Bài thuyết trình Các yếu tố ảnh hưởng độ nhạy màng SnO2 pha tạp Sb phân tích phổ

GVHD: Thầy TS.Lâm Quang Vinh HV : Huỳnh Minh Trí Với vật liệu SnO2 mặt (110) mặt có lượng -Nồng độ tạppha chất cóSbsự tác động mạnh lêntrúc cường Khi nồng độ tạp tăng đến 5%cấu mol, màng có bề mặt thấp nhất, mà hình thành củađộ màng khơng đổi định hướng định hướng tinhlàm thểthay ưu tiên rõ ràng nhất, vớicủa ưu tiên phát triễn mặt có(110) lượng thấp nhất; nên vật cường độ tinh đỉnhthể phổcủa cao cấu liệu trúc màng ưu tiên phát triễn mặt (110) S-5-3 cótạp bề mặt gồ ghề hơn, hạt cócó kích thước Khi pha Sb vượt 5% mol, hạt kích -Tạp chất khơng giúp cho màng có định hướng nhỏ vànhỏ bắt hơn, đầu có khuynh hướng kếtkết đám, độmạnh xẻ rãnh thước ngưng có xu hướng đám làm tinh thể tốt mà làm thay đổi cấu trúc bề mặt lớn nhiều Doxốp đó,cũng khả hấpgồthụ Oxi lớn giảm đáng kể độ độ ghề màng màng, qua làm thay đổi tính chất nhạy khí màng màng pha tạp khác màng -Màng A-5-3 đạt trạng bão hòa (độ nhạy đạt - Mặt ưu tiên (110) củathái màng A-5-3 có nhiều nút 85%) lượng thấp khuyếtvới Oxilưu nên màngkhí cóvào độ nhạy caolàvì200ppm làm tăng Trong khihấp đó, phụ màng chỉkhơng đạt 60% khả Oxi khí - Số lớp màng mỏng, lượng vi tinh thể không nhiều, không đủ để xảy tán xạ tia X màng, nên đỉnh (110) không ưu tiên chất lượng màng không tốt -Số lớp nhiều che khít lỗ xốp làm màng xếp chặt hơn, làm giảm độ xốp độ gồ ghề màng -Độ dày màng tăng độ nhạy tăng, đến giới hạn độ dày thích hợp, độ dày màng tăng độ nhạy giảm -Độ nhạy cao nhiệt độ 300oC Giải thích dựa q trình hấp phụ giải hấp khí O-2 O- bề mặt SnO2 -Quá trình nhạy khí màng thay đổi độ dẫn bề mặt màng C2H5OH+O- -> CH3CHO+H2O+eC2H5OH -> CH3CHO +H2 CH3CHO+5O- -> 2CO2+2H20+5e- Thời gian đáp ứng màng khoảng thời gian để điện trở màng (khi chưa có rượu) giảm 90% (khi có rượu) -Thời gian hồi phục khoảng thời gian để điện trở màng (khi cho rượu vào) tăng lên 90% (khi rút rượu ra) ... màng xếp chặt hơn, làm giảm độ xốp độ gồ ghề màng  -Độ dày màng tăng độ nhạy tăng, đến giới hạn độ dày thích hợp, độ dày màng tăng độ nhạy giảm  -Độ nhạy cao nhiệt độ 300oC Giải thích dựa q trình. .. chất nhạy khí màng màng pha tạp khác màng  -Màng A-5-3 đạt trạng bão hòa (độ nhạy đạt - Mặt ưu tiên (110) củathái màng A-5-3 có nhiều nút 85%) lượng thấp khuyếtvới Oxilưu nên màngkhí cóvào độ nhạy. ..Với vật liệu SnO2 mặt (110) mặt có lượng -Nồng độ tạppha chất cóSbsự tác động mạnh lêntrúc cường Khi nồng độ tạp tăng đến 5%cấu mol, màng có bề mặt thấp nhất, mà hình thành củađộ màng khơng đổi