Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer

70 33 0

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

1 / 70 trang

THÔNG TIN TÀI LIỆU

Thông tin cơ bản

Định dạng
Số trang	70
Dung lượng	4,14 MB

Nội dung

Luận văn công nghệ vật liệu Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer Luận văn công nghệ vật liệu Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer Luận văn công nghệ vật liệu Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer

Ngày đăng: 08/11/2021, 21:14

HÌNH ẢNH LIÊN QUAN

Hình 1.3. Số lượng ấn phẩm graphene theo năm, sử dụng dữ liệu của SciFinder cho - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.3.** Số lượng ấn phẩm graphene theo năm, sử dụng dữ liệu của SciFinder cho (Trang 14)

Hình 1.2. Sơ đồ minh họa sự chuyển biến từ graphene sang fullerenes, carbon - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.2.** Sơ đồ minh họa sự chuyển biến từ graphene sang fullerenes, carbon (Trang 14)

Hình 1.4. (a) Cấu trúc nguyên tử của nguyên tử carbon, (b) Mức năng lượng của - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.4.** (a) Cấu trúc nguyên tử của nguyên tử carbon, (b) Mức năng lượng của (Trang 16)

Hình 1.5. Tổng hợp ba loại nếp gấp trên graphene (gợn sóng, wrinkles và crumples) - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.5.** Tổng hợp ba loại nếp gấp trên graphene (gợn sóng, wrinkles và crumples) (Trang 17)

Hình 1.7. Các khuyết tật của graphene: (a) Vị trí trống đơn, (b) Vị trí trống kép, (c) - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.7.** Các khuyết tật của graphene: (a) Vị trí trống đơn, (b) Vị trí trống kép, (c) (Trang 18)

Hình 1.8. Các khuyết tật 1D trong graphene: (a, b, c) Thể hiện cho các khuyết tật - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.8.** Các khuyết tật 1D trong graphene: (a, b, c) Thể hiện cho các khuyết tật (Trang 18)

Hình 1.9. Phổ Raman graphene từ 1 đến 5 lớp [11]. - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.9.** Phổ Raman graphene từ 1 đến 5 lớp [11] (Trang 19)

Hình 1.10. Phương pháp bóc tách vi mô: (a) Băng dính được gắn vào tinh thể than - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.10.** Phương pháp bóc tách vi mô: (a) Băng dính được gắn vào tinh thể than (Trang 20)

Hình 1.12. Biểu đồ tỉ lệ hoà tan của carbon trên các chất nền: (a) Ni, (b) Cu. - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.12.** Biểu đồ tỉ lệ hoà tan của carbon trên các chất nền: (a) Ni, (b) Cu (Trang 22)

Hình 1.13. Bề mặt Cu: (a) Trước và (b) Sau khi ăn mòn với acid. - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.13.** Bề mặt Cu: (a) Trước và (b) Sau khi ăn mòn với acid (Trang 23)

Hình 1.14. Giản đồ thể hiện nhiệt độ theo thời gian trong buồng CVD. - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.14.** Giản đồ thể hiện nhiệt độ theo thời gian trong buồng CVD (Trang 24)

Bảng 1.2. Hệ số dẫn nhiệt của một số chất phổ biến. - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Bảng 1.2.** Hệ số dẫn nhiệt của một số chất phổ biến (Trang 28)

Bảng 1.1. Tính chất cơ học của một số vật liệu phổ biến. - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Bảng 1.1.** Tính chất cơ học của một số vật liệu phổ biến (Trang 28)

Hình 1.18. Quy trình transfer ăn mòn ướt graphene không sử dụng lớp hỗ trợ [29]. - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 1.18.** Quy trình transfer ăn mòn ướt graphene không sử dụng lớp hỗ trợ [29] (Trang 30)

Hình 2.1. Hệ CVD OTF-1200X được lắp đặt tại Phòng Thí nghiệm Công nghệ Vật - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 2.1.** Hệ CVD OTF-1200X được lắp đặt tại Phòng Thí nghiệm Công nghệ Vật (Trang 34)

Hình 2.2. So sánh bề mặt của lá Cu khi xử lý trong 2 quy trình: (a) Xử lý qua quy - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 2.2.** So sánh bề mặt của lá Cu khi xử lý trong 2 quy trình: (a) Xử lý qua quy (Trang 36)

Bảng 2.1. Quan sát bề mặt lá Cu bằng kính hiển vi quang học OM sau khi xử lý - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Bảng 2.1.** Quan sát bề mặt lá Cu bằng kính hiển vi quang học OM sau khi xử lý (Trang 37)

Hình 2.3. Lá Cu sau khi xử lý bề mặt bởi acid acetic: (a) Trong 20 phút theo quy - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 2.3.** Lá Cu sau khi xử lý bề mặt bởi acid acetic: (a) Trong 20 phút theo quy (Trang 38)

Hình 2.4. Bề mặt đế Cu sau khi ủ nhiệt trong buồng CVD: (a) Ở 1000˚C trong 30 - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 2.4.** Bề mặt đế Cu sau khi ủ nhiệt trong buồng CVD: (a) Ở 1000˚C trong 30 (Trang 39)

Bảng 2.2. Nhiệt độ - thời gian của quá trình CVD, x là nhiệt độ tổng hợp graphene, - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Bảng 2.2.** Nhiệt độ - thời gian của quá trình CVD, x là nhiệt độ tổng hợp graphene, (Trang 40)

Hình 2.6. Ảnh chụp kính hiển vi quang học OM và phổ Raman hai vị trí bất kỳ: - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 2.6.** Ảnh chụp kính hiển vi quang học OM và phổ Raman hai vị trí bất kỳ: (Trang 42)

Hình 2.7. Sự biến đổi của tỉ lệ I2D/IG và FWHM 2D của các mẫu 1405, 1006, 0407. - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 2.7.** Sự biến đổi của tỉ lệ I2D/IG và FWHM 2D của các mẫu 1405, 1006, 0407 (Trang 43)

Hình 2.8. Ảnh chụp kính hiển vi quang học OM và phổ Raman hai vị trí bất kỳ: (a) - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 2.8.** Ảnh chụp kính hiển vi quang học OM và phổ Raman hai vị trí bất kỳ: (a) (Trang 45)

Hình 3.4. Ảnh SEM bề mặt graphene mẫu 0107 sau khi transfer lên đế SiO2/Si - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 3.4.** Ảnh SEM bề mặt graphene mẫu 0107 sau khi transfer lên đế SiO2/Si (Trang 52)

Hình 3.7. Ảnh SEM bề mặt graphene mẫu 0107 sau khi transfer lên đế SiO2/Si sử - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 3.7.** Ảnh SEM bề mặt graphene mẫu 0107 sau khi transfer lên đế SiO2/Si sử (Trang 54)

Hình 3.10. Ảnh SEM bề mặt graphene 0107 sau khi transfer lên đế SiO2/Si sử - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 3.10.** Ảnh SEM bề mặt graphene 0107 sau khi transfer lên đế SiO2/Si sử (Trang 56)

Bảng 3.1. Các đỉnh D, G, 2D và tỉ lệ cường độ I2D/IG của graphene mẫu 0107 trước - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Bảng 3.1.** Các đỉnh D, G, 2D và tỉ lệ cường độ I2D/IG của graphene mẫu 0107 trước (Trang 58)

Hình 3.14. Ảnh SEM bề mặt graphene mẫu 0407 sau khi transfer lên đế SiO2/Si - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 3.14.** Ảnh SEM bề mặt graphene mẫu 0407 sau khi transfer lên đế SiO2/Si (Trang 60)

Hình 3.16. Ảnh SEM bề mặt graphene mẫu 0407 sau khi transfer lên đế SiO2/Si - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 3.16.** Ảnh SEM bề mặt graphene mẫu 0407 sau khi transfer lên đế SiO2/Si (Trang 62)

Hình 3.17. Phổ Raman của graphene mẫu 0407 trước và sau khi thực hiện các kỹ - Nghiên cứu chế tạo vật liệu 2D graphene sử dụng phương pháp CVD và kỹ thuật transfer — **Hình 3.17.** Phổ Raman của graphene mẫu 0407 trước và sau khi thực hiện các kỹ (Trang 63)

TỪ KHÓA LIÊN QUAN