Mô phỏng cơ chế khuếch tán bubbles trong vật liệu kim loạI vô định hình

Mô phỏng cơ chế khuếch tán bubbles trong vật liệu kim loạI vô định hình Mô phỏng cơ chế khuếch tán bubbles trong vật liệu kim loạI vô định hình Mô phỏng cơ chế khuếch tán bubbles trong vật liệu kim loạI vô định hình luận văn tốt nghiệp,luận văn thạc sĩ, luận văn cao học, luận văn đại học, luận án tiến sĩ, đồ án tốt nghiệp luận văn tốt nghiệp,luận văn thạc sĩ, luận văn cao học, luận văn đại học, luận án tiến sĩ, đồ án tốt nghiệp

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI NGUYỄN THỊ MINH PHƯƠNG NGHIÊN CỨU MỘT SỐ TÍNH CHẤT ĐẶC TRƯNG CỦA SĨNG BỀ MẶT TRONG VẬT LIỆU ÁP ĐIỆN Chuyên ngành: Vật lý chất rắn Mã số : 1.02.07 LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ Người hướng dẫn khoa học PGS.TS HOÀNG VĂN PHONG HÀ NỘI - 2006 MỤC LỤC Lời cảm ơn Lời cam đoan Mục lục Danh mục ký hiệu tên khoa học Danh mục hình vẽ MỞ ĐẦU Chương CÁC CƠ SỞ LÝ THUYẾT VỀ SÓNG BỀ MẶT VÀ ĐỐI TƯỢNG TRÊN ĐÓ SÓNG BỀ MẶT TỒN TẠI VÀ LAN TRUYỀN 1.1 Các sở lý thuyết sóng bề mặt 1.2.Tinh thể xenhét điện lý thuyết nhiệt động học xenhét điện 18 1.3 Các vấn đề đặt luận án 25 1.4 Kết luận chương 27 Chương SỰ TỒN TẠI VÀ CHUYỂN ĐỔI TÍNH CHẤT ĐẶC TRƯNG CỦA SÓNG BỀ MẶT Ở TINH THỂ XENHÉT, ÁP ĐIỆN 2.1 Sự tồn tính chất số sóng bề mặt tinh thể áp điện 29 2.2 Ảnh hưởng hiệu ứng áp điện đến tần số sóng liên kết đàn hồi điện từ bề mặt 34 2.3 Kết luận chương 40 Chương MỘT SỐ TÍNH CHẤT VÀ ĐẶC TRƯNG CỦA SÓNG BỀ MẶT TRONG CẤU TRÚC MÀNG MỎNG 3.1 Tính chất sóng bề mặt hệ cấu trúc lớp điện môi- tinh thể áp điện 42 3.2 Sóng âm bề mặt tiếp xúc hai môi trường đẳng hướng mơi trường có cấu trúc hai lớp phía 47 3.3 Kết luận chương 54 Chương ẢNH HƯỞNG TRƯỜNG NGOÀI TỚI SỰ TỒN TẠI VÀ TÍNH CHẤT ĐẶC TRƯNG CỦA SĨNG BỀ MẶT TRONG TINH THỂ ÁP ĐIỆN 4.1 Ảnh hưởng điện trường lên tính chất sóng bề mặt Love tinh thể áp điện 55 4.2 Sóng bề mặt tính chất sóng trường ngồi biến thiên với tần số cao 61 4.3 Kết luận chương 66 Chương ẢNH HƯỞNG CỦA CHUYỂN PHA CẤU TRÚC LÊN ĐẶC TRƯNG CỦA SÓNG BỀ MẶT TRONG TINH THỂ ÁP ĐIỆN 5.1 Tính chất sóng bề mặt tinh thể áp điện vùng chuyển pha xenhét điện 68 5.2 Sóng Rayleigh bề mặt tinh thể áp điện lân cận vùng chuyển pha xenhét 73 5.3 Kết luận chương 79 KẾT LUẬN 80 DANH MỤC CÁC CƠNG TRÌNH CƠNG BỐ 82 TÀI LIỆU THAM KHẢO 84 DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ Hình 1.1 Hệ tọa độ mơ tả lan truyền sóng Rayleigh Hình 1.2 Hệ tọa độ mơ tả lan truyền sóng Love Hình 1.3 Hệ tọa độ mơ tả sóng Guliaev - Bleustein H×nh 3.1 Mơ hình cấu trúc lớp điện mơi - tinh thể áp điện Hình 3.2 Mơ hình cấu trúc hệ lớp - đế Hình 5.1 Hệ tọa độ mô tả hệ tinh thể khảo sát DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ TÊN KHOA HỌC ρ : mật độ khối tinh thể µ : số đàn hồi môi trường (thông số Lame) σ ik : tenxơ ứng suất học u lm : tenxơ biến dạng cE iklm : tenxơ môđun đàn hồi  E : véctơ cường độ điện trường  D : véctơ cảm ứng điện εs jn : tenxơ độ thẩm điện môi e jik : tenxơ số áp điện  P : véc tơ phân cực K: hệ số liên kết điện χ t : đại lượng đặc trưng cho độ tắt dần sóng bề mặt r D : bán kính Debye electron C : số Curie T : nhiệt độ F : hàm lượng tự tinh thể γ : hệ số tắt dần phônon quang học C 2v (hoặc 2mm): lớp đối xứng tinh thể hệ trực thoi (hệ orthorhombic) C (hoặc 4): lớp đối xứng tinh thể hệ bốn phương (hệ tetragonal) C 4v (hoặc 4mm): lớp đối xứng tinh thể hệ bốn phương (hệ tetragonal) D (hoặc 422): lớp đối xứng tinh thể hệ bốn phương (hệ tetragonal) D 2d (hoặc 42m ): lớp đối xứng tinh thể hệ bốn phương (hệ tetragonal) C (hoặc 6): lớp đối xứng tinh thể hệ sáu phương (hệ hexagonal) C 6v (hoặc 6mm): lớp đối xứng tinh thể hệ sáu phương (hệ hexagonal) D (hoặc 622): lớp đối xứng tinh thể hệ sáu phương (hệ hexagonal) T d (hoặc 43m ): lớp đối xứng tinh thể hệ lập phương (hệ cubic) Lời cảm ơn Tác giả xin chân thành cảm ơn bày tỏ lòng kính trọng, biết ơn sâu sắc PGS.TS Hoàng Văn Phong ý tưởng ý kiến quí báu cho luận án, giúp đỡ, động viên tác giả suốt trình thực luận án Xin chân thành cảm ơn Trường Đại học Quy Nhơn, Khoa Vật lý đà tạo điều kiện thuận lợi cho tác giả thời gian nghiên cứu hỗ trợ kinh phí đào tạo Xin chân thành cảm ơn Trường Đại học Bách khoa Hà Nội, Trung tâm Đào tạo Bồi dưỡng Sau Đại học thuộc Trường Đại học Bách khoa Hà Nội, Viện Vật lý Kỹ thuật thuộc Trường Đại học Bách khoa Hà Nội, Bộ môn Vật lý Lý thuyết thuộc Viện Vật lý Kỹ thuật đà tạo điều kiện tốt cho tác giả hoàn thành luận án Tác giả xin bày tỏ lòng biết ơn chân thành đội ngũ cán giảng dạy Viện Vật lý Kỹ thuật thuộc Trường Đại học Bách khoa Hà Nội đà đóng góp ý kiến thảo luận kết luận án Cuối cùng, tác giả quên giúp đỡ tận tình Thầy cô, bạn bè, anh em người thân gia đình đà theo dõi, động viên tạo điều kiện thuận lợi cho tác giả hoàn thành luận án Tác giả xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc đến người Luận án đà hoàn thành Bộ môn Vật lý Lý thuyết, Viện Vật lý Kỹ thuật, Trường Đại học Bách khoa Hà Nội Tác giả luận án Lời cam đoan Tác giả xin cam đoan công trình nghiên cứu tác giả Các kết nêu luận án trung thực, chưa công bố công trình khác Nếu có điều sai trái, tác giả xin hoàn toàn chịu trách nhiệm Hà Nội, năm 2006 Tác giả luận án M U Trong năm gần việc nghiên cứu tượng bề mặt thu hút quan tâm lớn nhà vật lý phương diện lý thuyết lẫn thực nghiệm Sự phát sinh tồn loại sóng bề mặt hệ vật lý, bề mặt lớp vật liệu có cấu trúc khác thường xuyên đề cập công trình nghiên cứu nhiều tác giả Nguyên nhân để có quan tâm, ý khả ứng dụng ngày rộng rãi linh kiện, thiết bị có kích thước ngày nhỏ, mỏng vào sống hàng ngày vào q trình sản xuất sản phẩm hàng hố Với nhiều linh kiện, thiết bị có bề dày vài bước sóng hiệu ứng bề mặt trở nên trội hơn, có vai trị quan trọng việc xác định tính chất, trình làm việc linh kiện, trình hoạt động thiết bị Sự quan tâm đến q trình truyền sóng bề mặt vật liệu ngày phát triển sóng có ứng dụng to lớn nhiều thiết bị hoạt động xử lý tín hiệu, lọc tán sắc, cộng hưởng cao tần, vi dịch chuyển, cịn sử dụng nghiên cứu tính chất vật liệu lân cận bề mặt chúng Việc nghiên cứu cấu trúc tính chất bề mặt loại vật liệu nhằm tạo điều kiện chế tạo vật liệu, linh kiện, sản phẩm có mặt tiếp xúc hồn thiện đáp ứng nhu cầu khắt khe cơng nghệ có ý nghĩa thời cấp bách, có giá trị khoa học thực tiễn lớn Trong loại vật liệu điện tử nhà lý thuyết nhà thực nghiệm quan tâm vật liệu xenhét, áp điện Đây loại vật liệu điện tử sử dụng rộng rãi công nghiệp vô tuyếnđiện tử, kỹ thuật vật lý điện tử nhờ có tính chất bề mặt đặc biệt thuận lợi cho truyền tín hiệu có chất khác Trên sở đó, chọn đối tượng để nghiên cứu tính chất đặc trưng sóng bề mặt q trình chuyển pha vật liệu xenhét, áp điện Trong cơng trình nghiên cứu lĩnh vực này, nhà thực nghiệm nhà lý thuyết quan tâm tới ảnh hưởng điều kiện bên ngồi tới tính chất đặc trưng sóng bề mặt q trình truyền sóng bề mặt điều kiện cực trị hệ vật chất Các điều kiện cực trị thường gặp miền chuyển pha Ở lân cận điểm chuyển pha nhiều đại lượng vật lý đặc trưng cho hệ chịu thăng giáng lớn Sự xuất thăng giáng làm cho hệ trở nên không ổn định Càng gần đến điểm chuyển pha ổn định gia tăng kéo theo thay đổi cấu trúc tính chất hệ, q trình truyền sóng bề mặt chịu biến đổi đáng kể Việc hiểu thấu đáo q trình truyền sóng, tính chất, chế phát sinh ảnh hưởng điều kiện đặc biệt thiết lập tính quy luật thay đổi dị thường đặc trưng sóng bề mặt miền chuyển pha hồn tồn cần thiết Luận án trình bày kết nghiên cứu tính chất thay đổi đặc trưng sóng bề mặt vật liệu áp điện Phương pháp nghiên cứu dùng luận án sử dụng lý thuyết đàn hồi, lý thuyết trường điện từ, lý thuyết chuyển pha, lý thuyết đối xứng tinh thể, phương trình đạo hàm riêng để giải vấn đề đặt Luận án bao gồm phần mở đầu, chương, phần kết luận: Chương trình bày sở lý thuyết vấn đề có liên quan tới việc nghiên cứu sóng bề mặt đối tượng sóng bề mặt tồn lan truyền trình chuyển pha Chương giới thiệu hướng phát triển thuộc lĩnh vực nghiên cứu vấn đề chủ yếu đặt luận án Các chương 2,3,4,5 nội dung luận án Chương trình bày tồn chuyển đổi đặc tính sóng bề mặt tinh thể xenhét, áp điện Trong chương này, chúng tơi xét tốn lan truyền sóng bề mặt nhóm tinh thể áp điện cấu trúc đối xứng hexagonal khả tồn chuyển đổi số nhóm sóng bề mặt tinh thể áp điện khảo sát Các kết cho thấy biến đổi tương hỗ loại sóng bề mặt tinh thể áp điện Các kết chương cơng bố cơng trình [2,9] Chương nghiên cứu tính chất đặc trưng sóng bề mặt cấu trúc màng mỏng tinh thể áp điện Chương đưa vào luận án tính chất ứng dụng cao kỹ thuật đời sống vật liệu có cấu trúc màng mỏng Trong chương ảnh hưởng hiệu ứng áp điện, bề dày màng mỏng lên tồn đặc trưng sóng bề mặt xem xét Các kết chương liên quan tới cơng trình [3,4,6] Chương nghiên cứu số ảnh hưởng yếu tố vật lý tới tồn tính chất đặc trưng sóng bề mặt như: ảnh hưởng điện trường ngoài, ảnh hưởng hiệu ứng áp điện, Trong số điều kiện định tính chất đặc trưng sóng bề mặt thay đổi xảy biến đổi loại sóng bề mặt hình thành loại sóng bề mặt Các kết chương công bố cơng trình [1,5,7] Chương nghiên cứu tính chất sóng bề mặt tinh thể áp điện vùng chuyển pha Chương xem xét chủ yếu ảnh hưởng chuyển pha cấu trúc lên tính chất đặc trưng sóng bề mặt (vận tốc, độ tắt dần, tính phân cực, ) tinh thể áp điện có cấu trúc đối xứng khác Các kết chương cơng bố cơng trình [8,10] Các kết nghiên cứu luận án công bố báo đăng tạp chí chuyên ngành báo cáo Hội nghị Vật lý Chương CÁC CƠ SỞ LÝ THUYẾT VỀ SÓNG BỀ MẶT VÀ ĐỐI TƯỢNG TRÊN ĐÓ SÓNG BỀ MẶT TỒN TẠI VÀ LAN TRUYỀN 1.1 CÁC CƠ SỞ LÝ THUYẾT SÓNG BỀ MẶT 1.1.1 SƠ LƯỢC LỊCH SỬ PHÁT TRIỂN Bằng lý thuyết, Rayleigh dọc theo biên phẳng tự nửa không gian rắn đẳng hướng có lan truyền sóng đàn hồi bề mặt, biên độ sóng giảm nhanh theo chiều sâu Từ sóng gọi sóng Rayleigh nghiên cứu phát triển nhanh rộng lớn Đầu tiên người ta sử dụng nghiên cứu rộng rãi sóng Rayleigh tần số thấp (1 – 100 Hz), ứng dụng địa chấn học thăm dò địa chấn (sóng Rayleigh nhóm sóng quan sát động đất lan truyền theo bề mặt tắt dần theo khoảng cách chậm sóng khối) Trong năm đầu kỷ XX, người ta phát thêm nhiều loại sóng đàn hồi bề mặt tồn vật liệu điều kiện vật chất khác sóng Stonely, sóng Lamb, sóng Love, v.v.v Trong năm đó, sóng siêu âm Rayleigh với tần số cỡ 106 Hz có ứng dụng lý thú như: sóng trở thành phương tiện kiểm tra tính ổn định bề mặt lớp bề mặt mẫu vật liệu (như xác định khuyết tật, độ thấm tôi, ứng suất dư, chất lượng gia cơng bề mặt ) Trong vận tốc, tắt dần cấu trúc sóng Rayleigh khơng ngừng liên hệ với đặc tính nhiệt đặc tính khác lớp bề mặt mẫu sóng lan truyền Vì vận tốc tắt dần sóng Rayleigh có khả cho ta thông tin trạng thái lớp bề mặt mẫu Vào cuối năm kỷ XX có nhiều cơng trình nghiên cứu sóng bề mặt, lý thuyết loại sóng bề mặt khác hoàn thiện Auld [14], Oliner [145], Victorov [108], Guliaev [99] Các cơng trình cho thấy 85 Nguyễn Thị Minh Phương (2006), “Về chuyển đổi loại sóng bề mặt tinh thể áp điện”, Tạp chí Khoa học & Cơng nghệ, Các trường Đại học Kỹ thuật, Bộ Giáo dục Đào tạo, số 56, tr.31-33 10 Nguyễn Thị Minh Phương (2006), “Sóng đàn hồi bề mặt tinh thể áp điện lân cận vùng chuyển pha xenhét”, Tạp chí Khoa học & Công nghệ trường Đại học Kỹ thuật, Bộ Giáo dục Đào tạo, số 57, tr.105- 111 TIẾNG ANH 11 Alshits V.I., Lyubimov V.N., Gierulski W., Radowicz A.(2000), “Electromagnetic Wave Surfaces in Absorptive Uniaxial Crystals I,II”, Crystallography Reports, 45(6), pp 985-990, pp.991-994 12 Alshits V.I.(2003), The role of anisotropy in acoustics crystals, WCU, Paris, 999- 1006 13 Adachi M., Karaki T., Miyamoto w.(1999), “Surface acoustic wave properties of La Ga SiO 14 single crystals”, Jpn J appl Phys., 38(5b), pp 3283- 3287 14 Auld B.A.(1973), Acoustic fields and waves in solids, John Wiley & Sons, NewYork- London- Sydney- Toronto 15 Barnett D.M., Lothe J., Nishioka K., Asaro R.J.(1973), “Elastic surface wave in anisotropic crystals: a simplified method for calculating Rayleigh velocities using dislocation”, J Phys F , 3(6), pp 1083 - 1096 16 Barnett D.M., Lothe J.(1974), “Consideration of the existence of surface wave(Rayleigh wave) solution in anisotropic elastic crystals”, J Phys F., 4(12), pp 671- 686 17 Biryukov S.V.,(2004), “The impedance method in the theory of surface acoustic waves in periodic structures ”, J.App Phys , 96(6), pp 3117- 3126 18 Bleustein J.L.(1968), “A new surface wave in piezoelectric materials”, Appl Phys Lett, 13(12), pp.412- 413 86 19 Bratkovsky A.M.,Levanyuk A.P.(2001), “Phase transition, stability, and dielectric response of the domain strucre in ferroelectric- ferroelastic thin films”, Phys.Rev Lett, 86(16), pp.3642- 3645 20 Campbell J.J., Jones W.R.(1970), “A method for estimating optimal crystal cuts and propagation direction for excitation of piezoelectric surface wave”, IEEE.Trans Sonics& Ultras, Su17(4), pp.71-76 21 Chai J.F., Wu T.T.(1996), Measurement of surface wave velocities in a prestressed anisotropic crystal and its application to nondestructive testing, WCNDT, Newdelhi, 4, pp.2149- 2152 22 Chimenti D.E.(1992), “Rayleigh wave dispersion on vertically laminated composite surface”, J Acous.soc.Amer., 92(1), pp.492- 498 23 Coufal H., Grygier R., Hess P., Neubrand A.(1992), “Broadband detection of laser-excited surface acoustic wave by a novel tranducer employing ferroelectric polymers”, J Acous.soc.Amer., 92(5), pp 2980- 2983 24 Curtis R.G., Redwood M.(1983), “Transverse surface waves on piezoelectric material carrying a metal layer of finite thickness”, J.Appl Phys., 54(5), pp.2002- 2007 25 Darinskii A.N., Weihnacht M.(2001), “Sufersonic Love wave in strong piezoelectric of symmetry mm2”, J.Appl Phys., 90(1), pp.383- 388 26 Declercq N.F., Teklu A., Breazeale M.A.(2004), “Study of the scattering of leaky Rayleigh waves at the extremity of a fluid- loaded think plate”, J Appl Phys., 96(10), pp.5836- 5840 27 Dikshtein I.E., Nikitov S.A.(2000), “Nonlinear self- localized surface wave in a ferroelastic medium”, Phys Rev B, 62(22), pp.14956- 14964 28 Flannery C.M.,Kiedrowski H.V.(2002), “Effects of surface wave roughnesson SAW propagation in semiconductor materials”, Ultras., 40,pp 83- 87 29 Garignet E., Balandras S.,Bigler E (1995), “Theoretical analysis of surface transverse waves propagation on a piezoelectric substrate under shallow groove or thin metal strip gratings”, J Appl Phys., 77(12), pp.6228- 6231 87 30 Gavenda J.D., Foegelle D.(2004), “Magnetoacoustic effects in copper using surface acoustic wave”, Phys Rew B, 70(24), pp 245101-245105 31 Gueret P.(1981), “Theory acoustical surface wave amplification using very thin semiconductor layers”, J Appl Phys., 52(8), pp.3040-3042 32 Gulyaev Y.V.(1998), “Review of shear surface acoustic waves in solids”, IEEE.Trans Ultrason.,Ferroelect.,Freq.Contr., V45(4), pp.935-938 33 Hansen K.H.(2001), “Surface wave on NiAl (110)”, Phys Rew.B, 63, pp 115421 34 Ingebrigtsen K.A.,(1969), “Surface waves in piezoelectrics”, J Appl Phys., 40(8), pp 2908-2913 35 Inoue K., Sato K.(1998), “Propagation characteristics of surface acoustical waves on langasite”, Jpn.J Appl Phys., 37(8), pp 2908-2913 36 Inone M., et al(2000), “Viscosity measurement of ferroeletric liquid crystal using shear horizontal wave propagation in a trilayer structure”, Jpn.J Appl Phys., 39(9b), pp 5632-5636 37 Joshi S.G., White R.M.(1988), “Excitation and detection of surface elastic waves in piezoelectric crystals”, J Acous Soc.Amer., 84(1), pp.978-984 38 Joshi S.G.,Jin Y.(1991), “Excitation of Lamb wave in piezoelectric plates”, J Appl Phys., 69(12), pp.8018-8024 39 Jun S., Nikitov S.A., Marcelli R., Gasperis P.D.(1997), “Parametric and modulation instabilities of magnetostatic surface spin waves in ferromagnetic films”, J Appl Phys., 81(3), pp.1341-1347 40 Kadota M., Nakanishi J., Kitamura J.,Kumatoriya M.(1999), “Properties of leaky, leaky pseudo, and Rayleigh surface acoustic wave on various rotated Y- cut langasite crystal substrates”, Jpn J Appl Phys., 38, pp.3288- 3292 41 Kallard T (1971), Acoustic surface wave and acousto-optic devices, Optosonic press 42 Kanbana H et al (2000), “Excitation of shear horizontal surface acoustic wave modes in piezoelectric plates ”, Jpn J Appl Phys., 39(5b), pp.3049- 3053 88 43 Kielczynski P.J.,Pajewski W.,Szalewski M.(1989), “Shear-horizontal surface wave on piezoelectric ceramis with depolazized surface layer”, IEEE.Trans Ultras Ferro Freq Control, Su36(2), pp 287-293 44 Kielczynski P.J.,Pajewski W.,Szalewski M.(1990), “Shear-horizontal surface wave on an isotropic elastic cylinder’, J Acous.Soc Amer., 87(2), pp.503- 506 45 Kielczynski P.J.(1997), “Attenuation of Love waves in low-loss media”, J Appl Phys., 82(12), pp.5933- 5937 46 Kolomenskii AI.A., schuessler H.A.(2001), “Characterization of isotropic solids with nonlinear surface acoustic wave pulses”, Phys Rew B, 63(8), pp.8541385421 47 Kondoh J., et al (1996), “Simultaneous measurements of liquid properties using multichannel shear horizontal surface acoustic wave micro-sensor ”, Jpn J Appl Phys., 35(5b), pp.3093- 3096 48 Kosachev V.V.,Gandurin Yu.N.,(2003), “Dispersion and attenuation of Rayleigh wave a a on-dimensional random roughness of the free surface of a hexagonal crystal”, Phys Sol Stat., 45(9), pp.1808- 1813 49 Kuok M H., Zang V.L., Chua S.J.(2000), “Generalized surface, pseudosurface, and high- frequency pseudosurface acoustic waves on (001), (110), and (111) InSb”, Phys Rew., 62(24), pp.16665-166670 50 Kuok M H., Zang V.L., Chua S.J.(2001), “Velocity angular dispersion of surface and bulk modas in LiTaO at hypersonic frequencies”, Appl Phys lett., 78(4), pp.607- 609 51 Laude V.,Masson M., Baldandras S.,Solal M.(2004), “Imginary branches of surface acoustic waves slowness curves”, J Appl Phys., 96(11), pp.68956901 52 Lefebvre J.E., Zhang V., Gazalet J.,Gryba T.(1998), “Conceptual advantages and limitations of the laguerre polynomial approach to analyze surface elastic wave in semi-infinite substrates and multilayered structures”, J Appl.Phys., 83(1), pp 28- 34 89 53 Lewis M.F., Bell G., Patterson E.(1997), “Temperature dependence of surface elastic wave delay lines”, J Appl Phys., 82(1), pp.476- 477 54 Lima M.M.,et al(2004),“Embedded interdigital transducers for high- frequency surface acoustic waves on GaAs”, J Appl Phys., 96(6), pp.3494- 3498 55 Lin W., Keer L.M.(1992), “A study of Lamb waves in anisotropic plates”, J Acous.Soc.Amer., 92(2), pp 888- 894 56 Lines M.E.,Glass A.M.(1977), Principles and application of ferroelectrics and related materials, Oxford: Clarendon press 57 Lothe J.,Barnett D.M.(1976), “On the existence of surface wave solution for anisotropic elastic half- spaces with free surface”, J Appl Phys.,47(2), pp.428423 58 Lothe J.,Barnett D.M.(1976),“Integral formalism for surface wave in piezoelectric crystals existence consideration”, J Appl Phys.,47(5), pp.17991807 59 Makarov S., chilla E., Frohlich H.J.(1995), “Determination of elastic constants of thin films from phase velocity dispersion of different surface acoustic wave modes”, J Appl Phys., 78(8), pp.5028- 5034 60 Mesquida A.A, Otero J A., Ramos R.R.(1998), “Wave propagation in layered piezoelectric structures”, J Appl Phys., 83(9), pp 4652- 4659 61 Ozhogin V.I., Preobrazhensky V.L.(1991), “Rayleigh wave in the region of magnetic phase transition”, J Magn., Magn.Mater., 100, pp.544- 547 62 Pedinoff M.E., Waldner M.(1997), “Refraction and reflection of surface acoustical wave at boundaries of layered anisotropic substrates: Gold on lithium niobate”, J Appl Phys., 82(8), pp.3025-3034 63 Pouliquen J., Vaesken G.(1993), “Effect of a metallic thin film on the propagation of Rayleigh waves”, J Appl Phys., 74(4), pp 1524-1526 64 Reiss D.(1996), Electromagnetic surface wave, The net advance of physics: Special reports 90 65 Ro R el al (2001), “Effects of conducting liquid loading on propagation characteristics of surface acoustic wave”, Proc Natl Counc ROC(A),25(2), pp.131- 136 66 Sander E., HarnikV.(1977), “Electromechanical coupling of surface acoustic wave in the vicinity of the phase transition in triglycinin sulfate”, J Appl Phys., 48(11), pp.4581- 4582 67 Santo T., Abe H.(1995), “Longitudinal leaky surface acoustic waves for high frequency SAW device application ”, IEEE Ultranson.Symp.Proc., pp.305315 68 Shchegrov A.V.(1995), “Dispersion of low frequenscy surface acoustic wave of different polarizatins is multilayered system ”, Sol.Stat.Com., 93(8), pp.701705 69 Shiosaki T., et al (1986), “High coupling and high velocity surface acoustic waves using ZnO and AIN film on glass substrate”, IEEE Trans.Ultrason.Ferro.Freq.Control.,33, pp.324- 332 70 Shokri B., Jazi B.(2003), “Quantum surface wave on a thin plasma layer”, Phys Lett A, 318, pp 415- 424 71 Sinha B.K, Locke S.,(1989), “Thin-film induced effects on the stability of surface acoustic wave devices”, IEEE Ultras symp., 36(2), pp 231- 241 72 Soubret A et al(2001), “Application of reduced Rayleigh equation to electromagnetic wave stattering by two-dimesional randomly rough surface”, J Appl Phys., 63(24), pp 245411 73 Takagaki Y et al(2004), “ Highly anisotropic dispersion of surface acoustic waves in M-plane GaN layers grown on γ–LiAlO (100)”, Phys.Rew.B,69, pp.115317 74 Taylor D.B.,Crampin S.(1978), “Surface wave in anisotropic media: propagation in a homogenous piezoelectric half-spac”, Proc.Roy.Soc.London A,364, pp.161- 179 91 75 Tiersten H.F.,Sinha B.K.(1978),” A perturbation analysis of the attenuation and dispesion of surface wave”, J.Appl.Phys.,49(9), pp 4963- 4968 76 Tseng C.C.,White R.M.(1977), “Propagation of piezoelectric and elastic surface wave on the basal plane of hexagonal piezoelectric crystals”, J Appl Phys., 48(11), pp 4274- 4284 77 Velasco V.R.,Garsia F.(1997), “Surface effects in elastic surface waves”, Phys.Scri., 56(1), pp 111-120 78 Xu B el al (2004), “Finite element model of laser-generated surface acoustic waves in coating-substrate system”, J Appl Phys., 95(4), pp.2109- 2115 79 Xu J.,Thakun J.S., Zhong F., Ying H., Auner G.W.,(2004), “Propagation of a shear-horizontal surface wave mode in a periodically grooved AIN/Al O microstructure”, J Appl Phys., 96(1), pp.212-217 80 Xu.Y.(1991), Ferroelectric Materials and their applications, North-Holand 81 Yamanouchi K., Satoh H., Meguro T.(1995), “Propagation and amplification of Rayleigh wave and piezoelectric leaky surface wave in LiNbO ”, IEEE Trans.Ultrason.Ferro.Freq.Control.,42, pp 392- 398 82 Yamanouchi K., Kotani K.(2000), “Theoretical analysis of surface acoustic wave propagation characteristics under strained media and amplifications of high temperature stable high coupling surface acoustic wave substrates”, Jpn J Appl Phys., 39(5b), pp 3032- 3035 83 Yamanouchi K., Odagawa H.(2001), “Research of super-high electromechanical coupling surface acoustic wave substrates”, Jpn.J.Appl Phys.,40, pp.37263728 84 Yang J., Zhou H.,(2005), “Interface waves between two piezoelectrichalf-spaces with a semiconductor film”, J.Zhejiang.Univ.SCI., 6A(2), pp 90- 96 85 Zhang Y.(1992), “New method to characterize the surface-generated bulk acoustic wave in piezoelectric substrates”, J Acous.Soc.Amer.,95(5), pp.24992508 92 TING NGA 86 õồờợõ ỵ.ẻ.,òờợõồớờợ .è.(2004), "ồớồửố ùồồừợọớỹợóợ ốỗởú-ữồớố ùợõồừớợủũớỷừ ýởồờũợỡóớồủũớỷừ õợởớ ýởồờũợớớỷỡố ủóúủũờỡố", ễốỗốờ ùởỗỡỷ,30(6),ủ 563-570 87 óớợõốữ .è.,èốởởủ .ậ.(1985), ẽợõồừớợủũớỷồ ùợởốũợớỷ íởồờũợỡóớồủũớỷồ õợởớỷ ùợõồừớợủũừ ố óớốửừ ỗọồở ủồọ, è.:úờ 88 ởồờủớọợõ .ễ.,éúừọỗồ ..(2000),"ấốớồũốữồủờ ũồợố ùợõồ-ừớợủũớỷừ õợởớ õ ùợởúợóớốớợỡ ùởỗỡồớớợỡ ùợũợờồ", ặềễ,70(4), ủ.853 -859 89 ởồờủớọợõ ấ.ẹ.,úờợõ ẹ.ẩ,ẹợợờốớ .ẩ.(1990), "ởốớốồ õớồ-ứớồóợ ợọớợợọớợóợ ýởồờũốữồủờợóợ ùợở ủõợộủũõ õợởớ éýởồ õ ùỹồỗợýởồờũốữồủờốừ ờốủũởởừ", ễềề, 32(1),ủ.186-192 90 ởồờủồồõ ..,ỡởợõ ..(1995), "ầõốủốỡợủũỹ ủờợợủũố ùợõồ-ừớợủũớỷừ ỡóớốũợúùúóốừ õợởớ õ óồỡũốũồ ợũ õồởốữốớỷ õớồứớồóợ ỡồừớốữồủờợóợ ớùổồớố", ễềề, 37(3),ủ 897-901 91 ởỹứốử .ẩ.,ậợũồ .,ậỵỏốỡợõ ..(1988), "ớợỡởỹớ ọốủùồủố ùợõồừớợủũớỷừ úùúóốừ õợởớ õ ớốỗợũợùớợộ ùởủũốớồ ", ấốủ , 33(2),ủ.279-285 92 ởỹứốử .ẩ.,ậỵỏốỡợõ ..(1994),''ẽ,ợỏúủởợõởồớớỷồ ỡóớốũợ-ýởồờũốữồủờốỡ õỗốỡợọồộủũõốồỡ õ ùỹồỗợỡóớồủũớỷừ ờốủũởởừ'', ặíềễ, 106(2),ủ.663-670 93 ởỹứốử.ẩ.,ậỵỏốỡợõ ..(2003), ''ớợỡởỹớ ọốủùồủố ùợùồ-ồữớỷừ ờúủũốữồủờốừ õợởớ õ ớốỗợũợùớỷừ ùởủũốớừ'', ễềề, 45(5),ủ.832-835 94 ớốủốỡờốớ .ẩ.,ấợũồởớủờốộ ẩ.è.(1994), ''ẻùồọồởồớốồ úùúóốừ ủõợộủũõ ũợớờốừ ùởồớợờ ố ốừ ốỗỡồớồớốộ ủ ùợỡợựỹỵ ẽ'', ễềề, 36(2) , ủ.428-434 95 ộỏờợõ .ẩ.,ửờợ ..,(2001),''ầũúừớốồ ỡồọởồớớỷừ ùợõồ-ừớợủũớỷừ ỡóớốũợùởỗỡồớớỷừ õợởớ õ ùởỗỡồ ùợởúùợõợọớốờ'', éí, 46(1), ủ.109-110 96 ởờốồõ è.ấ.,ốởốớủờốộ ợõợủốỏốủờ:úờ, ủ.90-157 ẩ..(1982), ợởớ õ ùỹồỗợờốủũởởừ, 93 97 ồủùũỷừ ỵ.ẩ ố ọúóốồ (1999), ''ợỡồớớ ủũúờũú ỡóớốũớỷừ ố ủồóớồũợýởồờũốữồủờốừ ờốủũởợõ õ ợờồủũớợủũố ũợữồờ ụỗợõợóợ ùồồừợọ ùồõợóợ, ỏởốỗờợóợ ờợõũợợỡú'', ễềề,41(12),ủ 3641-3649 98 ồủùũỷừ ỵ.ẩ.,úóồõ .ẹ.,ốờứũồộớ ẩ..(2003), ''ẽợõồừớợủũớỷồ ùợởốũợớỷ õ ờợỡùợỗốũớỷừ ủồọừ ủ õồỡồớớợộ ọốủùồủốồộ ọố-ýởồũốữồủờợộ ố ỡóớốũớợộ ùợớốửồỡợủũồộ'',ễềề,45(11),ủ.2056-2061 99 ốỵờợõ ẹ..,úởồõ ỵ..,ẽởồủủờốộ .ẽ.(1991), ẽợõồừớợủũớỷồ ờúủũốữồủờốồ õợởớỷ õ ớồợọớợợọớỷừ ủồọừ , è.:úờ 100 ợớọồớờợ ề.ẩ.,úởờ ..(1992), ''ẽỡồũốữồủờợồ ụợỡố-ợõớốồ ùợùồồữớỷừ ýởởốùũốớợỹũố ùợõồừớợủũớỷừ ờúủũốữồủờốừ õợởớ ủõồừõỷủợờợữủũợũớỷỡ ýởồờũốữồủờốỡ ùợởồỡ'', ểờ.ụốỗ.ổ., 37(10), ủ.1573-1576 101 ợựớ .ẹ ố ọúóốồ (1982), ''ẩủủởồọợõớốồ ýởởốùũốớợỹũố ùợõồừớợủũớợộ ờúủũốữồủờốừ õợởớỷ õỏởốỗố ụỗợõợóợ ùồồừợọ õ ủồóớồũợõợộ ủợởố ýởồờũợọốớỡốữồủờốỡ ỡồũợọợỡ'', ễềề, 24(9), ủ 2574-2577 102 óốớủờốộ ậ.ẹ.,ốởốớủờốộ ẩ..,(1979), ''ẻỏợỏựồớớỷồ ủọõốóợõỷồ ùợõồừớợủũớỷồ õợởớỷ õ ùỹồỗợờốủũởởừ'',ễềề,21(12),ủ.3524-3528 103 úởóờợõ ..,èồốúử ..,ẻởỹừợõồờốộ . (2004), ''ẽợõồừớợủũ -ớỷồ ýởồờũợỡóớồủũớỷồ õợởớỷ óớốựồ ỗọồở ọõúừ ọốýởồờũốữồủờốừ ủõồừồứồũợờ'', ặíềễ,74(10), ủ 236-240 104.úữồởỹớốờợõ ..,ỉõợõ ..(1996), ''ợõỷồ ũốùỷ ùợõồừớợủũớỷừ õợởớ õ ớũốụồợỡóớồũốờừ ủ ỡóớốũợýởồờũốữồủờốỡ ýụụồờ-ũợỡ'', ặíềễ,109(2), ủ 706-717 105 ờủ ..(1973), õồọồớốồ õ ỡốờợủờợùốữồủờú ũồợốỵ ủồóớồũợ -ýởồờũốờợõ ,è.:úờ 106 ừốũợõ é.è.,ếúủốớợõ é.é.(2004), ''ựũồởỹớợ ốớõốớũớ ũồợố ỗũúừớố ỡóớốũợờúủũốữồủờốừ õợởớ õ ờúỏốữồủờốừ ụồợỡóớồũốờừ'' , ờúủ.ặ, 50(2), ủ.170-176 94 107 ồờủởồ ..(1991), ''ễỗợõỷồ ủờợợủũố õợởớ ũốù ậýỡỏ ố ẹũợúớởố ùố ủủồớốố ờúủũốữồủờợộ õợởớỷ ùợởợộ úùúóợộ ủụồợộ'', ờúủ.ặ, 37(1), ủ 4245 108 ốờũợợõ ẩ..(1981), ầõúờợõỷồ ùợõồừớợủớỷồ õợởớỷ õ ũõồọỷừ ũồởừ, è.:úờ 109 ồởụóũ ẩ.è.,ẹỷờốớ .ẹ.(1983), ''ẽợõồừớợủũớỷồ ờúủũốữồủờốồ õợởớỷ õ ủốởỹớợ ớốỗợũợùớợộ ùởồớờồ ốỗợũợùớợộ ùợọởợổốồ", ờúủ.ổ,29(1), ủ.19-22 110 ồúủ ẹ..,ốứũồộớ ẩ..,ềủồớờợ .., ếốũợớợõ .ẻ.(1977), ''ợởớỷ éýởồ õ ủồóớồũợýởồờũốữồủờốừ ờốủũởởừ ủ ùỳồỗợ-ýụụồờũợỡ'', ễềề, 19(1), ủ.218222 111 ốớỗỏúó .ậ.(2001),''ễỗợõỷồ ùồồừợọỷ ủồóớồũợýởồờũốờừ'', ểễ, 171(10), ủ.1091-1097 112 ữồõ ..,ẹồỡồớửợõ .ẩ.(2004),''ẽợõồừớợủũớỷồ ýởồờũợ-ỡóớốũớỷồ õợởớỷ óớốửồ ủõồừùợõợọớốờọốýởồờũốờ'', ẻùũốờ ố ủùồờũợủờợùố,97(4), ủ 658664 113 ốỡởỹủờốộ ..,ẩứờỏúởợõ ẩ., ấợứồõ ẹ. (1997), ''ồởốớồộ -ớỷồ ùợõồừớợủũớỷồ ờúủũốữồủờốồ õợởớỷ, úùõởồỡỷồ õớồứớốỡ ýởồờũốữồủờốỡ ùợởồỡ'', ờúủ ặ.,43(4),ủ 551-554 114 úởồõ ỵ.., ốứũồộớ ỡóớốũợờúủũốữồủờốồ õợởớỷ ẩ..,ỉõợõ õ ợỏởủũố ..(1997), ỡóớốũớỷừ ''ẽợõồừớợủũớỷồ ờốủũởởừ, ợốồớũửốợớớỷừ ụỗợõỷừ ùồồừợọợõ'', ặíềễ, 87(8), ủ 674-676 115 úởồõ ỵ..,ởỹỡồứờốớ ẻ.ỵ.,ỉồõừợõ .ẹ.(2000), ''íởồờũợỗõúờợ -õỷồ ùợõồừớợủũớỷồ õợởớỷ ọõốổúựốừủ óớốửừ'', éí, 45(3), ủ.351-356 116 úởồõ ỵ..,ởỹỡồứờốớ ẻ.ỵ.,ỉồõừợõ .ẹ.(2005), '' ẹọõốóợõỷồ ùợõồừớợủũớỷồ õợởớỷ õ ủõồừùợõợọớốờừ'', éí, 50(9), ủ.1139-1143 117 úồõốữ ẹ.ỵ.,ềợởốùợõ ế..(2003), ''ẻủợỏồớớợủũố ọốụờửốố ùợõồừớợủũớỷừ õợởớ áỹồ ờởốớ'' , ẽốờởọớ ỡồừớốờ ố ũồừớốữồủờ, 44(5), ủ.162-167 95 118 ửờợ ..(2001),''ởốớốồ ũồỡùồũúồ ủùợủũớồớốồ ỡồọởồớớợộ ùợõồừớợủũớợộ ỡóớốũợùởỗỡồớớợộ õợởớỷ õ ùợởú-ùợõợọớốờồ'', éí,46(1), ủ.111-113 119 õợồứồủũợõ è.ỵ.,ẽồũợõ ẹ..,ìồồọớốờ .ẩ., ìốốỡớợõ .ế (2002), ''ợõỷồ ợùũốỡởỹớỷồ ợốồớũửốố ọở ùợõồừớợủũớỷừ ờúủũốữồủờốừ õợởớ õ ùỳồỗợờốủũởởừ ởớóủốũ, ởớóớốũ ố ởớóũũ'', ặềễ, 72(10), ủ.103108 120 õợồứồủũợõ è.ỵ.,ẽồũợõ ẹ..,ìồồọớốờ .ẩ., ìốốỡớợõ .ế (2003), ''ẻùũốỡốỗửố ùỡồũợõ ùủõồõọợùợõồừớợủũớỷừ ờúủ-ũốữồủờốừ õợởớ ùúũồỡ ốủùợởỹỗợõớố ỡớợóợủởợộớỷừ ủũúờũú'', ặềễ, 73(10), ủ.101-105 121 õợồứồủũợõ è.ỵ.,ìồồọớốờ .ẩ., ìốốỡớợõ .ẽ (2004), ''íởồờũợờúủũốữồủờốồ õợởớỷ ậýỡỏ õ ùỹồỗợýởồờũốữồủờốừ ùởủũốớừ'', ờúủ.ặ, 50(5), đ.603-608 122 Äèêøịåéí È.Å.(1990),''Ïỵâåðõíỵđịíûå âỵëíû è äỵìåííàÿ địðóê -ịóðà â ùởồớờồ ủồóớồũợýởủũốờ,ỗờồùởồớớợộ ọồụợỡố-ồọồỡợộ ùợọởợổờồ, õ ợờồủũớợủũố ụỗợõợóợ ùồồừợọ'',ễềề, 32(6),ủ.1748-1752 123 úọờợ ..,ỵứờớợõ ..,òởỡợõ ỵ.ẩ.(2005), ''ởốớốồ ủõợộủũõ ùợõồừớợủũố ừờũồốủũốờố ủọõốóợõỷừ õợởớ'', ặềễ,75(4), ủ.134-135 124 ỡồởỹớợõ .ẩ.,ẹồỡốớợóợõ ùợõồừớợủũớỷừ .ẩ.(1984), ''ậỗồớợồ õợỗỏúổọồớốồ ủõỗớớỷừ ýởồờũợỡóớốũớỷừ ố ờúủũốữồủờốừ õợởớ ố ủũũốữồủờốừ ùợõồừớợủũớỷừ ủũúờũú õ ũõồọỷừ ũồởừ'', ặíềễ, 86(3), ủ.1026-1036 125 ầộửồõ ..,ấúỗớồửợõ ẩ..(1997),''ởốớốồ õớồứớồóợ ợọớợợọ -ớợóợ ýởồờũốữồủờợóợ ùợở ủõợộủũõ ẽ éýởồ õ ớốợỏũồ ởốũố'', ờúủ.ặ, 43(1), ủ.116-118 126 ầủởõủờốộ ỵ.è.(2004), ''ẽỡồũốữồủờợồ ủủồớốồ õỷủợờợữủ -ũợũớỷừ úùúóốừ õợởớ ủụồốữồủờợộ ùợởợủũố ỡởỷừ õợởớợõỷừ ỗỡồợõ, ờợởồỏởỵựồộủ õ ùợởồ ýởồồõủờợộ õợởớỷ'', ờúủ.ặ, 50(1), ủ.55-66 96 127 ấóớ ..(1997),''éủùợủũớồớốồ ùợõồừớợủũớợộ ờúủũốữồủờợộ õợởớỷ õ ủởợốủũợộ ủốủũồỡồ, ủợọồổựồộ ọõúỡồớỷộ ùợõợọựốộ ủởợộ'', ễềẽ,31(4), ủ 478-482 128 ấộỏốữồõ ẩ..,ỉõợõ ..(1990), ''ẽợùồồữớỷồ ùợõồừớợủũớỷồ õợởớỷ óớốửồ ỗọồở ụồợỡóớốũớợộ ố ọốýởồờũốữồủờợộ ủồọ'', ờúủ.ặ., 36(4),ủ.676680 129 ấồủủồớốừ ..,ớốýởớ .., ỉúõởợõ ậ. (1989), ''ởốớốồ ờợớồữớỷừ ỗỡồợõ ờốủũở ừờũồ ớợỡởốộ ủờợợủũố ùợùồồữớợộ ờúủũốữồủờợộ õợởớỷ õ ợỏởủũố ủợỏủũõồớớợóợ ủồóớồũợ -ýởồờũốữồủờợóợ ụỗợõợóợ ùồồừợọ'' , ễềề,31(1), ủ.167-173 130 ấợỗởợõ .ẩ.(1995),''ấõỗốùợọợởỹớỷồ ùủồõọợùợõồừớợủũớỷồ ờúủ -ũốữồủờốồ õợởớỷ õ ũốóợớởỹớỷừ ờốủũởởừ'',ễềề,27(8),ủ.2383-2387 131 ấợủữáõ ..,ớọúốớ ỵ..(2003), ''ốủùồủố ố ỗũúừớốồ õợởớ éýởồ ỵäíỵìåðíỵé địàịèđịè÷åđêè øåðỵõỵâàịỵé, đâỵáỵäíỵé ïỵâåðõíỵđịè ãåêđàãỵíàëüíỵãỵ êðèđịàëëà'', ƠỊỊ,45(9), đ 1722-1726 132 ấợủữáõ ..,ớọúốớ ỵ..,ủúờợõ ấ..(2004),''ốủùồủố ố ỗũúừớốồ ủọõốóợỏỷừ ùợõồừớợủũớỷừ ờúủũốữồủờốừ õợởớ óợốỗợớũ -ởỹớợộ ùợởốỗửốố ủõợỏợọớợộ ủũũốủũốữồủờố ứồợừợõũợộ, ùợõồừớợủũố óồờủóợớởỹớợóợ ờốủũởở'', ễềề,46(10),ủ.1886-1892 133 ấợủồõốữ ỵ..,ẹỷờốớ .ẹ.(1984),'' ợởớ éýởồ ố ậýỡỏ õ ờốủũở -ởừ õỏởốỗố ụỗợõỷừ ùồồừợọợõ ủõỗớớỷừ ủợ ủỡóữồớốồỡ ờúủũố -ữồủờốừ ụợớợớợõ'', ễềề, 26(10), ủ.2927-2932 134 ấợủồõốữ ỵ..,ẹỷờốớ .ẹ.(1985),''ấốũồốộ ủúựồủũõợõớố ủõợộủũõ óởúỏợờợ ùợớốỡỵựốừ õợởớ éýởồ õ ờốủũởởừ'', ặíềễ ,89(12), ủ 2221-2229 135 ấợủồõốữ ỵ..,ẹỷờốớ .ẹ.(1986),''ẻỏ ợỏợỏựồớớỷừ ùợõồừớợủũớỷừ ủọõốóợõỷừ õợởớừ õ ùỹồỗợờốủũởởừ'' ,ễềề, 28(1),ủ 248-256 97 136 ấợủồõốữ ỵ..,ẹỷờốớ .ẹ.(1987),''ởốớốồ ùốùợõồừớợủũớỷừ ốủờổồớốộ ủõợộủũõ óởúỏợờợ ùợớốờỵựốừ õợởớ éýởồ ố úởồõ- ởỵủũồộớ '', ẽốủỹỡ ặềễ,13(23), ủ.1439-1442 137 ấợủồõốữ ỵ..,ẹỷờốớ .ẹ.(1990),''ẩủùợởỹỗợõớốồ ủọõốóợõỷừ ùợõồ -ừớợủũớỷừ õợởớ ậõ ố úởồõ-ởỵủũồộớ ọở ốỗỡồồớố ùỡồũợõ ủõồừũồờúữồóợ óồởố õ ũợớờốừ ùởồớờừ'', ờúủ.ặ., 36(1), ủ.53-57 138 ậớọú ậ..,ậốụứốử Å.Ì.(1982), Ýëåêịðỵäèíàìèêà đïëỵøíûõ đðåä, Ì.:Íàóêà 139 Ëàíäàó Ë.Ä.,Ëèờèư Å.Ì.(1987), Ịåỵðèÿ úùúóợủũố, è.:úờ 140 ậùốớ ..(1991), ''ẽợùồồữớốờ ủủồớố ồỗợớũợ ọở ùợõồ -ừớợủũớợộ éýởồồõủờợộ õợởớỷ'', ờúủ.ặ.,37(1), ủ 202-205 141 ậợỡũồõ .ẩ.(2004),''ẽợõồừớợủũớỷồ ýởồờũợỡóớốũớỷồ õợởớỷ óớốửồ ỗọồở ủõồừũồờúữ ổốọờợủũỹ ớợỡởỹớỷộ ỡồũởở'', ễềề ,46(10), ủ.140-142 142 ậúổờợõ ..(1993), ''ởốớốồ óớốữớỷừ úủởợõốộ ợọ ùợõồừ -ớợủũớợóợ ụỗợõợóợ ùồồừợọ'' ,ễềề, 35(5),ủ.1378-1383 143 ậúổờợõ ..(1995), ''ớốữớỷừ úủởợõố ọở ùốùợõồừớợủũớỷừ ụỗợõỷừ ùồồừợọợõ õ úùúóợốỗợũợùớỷừ ờốủũởởừ'' ,ễềề,37(7), ủ 2039-2044 144 ậỵỏốỡợõ .,ởỹứốử .ẩ.,ậợũồ .(1990),''ẻỏ ợỏỳáỡớỷừ ố ùợõồừ -ớợủũớỷừ ờõỗốợỏỳáỡớỷừ õợởớỷừ õ ùợởúỏồủờợớồữớợộ ùỹồỗợ-ýởồờũốữồủờợộ ủồọồ'', ễềề, 35(1), ủ.33-42 145 ẻởốớồ .(1981), ẽợõồừớợủũớỷồ ờúủũốữồủờốồ õợởớỷ , è.: èố 146 èợổồõ .(1991), ''ẽốỏởốổồớớỷồ ớởốũốữồủờốồ õỷổồớố ọở ủờợợủũố õợởớ éýởồ õ ốỗợũợùớỷừ ủồọừ ố ỏỗốủớợộ ùởợủờợủũố õ õỷủợờợủốỡỡồũốữớỷừ ờốủũởởừ'', ờúủ.ặ.,37(2), ủ.368 - 374 147 èồọõồọỹ .., ố ọúóốồ(2005), ''ồờợũợỷồ õợỗỡợổớợủũố ùợỏỷ-ứồớố ữúõủũõốũồởỹớợủũố ọũữộờợõ, ợủớợõớớỷừ ồỗợớừ ùợõồừớợủũớỷừ ờúủũốữồủờốừ õợởớừ'', éí, 50(6),ủ.712-720 98 148 éúừọỗồ ..,ỉợờố .(1997),''ẻ ùợõồừớợủũớỷừ õợởớừ õ ũợớờốừ ủởợừ ùợõợọựốừ ủồọ õ ợỏởủũố ữủũợũ ủờốớýụụồờũ'', ặềễ ,67(2),ủ.83-85 149 ẹúữờợõ ẹ..,ốớợõ ..(2002),''ớốỗợũợùố ũợớờốồ ỡồũởởố -ữồủờốừ ùởồớợờ ố ồá õởốớốồ ừờũồốủũốờố úủũợộủũõ ùợõồừớợủũớỷừ ờúủũốữồủờốừ õợởớừ'', éí,47(4),ủ.510-512 150 ẹúữờợõ .ẹ.,ẹúữờợõ ẹ..(2004),''ởốớốồ ờúủũốữồủờợộ ủõồừõỷ- ủợờợữủũợũớỷồ ừờũồốủũốờố ùợõồừớợủũớỷừ ờúủũốữồủờốừ õợởớ'', éí, 49(1),ủ.112-114 151 ềủồớờợ ẹ..(2001),''ậợờởỹớ óồợỡồũố ốỗợữủũợũớợộ ụợớợớ -ớợộ ùợõồừớợủũố ố ủũúờũú ủùồờũ ợỏợỏựồớớỷừ õợởớ ậýỡỏ õ ợóớốữồớớợỡ ủồóớồũợýởủũốờồ'', ặíềễ,119(2),ủ.374-387 152 ềủồớờợ ẹ..(2002),''ợõỷồ ờởủủ ủọõốóợõỷừ ùợõồừớợủũớỷừ ỡóớốũợỗõúờợõỷừ õợởớ õ ớũốụồợỡóớốũớỷừ ờốủũởởừ'', ặíềễ, 121(3), ủ.663-677 153 ềủồớờợ ẹ..(2003),''ợõỷộ ỡồừớốỗỡ ụợỡốợõớố ùợõồừ -ớợủũớỷừ ùợởốũợớợõ ùố ụồợýởủũốữồủờợỡ ụỗợõợỡ ùồồ-ừợọồ'', ẻùũốờ ố ẹùồờũợủờợùố, 94(6), ủ.999-1005 154 ềủồớờợ ẹ..,ềủồớờợ ề..(2003),''ẻủợỏồớớợủũố ụợỡốợõ -ớố ủọõốóợõợộ ùợõồừớợủũớợộ ýởồờũợúùúóợộ õợởớỷ õ ùỹồỗợ -ýởồờũốữồủờợỡ ờốủũởởồ'', ễềề,45(3), ủ 523-528 155 ềúợõ ..,èồớỹứồớốớ ..,ốờợởồõ ..(1993),''ờúủũốờ ỡóớố - ũợýởồờũốữồủờốừ ớũốụồợỡóớồũốờợõ ũồũóợớởỹớỷồ ờốủũở -ởỷ'' , ỈÝỊƠ,104(5), đ.4157-4170 156 Ơóðđ À.Í.(1997), "Êỵâàðèàíịíàÿ ơỵðìà äèđïåðđèỵííỵãỵ óðàâíå- íèÿ ọở ùợõồừớợủũớỷừ ờúủũốữồủờốừ õợởớỷ õ ùởợủờợủũừ ủốỡỡồũốố ờốủũởởợõ" , ấốủ.ặ.,42(2),ủ.233-238 99 157 ìồồọớốờ .ẩ.,õợồứồủũợõ è.ỵ.(2003),''ìốủởồớớỷộ ủữáũ ùỡồũợõ ùợõồừớợủũớỷừ ố ùủõồõọợùợõồừớợủũớỷừ ờúủũố-ữồủờốừ õợởớỷ õ ỡớợóợủởợộớỷừ ủũúờũúừ'', ặềễ, 73(10), ủ.106- 112 158 ìốứờợ ấ..(1992), ''ẩỗởúữồớốồ éýởồồõủờốừ õợởớ ùố õỷừợọồ ờồõợộ ọốủởợờửốố íà ïỵâåðõíỵđịü ïëàđịèíû'', ƠỊỊ, 34(7), đ 2236-2243 159 Ýéäåëüìàí Å.Ä.(1995), "ởốớốồ ũồỡợýởồờũốữồủờợóợ ýụụồờũ ùợõồừớợủũớỷồ õợởớ", ẽợõồừớợủũỹ.ụốỗốờ, ừốỡố, ỡồừớốờ, 3, ñ 29-33 ... thường hệ tạo cách phủ lớp vật liệu có bề dày xác định (có thể giống khác nhau) lên vật liệu khác Vật liệu thứ hai gọi tắt hệ đế, đế chọn làm vật liệu để phủ lớp vật liệu khác lên 3.1 SỰ TỒN TẠI... tính chất cấu trúc loại vật liệu tạo nên bề mặt tiếp xúc chúng Chúng ta xét toán, hai loại vật liệu tiếp xúc có cấu trúc lớp với bề dày lớp khác Để tiện cho việc trình bày, vật liệu có cấu trúc... kiện chế tạo vật liệu, linh kiện, sản phẩm có mặt tiếp xúc hoàn thiện đáp ứng nhu cầu khắt khe cơng nghệ có ý nghĩa thời cấp bách, có giá trị khoa học thực tiễn lớn Trong loại vật liệu điện tử