngược lại không kể đến MEMS nói cảm biến áp suất =======================================================

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

... Cơng nghệ MEMS khơng bó hẹp loại cảm biến mà phát triển ứng dụng nhiều lĩnh vực cảm biến khác Vì cảm biến áp suất chế tạo dựa công nghệ MEMS 1.2 Giới thiệu cảm biến đo áp suất dựa công nghệ MEMS ... silic Có nhiều hệ chủng loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý chuyển ... áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất” Mục đích nghiên cứu Mơ đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Đối tượng nghiên cứu Cảm biến áp suất MEMS Nhiệm

Ngày tải lên: 05/05/2018, 09:01

... độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công nghệ M EM S với kết thực nghiệm đạt thông q u ... cách hợp lý • Các cảm biến áp suất MEMS nói chung M otorola nói riêng phong phú v đa dạng chủng loại, dải áp suất đo mức độ tích hợp m ộ t chip N hững m ức độ tích hợp cảm biến khơng có m ạch ... m ưa tuyết Thiết kế ghi lại kết đọc áp suất thời so sánh với kết áp suất đọc tnróc Nó tạo m ột định có m ột giảm tăng áp suất Bằng cách sử đụng thông tin áp suất đo với thông tin nhiệt độ độ ẩm

Ngày tải lên: 23/09/2020, 23:13

... độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công nghệ M EM S với kết thực nghiệm đạt thông q u ... cách hợp lý • Các cảm biến áp suất MEMS nói chung M otorola nói riêng phong phú v đa dạng chủng loại, dải áp suất đo mức độ tích hợp m ộ t chip N hững m ức độ tích hợp cảm biến khơng có m ạch ... m ưa tuyết Thiết kế ghi lại kết đọc áp suất thời so sánh với kết áp suất đọc tnróc Nó tạo m ột định có m ột giảm tăng áp suất Bằng cách sử đụng thông tin áp suất đo với thông tin nhiệt độ độ ẩm

Ngày tải lên: 05/12/2020, 09:38

... độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công nghệ M EM S với kết thực nghiệm đạt thông q u ... cách hợp lý • Các cảm biến áp suất MEMS nói chung M otorola nói riêng phong phú v đa dạng chủng loại, dải áp suất đo mức độ tích hợp m ộ t chip N hững m ức độ tích hợp cảm biến khơng có m ạch ... m ưa tuyết Thiết kế ghi lại kết đọc áp suất thời so sánh với kết áp suất đọc tnróc Nó tạo m ột định có m ột giảm tăng áp suất Bằng cách sử đụng thông tin áp suất đo với thông tin nhiệt độ độ ẩm

Ngày tải lên: 16/03/2021, 12:39

... Giải pháp là Tiên phong www.thietbicongnghiep.vn PRESSURE SENSOR & METER CẢM BIẾN ÁP SUẤT Full Catalog HAOYING – China LĨNH VỰCSẢN PHẨM - Bơm ... Áp suất, Nhiệt độ, Mức, - Hệ thống pha trộn – định lượng – Chiết rót. - Chế biến thực phẩm - Bia – Rượu - Dược phẩm – Sinh học - Hóa chất - Sơn – nhuộm - Giấy – Bộtgiấy CÔNG TY CP GIẢI PHÁP ... GIẢI PHÁP CÔNG NGHIỆP – info@thietbicongnghiep.vn – 043 665 8985 DỊCH VỤ - Tư vấn, Thiết kế quá trình công nghệ. - Chế tạo, Cung cấp, Lắp đặt Dây chuyền - thiết bị. - Chuyển giao công nghệ. -

Ngày tải lên: 10/06/2014, 20:56

... kiện MEMS năm 2011. 6 1.3 Quy trình chế tạo cảm biến áp suất kiểu tụ. 7 1.4 Mặt cắt của cảm biến áp suất cộng hưởng. 8 1.5 Mặt cắt cảm biến áp suất áp điện. 8 1.6 Mặt cắt và mô hình cảm biến áp suất ... cảm biến này là sai số lớn Hình 1.5 trình bày mặt cắt của cảm biến áp suất áp điện Hình 1.5: Mặt cắt cảm biến áp suất áp điện [5] • Cảm biến áp suất áp trở Cảm ... suất. .. Đạt tiêu chuẩn chế tạo Chip cảm biến áp Chip cảm biến áp suất suất công nghệ MEMS Cảm biến áp suất Dải áp suất: 0 – 6 Bar kiểu tụ điện 1 bộ Hoàn thành

Ngày tải lên: 11/02/2015, 01:34

... áp suất tháp nó sẽ co lại Cảm biến áp suất dạng lò xo Khi giãn ra hay co lại, lò xo sẽ làm quay kim chỉ thị của áp kế Cảm biến áp suất dạng lò xo Cảm biến áp suất ... cho ống bị biến dạng và đầu tự do di chuyển Cần di động Áp suất p Cảm biến áp suất dạng lò xo Cần di động Cần di động Áp suất p Áp suất p Cảm biến áp suất dạng ... cảm biến áp suất Cảm biến áp suất có thể được đặt ở đáy một bể chứa để giám sát áp suất cột chất lỏng trong bể Cảm biến sẽ gửi tín hiệu... Wheatsone Cảm biến áp

Ngày tải lên: 22/04/2015, 10:35

... cách đo tần số xoáy Nhiễu và chống nhiễu: Cảm biến áp điện rất nhạy cảm với nhiễu, đặc biệt là do sự rung trên các đường ống, do vậy các cảm biến lưu lượng tần số dòng xoáy phải đưuọc ... AD)EF&;MA&N&&A&O&JP>  2P F   ,AD)EF 2 Cảm biến áp suất điện áp QO&&784&7>?57 ... !"#$ %&'(!)*%+ ,' / 01- 2' GVHD: PHAN HỮU TƯỚC I. CẢM BIẾN ÁP SUẤT KIỂU ÁP ĐIỆN 3 &45"67&&7

Ngày tải lên: 17/05/2015, 21:37

... trong đó cảm biến (1) đo áp suất tổng, cảm biến (2) đo áp suất tĩnh 16 Đo áp suất động bằng ống Pitot 17 18 Ống Pitot 19 • Có thể đo áp suất động bằng cách đặt áp suất ... phẳng, áp suất động chuyển thành áp suất tĩnh, áp suất tác dụng lên mặt phẳng là áp suất tổng Do vậy áp suất động được đo thông qua chênh lệch giữa áp suất tổng và áp suất ... bình các cảm biến đo ứng suất để đo biến dạng của thành bình • Đối với chất lưu chuyển động, áp suất chất lưu (p) là tổng áp suất tĩnh và áp suất động 14 • Áp suất tĩnh

Ngày tải lên: 05/08/2015, 00:56

... 4-20 mA - Công nghệ cảm biến: dựa theo yêu cầu sử dụng Nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất Cảm biến Áp suất Xử lí Áp suất: nguồn áp suất cần kiểm tra áp suất khí, chất lỏng… Ngõ Cảm biến: phận ... tụ Cảm biến áp suất kiểu dòng xoáy từ trở Cảm biến áp suất vật liệu biến dạng Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở • Nguyên lý làm việc cảm biến loại dựa biến dạng cấu trúc màng (khi có áp suất ... cảm biến thực xử lý để chuyển đổi tín hiệu sang dạng tín hiệu tiêu chuẩn Một số loại cảm biến áp suất: • • • • • Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở (thường sử dụng) Cảm biến áp suất kiểu tụ Cảm

Ngày tải lên: 10/03/2017, 20:19

... chip cảm biến áp suất ứng dụng rộng rãi đời sống, công nghiệp y tế Trong công nghiệp, chip cảm biến áp suất có tác dụng kiểm sốt áp suất đường ống, khí gas Trong lĩnh vực y tế, chip cảm biến áp suất ... gia TPHCM) công bố sản xuất thành công chip cảm biến áp suất cơng nghệ MEMS sẵn sàng cho thương mại hóa sản phẩm Theo thạc sĩ Trương Hữu Lý, Trưởng nhóm nghiên cứu chip cảm biến áp suất Trung ... THÔNG TIN THÀNH TỰU SẢN XUẤT THÀNH CÔNG CHIP CảM BIẾN ÁP SUẤT BẰNG CÔNG NGHỆ MEMS Ngày 28/4, Khu Công nghệ cao TPHCM, Trung tâm Nghiên cứu triển khai (R&D - Khu Công nghệ cao TPHCM) phối hợp với Trung...

Ngày tải lên: 18/02/2016, 01:29