Chế tạo màng mỏng si3n4 sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma

86 1 0
Chế tạo màng mỏng si3n4 sio2 và màng treo si3n4 bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Thông tin tài liệu

Ngày đăng: 05/07/2021, 07:46