luận án tiến sĩ nghiên cứu chế tạo, phát triển hệ đa cảm biến khí sử dụng màng mỏng và dây nano sno2

LỜI CAM ĐOAN Tác giả xin cam đoan nội dung luận án cơng trình nghiên cứu riêng tác giả hướng dẫn PGS.TS Nguyễn Văn Duy TS Matteo Tonezzer Các số liệu kết luận án hoàn toàn trung thực chưa tác giả khác công bố Hà Nội, ngày…… tháng……năm 2021 TM tập thể hướng dẫn Tác giả PGS.TS Nguyễn Văn Duy Nguyễn Xuân Thái i LỜI CẢM ƠN Luận án tiến sĩ hoàn thành Viện Đào tạo Quốc tế Khoa học Vật liệu (ITIMS), Trường Đại học Bách khoa Hà Nội hướng dẫn khoa học PGS.TS Nguyễn Văn Duy TS Matteo Tonezzer Nghiên cứu sinh xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc tới thầy định hướng khoa học phương pháp nghiên cứu Dưới bảo tận tình quan tâm giúp đỡ điều kiện mà thầy dành cho học trò giúp học trị hồn thành luận án Nghiên cứu sinh xin chân thành cảm ơn GS.TS Nguyễn Đức Hòa, GS.TS Hugo Nguyễn, GS.TS Nguyễn Văn Hiếu dẫn khoa học, giúp đỡ góp ý để luận án hoàn thiện Nghiên cứu sinh xin chân thành cảm ơn cán thuộc Phòng thí nghiệm Nghiên cứu phát triển Ứng dụng Cảm biến nano, anh chị em nghiên cứu sinh, bạn học viên cao học, đại học nhóm nhiệt tình giúp đỡ, hỗ trợ, chia sẻ ý tưởng khoa học trình nghiên cứu sinh thực luận án Tôi xin chân thành cảm ơn Viện Đào tạo Quốc tế Khoa học Vật liệu ITIMS; Viện Đo lường Việt Nam; Phòng Đào tạo - Trường Đại học Bách khoa Hà Nội tạo điều kiện cho tơi học tập, nghiên cứu hồn thành luận án Cuối cùng, xin gửi lời cảm ơn chân thành tới tồn thể gia đình, bạn bè đồng nghiệp động viên, khích lệ tơi suốt thời gian học tập, nghiên cứu thực luận án Tác giả Nguyễn Xuân Thái ii MỤC LỤC LỜI CAM ĐOAN .i LỜI CẢM ƠN ii DANH MỤC CÁC KÍ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT .vii DANH MỤC BẢNG BIỂU ix DANH MỤC HÌNH ẢNH x GIỚI THIỆU CHUNG .1 Lý chọn đề tài Mục tiêu nghiên cứu .4 Đối tượng phạm vi nghiên cứu 4 Phương pháp nghiên cứu .5 Ý nghĩa đề tài nghiên cứu Những đóng góp đề tài Cấu trúc luận án CHƯƠNG TỔNG QUAN .9 1.1 Cảm biến khí sử dụng vật liệu SMO 1.1.1 Định nghĩa, phân loại, ứng dụng biến khí 1.1.2 Cơ chế nhạy khí .9 1.2 Sự phụ thuộc độ đáp ứng khí cảm biến vào nhiệt độ hoạt động 13 1.3 Cảm biến khí sử dụng màng mỏng dây nano ơxít kim loại bán dẫn 16 1.3.1 Cảm biến khí sử dụng màng mỏng ơxít kim loại bán dẫn 16 1.3.2 Cảm biến khí sử dụng dây nano SnO2 19 1.4 Đa cảm biến khí sử dụng ơxit kim loại bán dẫn 22 iii 1.4.1 Khái niệm, nguyên lý làm việc hệ đa cảm biến 22 1.4.2 Tổng quan tình hình nghiên cứu, ứng dụng hệ đa cảm biến 26 1.4.3 Thuật toán học máy ứng dụng cho hệ đa cảm biến 40 1.5 Kết luận chương 45 CHƯƠNG THỰC NGHIỆM 46 2.1 Thiết kế đa cảm biến 46 2.1.1 Thiết kế chip điện cực đa cảm biến tích hợp đơn cảm biến, có đảo tách nhiệt 46 2.1.2 Thiết kế chip điện cực đa cảm biến tích hợp cảm biến dạng bậc thang 50 2.2 Quy trình chế tạo cấu trúc chip điện cực đa cảm biến .51 2.2.1 Phương pháp chế tạo dạng chip điện cực đa cảm biến 51 2.2.2 Quy trình chế tạo chip điện cực đa cảm biến sử dụng màng mỏng SnO2 làm vật liệu nhạy khí 53 2.2.3 Quy trình chế tạo chip điện cực đa cảm biến sử dụng dây nano SnO2 làm vật liệu nhạy khí 54 2.2.4 Quy trình chế tạo màng mỏng nano dây nano SnO2 56 2.3 Thiết kế, chế tạo hệ đo đa cảm biến 58 2.3.1 Sơ đồ nguyên lý đo tín hiệu từ đa cảm biến 58 2.3.2 Chế tạo hệ đo tín hiệu đa cảm biến 60 2.4 Khảo sát tính chất nhạy khí cảm biến 63 2.4.1 Phương pháp đo tĩnh 63 2.4.2 Phương pháp đo động 64 2.5 Phân tích số liệu hệ đa cảm biến 65 2.5.1 Các bước thực phương pháp PCA 65 2.5.2 Các bước thực thuật toán máy véc-tơ hỗ trợ - SVM .68 iv 2.6 Kết luận chương 70 CHƯƠNG NGHIÊN CỨU, CHẾ TẠO ĐA CẢM BIẾN KHÍ SỬ DỤNG CÁC CẤU TRÚC NANO SnO2 71 3.1 Giới thiệu 71 3.2 Cảm biến khí sử dụng màng mỏng, đa lớp 72 3.2.1 Cảm biến màng mỏng SnO2 72 3.2.2 Cảm biến màng mỏng đa lớp SnO2 biến tính Pt, Ag .77 3.2.3 Cơ chế nhạy khí cảm biến màng mỏng, đa lớp 90 3.3 Chế tạo đa cảm biến khí sử dụng cấu trúc nano SnO2 .93 3.3.1 Kết khảo sát hình thái, cấu trúc vật liệu đa cảm biến màng mỏng dây nano SnO2 93 3.3.2 Kiểm tra phân bố nhiệt độ thực tế đa cảm biến .96 3.3.3 Khảo sát tính chất nhạy khí hệ đa cảm biến .99 3.4 Kết luận chương .108 CHƯƠNG PHÁT TRIỂN, ỨNG DỤNG HỆ ĐA CẢM BIẾN TRONG VIỆC NHẬN DẠNG NHIỀU LOẠI KHÍ KHÁC NHAU SỬ DỤNG THUẬT TOÁN HỌC MÁY 110 4.1 Giới thiệu 110 4.2 Tiêu chí đánh giá chất lượng mơ hình phân loại, hồi quy 111 4.3 Phân loại khí khác sử dụng phương pháp PCA 112 4.3.1 Đặc trưng liệu hệ đa cảm biến màng mỏng SnO2 112 4.3.2 Đặc trưng liệu hệ đa cảm biến dây nano SnO2 114 4.3.3 Giảm số chiều liệu sử dụng phương pháp PCA .119 4.3.4 Kết phân loại khí sử dụng phương pháp PCA .122 4.4 Phân loại, tiên lượng nồng độ khí khác sử dụng thuật tốn SVM 128 v 4.4.1 Kết phân loại, tiên lượng nồng độ khí đa cảm biến SnO2/Pt sử dụng thuật toán SVM 128 4.4.2 Kết phân loại, tiên lượng nồng độ khí đa cảm biến SnO2/Ag sử dụng thuật toán SVM 130 4.4.3 Kết phân loại, tiên lượng nồng độ khí đa cảm biến SnO2/Pt SnO2/Ag sử dụng thuật toán SVM 131 4.5 Kết luận chương .133 KẾT LUẬN CHUNG VÀ KIẾN NGHỊ CỦA LUẬN ÁN 135 DANH MỤC CƠNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ CỦA LUẬN ÁN 137 TÀI LIỆU THAM KHẢO 138 vi DANH MỤC CÁC KÍ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT Kí hiệu, TT viết tắt ANN AI ADC CMOS CP CVD DAC DC EDS 10 EN 11 FET 12 GC 13 IoT 14 ITO 15 16 IC k-NN 17 LDA 18 LPG 19 MAPE 20 MFC 21 ML 22 MEMS 23 NWs 24 PCA vii 25 PCB 26 PET 27 QCM 28 RBF 29 Ra 30 Rg 31 rGO 32 SAW 33 SEM 34 SMO 35 SPI 36 SVM 37 SWCNT 38 TEM 39 HRTEM 40 Va 41 Vg 42 VLS 43 VOC 44 XRD 45 0D 46 1D 47 2D viii pyrolysis grown nanostructured SnO2 thin films for near room temperature LPG detection and the impedance analysis” Sensors Actuators, A Phys., vol 301, p 111755, 2020 [62] N.V.Toan, C.M.Hung, N.V.Duy, N.D.Hoa, D.T.T.Le, N.V.Hieu “Bilayer SnO2 –WO3 nanofilms for enhanced NH3 gas sensing performance” Mater Sci Eng B, vol 224, no August, pp 163–170, 2017 [63] Q Wan, Q.Li, Y.Chen, T.Wang “Fabrication and ethanol sensing characteristics of ZnO nanowire gas sensors” Appl Phys Lett., vol 84, no 18, pp 3654–3656, May 2004 [64] X Xu, J Zhuang, and X Wang “SnO2 Quantum Dots and Quantum Wires: Controllable Synthesis, Self-Assembled 2D Architectures, and GasSensing Properties” J Am Chem Soc., vol.130, no.37, pp.12527–12535, Sep 2008 [65] V V Sysoev,T Schneider, A Kolmakov “Percolating SnO2 nanowire network as a stable gas sensor: Direct comparison of long-term performance versus SnO2 nanoparticle films” Sensors Actuators B Chem., vol 139, no 2, pp 699–703, Jun 2009 [66] C.M.Hung, D.T.T.Le, and N.V.Hieu “On-chip growth of semiconductor metal oxide nanowires for gas sensors: A review” J Sci Adv Mater Devices, vol 2, no 3, pp 263–285, 2017 [67] J Kim, H Woo, and S Sub “Ultra-sensitive benzene detection by a novel approach : Core-shell nanowires combined with the Pd- functionalization” Sensors Actuators B Chem., vol 239, pp 578–585, 2017 [68] S H Salman, A A Shihab, and A H K Elttayef “Design and construction of nanostructure TiO2 thin film gas sensor prepared by R.F magnetron sputtering technique” Energy Procedia, vol 157, no 2018, pp 283–289, 2019 [69] Y Chang, N.Tang, H.Qu, J.Liu, D.Zhang “Detection of Volatile Organic Compounds by Self-assembled Monolayer Coated Sensor Array with Concentration-independent Fingerprints” Sci Rep., vol 6, no April, pp 1– 12, 2016 [70] D J Strike, M G H Meijerink, and M Koudelka-Hep “Electronic noses - A 144 mini-review” Fresenius J Anal Chem., vol 364, no 6, pp 499–505, 1999 [71] A D Wilson and M Baietto “Applications and Advances in ElectronicNose Technologies” pp 5099–5148, 2009 [72] “Alpha-mos/FOX2000, 4000, 6000 electronic nose.” https://www.alphamos.com/ [73] “CYRANO.” https://www.sbir.gov/sbc/cyrano-sciences-inc [74] “AIRSENSE Analytics/Pen3 electronic nose.” https://airsense.com/en [75] “KAMINA electronic nose.” www.kit.edu [76] “Nordic Sensors / Smart nose-300 electronic nose.” https://www.nordicsensors.com/ [77] “Dräger / MSI 150 Pro 2i electronic nose.” https://www.draeger.com/en_uk/Products/MSI-Variox-2 [78] “VentiPro electronic nose.”https://www.indsci.com/products/gasdetectors/ventis-pro/ventis-pro-series-monitor/ [79] Z Al Barakeh, P Breuil, N Redon, C Pijolat, N Locoge, and J P Viricelle “Development of a normalized multi-sensors system for low cost on-line atmospheric pollution detection” Sensors Actuators, B Chem., vol 241, pp 1235–1243, 2017 [80] H Liu, Q Li, B Yan, L Zhang, and Y Gu “Bionic electronic nose based on mos sensors array and machine learning algorithms used for wine properties detection” Sensors (Switzerland), vol 19, no 1, 2019 [81] C Gonzalez Viejo, S Fuentes, A Godbole, B Widdicombe, and R R Unnithan “Development of a low-cost e-nose to assess aroma profiles: An artificial intelligence application to assess beer quality” Sensors Actuators, B Chem., vol 308, no January, p 127688, 2020 [82] J S Lewis, Z Barani, A S Magana, and F Kargar “MEMS sensor array based electronic nose for breath analysis ─ a simulation study” J Breath Res., pp 0–31, 2019 [83] M H S Abadi, M N Hamidon, A H Shaari, N Abdullah, and R Wagiran “SnO2/Pt thin film laser ablated gas sensor array” Sensors, vol 11, no 8, pp 7724–7735, 2011 145 [84] G Sberveglieri, I Concina, E Comini, M Falasconi, M Ferroni, and V Sberveglieri “Synthesis and integration of tin oxide nanowires into an electronic nose” Vacuum, vol 86, no 5, pp 532–535, 2012 [85] H G Moon, Y.Jung, S.Han, Y.Shim“Chemiresistive Electronic Nose toward Detection of Biomarkers in Exhaled Breath” ACS Appl Mater Interfaces, vol 8, no 32, pp 20969–20976, 2016 [86] S Bai Y.Tian, M.Cui, J.Sun, Y.Tian, R.Luo “Polyaniline@SnO2 heterojunction loading on flexible PET thin film for detection of NH at room temperature” Sensors Actuators, B Chem., vol 226, pp 540–547, 2016 [87] D Zhang, Z Wu, and X Zong “Flexible and highly sensitive H2S gas sensor based on in-situ polymerized SnO2/rGO/PANI ternary nanocomposite with application in halitosis diagnosis” Sensors Actuators, B Chem., vol 289, no February, pp 32–41, 2019 [88] A.Loutfi, S.Coradeschi, G.Mani, P.Shankar, and J.Rayappan “Electronic noses for food quality: A review” J Food Eng., vol 144, pp 103–111, 2015 [89] Y Jiang, N Tang, C Zhou, Z Han, H Qu, and X Duan “A chemiresistive sensor array from conductive polymer nanowires fabricated by nanoscale soft lithography” Nanoscale, vol 10, no 44, pp 20578–20586, 2018 [90] V Schroeder, , Ethan D Evans, You-Chi Mason Wu, ConstantinChristian A Voll “Chemiresistive Sensor Array and Machine Learning Classification of Food” ACS Sensors, vol 4, no pp 2101–2108, 2019 [91] J.Chen, Z.Chen, D.Liu, Z.He “Constructing an E-Nose Using Metal-IonInduced Assembly of Graphene Oxide for Diagnosis of Lung Cancer via Exhaled Breath” ACS Appl Mater Interfaces, vol 12, no 15 pp 17713– 1724, 2020 [92] M.Tonezzer, D.T.T.Le, S.Iannotta, and N.V.Hieu “Selective discrimination of hazardous gases using one single metal oxide resistive sensor” Sensors Actuators, B Chem., vol 277, pp 121–128, 2018 [93] Y Wang, M M Tong, D Zhang, and Z Gao “Improving the performance of catalytic combustion type methane gas sensors using nanostructure elements doped with rare earth cocatalysts” Sensors, vol 11, no 1, pp 19–31, 2011 146 [94] A P Lee and B J Reedy “Temperature modulation in semiconductor gas sensing” Sensors Actuators, B Chem., vol 60, no 1, pp 35–42, 1999 [95] X Huang, J Liu, Z Pi, and Z Yu “Detecting Pesticide Residue by Using Modulating Temperature Over a Single SnO2 - Based Gas Sensor,” Sensors, vol 3, no 1,pp 361–370, 2003 [96] V V Sysoev, J Goschnick, T Schneider, E Strelcov, and A Kolmakov “A gradient microarray electronic nose based on percolating SnO2 nanowire sensing elements,” Nano Lett., vol 7, no 10, pp 3182–3188, Oct 2007 [97] V.V.Sysoev, A.Kolmakov, E.Strelcov, M.Sommer, I Kiselev “Singlenanobelt electronic nose: Engineering and tests of the simplest analytical element” ACS Nano, vol 4, no 8, pp 4487–4494, 2010 [98] N Illyaskutty, J Knoblauch, M Schwotzer, H Kohler “Thermally modulated multi sensor arrays of SnO2/additive/electrode combinations for enhanced gas identification” Sensors Actuators, B Chem., vol 217, pp 2–12, 2015 [99] G Zeng, C.Wu, Y.Chang, C.Zhou, B.Chen, M.Zhang “Detection and Discrimination of Volatile Organic Compounds using a Single Film Bulk Acoustic Wave Resonator with Temperature Modulation as a Multiparameter Virtual Sensor Array” ACS Sensors, vol 4, no 6, pp 1524–1533, 2019 [100] L Capelli, S Sironi, and R Del Rosso “Electronic Noses for Environmental Monitoring Applications” Sensors, vol 14, no 11, pp 19979– 20007, 2014 [101] B Liu, X Wu, K W L Kam, W F Cheung, and B Zheng “Cuprous Oxide Based Chemiresistive Electronic Nose for Discrimination of Volatile Organic Compounds” ACS Sensors, vol 4, no 11 pp 3051–3055, 2019 [102] A D Wilson “Review of Electronic-nose Technologies and Algorithms to Detect Hazardous Chemicals in the Environment” Procedia Technol., vol 1, pp 453–463, 2012 [103] M Ghasemi-Varnamkhasti, M Tohidi, P Mishra, and Z Izadi “Temperature modulation of electronic nose combined with multi-class support vector machine classification for identifying export caraway cultivars” Postharvest Biol Technol., vol 138, no November 2017, pp 134– 139, 2018 [104] A T Güntner, V Koren, K Chikkadi, M Righettoni, and S E Pratsinis “E147 Nose Sensing of Low-ppb Formaldehyde in Gas Mixtures at High Relative Humidity for Breath Screening of Lung Cancer?” ACS Sensors, vol 1, no 5, pp 528–535, 2016 [105] T Wasilewski, D Migoń, J Gębicki, and W Kamysz “Critical review of electronic nose and tongue instruments prospects in pharmaceutical analysis” Anal Chim Acta, vol 1077, pp 14–29, 2019 [106] A Kononov, A Gubal, A.Barchuk “Online breath analysis using metal oxide semiconductor sensors (electronic nose) for diagnosis of lung cancer” J Breath Res., vol 14, no 1, 2020 [107] H G Moon, Y.Jung, C.Kim, C.Kang “All villi-like metal oxide nanostructures-based chemiresistive electronic nose for an exhaled breath analyzer” Sensors Actuators, B Chem., vol 257, pp 295–302, 2018 [108] C Severini, I Ricci, M Marone, A Derossi, and T De Pilli “Changes in the aromatic profile of espresso coffee as a function of the grinding grade and extraction time: A study by the electronic nose system” J Agric Food Chem., vol 63, no 8, pp 2321–2327, 2015 [109] R Beghi, S Buratti, V Giovenzana, S Benedetti, and R Guidetti “Electronic nose and visible-near infrared spectroscopy in fruit and vegetable monitoring” Rev Anal Chem., vol 36, no 4, pp 1–24, 2017 [110] D Li, T Lei, S Zhang, X Shao, and C Xie “A novel headspace integrated E-nose and its application in discrimination of Chinese medical herbs” Sensors Actuators, B Chem., vol 221, pp 556–563, 2015 [111] S J Kim, S J Choi, J S Jang, H J Cho, and I D Kim “Innovative Nanosensor for Disease Diagnosis” Acc Chem Res., vol 50, no 7, pp 1587–1596, 2017 [112] H Amal, M.Lija, K.Funka, R.Skapars “Detection of precancerous gastric lesions and gastric cancer through exhaled breath” National Library of Medicine, vol 65, no 3, pp 400–407, Mar 2016 [113] M K Nakhleh, D.Johnson, H Haick, H Amal“Diagnosis and Classification of 17 Diseases from 1404 Subjects via Pattern Analysis of Exhaled Molecules” ACS Nano, vol 11, no 1, pp 112–125, Jan 2017 148 [114] J Chen, Z.Chen, F Boussaid, D.Zhang, X.Pan, H.Zhao “Ultra- Low-Power Smart Electronic Nose System Based on Three-Dimensional Tin Oxide Nanotube Arrays” ACS Nano, vol 12, no 6, pp 6079–6088, 2018 [115] L Dentoni, L Capelli, S Sironi, R Del Rosso, S Zanetti, M Della Torre “Development of an electronic nose for environmental odour monitoring” Sensors (Switzerland), vol 12, no 11, pp 14363–14381, 2012 [116] A H Gómez, J Wang, G Hu, and A G Pereira “Electronic nose technique potential monitoring mandarin maturity” Sensors Actuators B Chem., vol 113, no 1, pp 347–353, Jan 2006 [117] X.-Y Tian, Q Cai, and Y.-M Zhang “Rapid Classification of Hairtail Fish and Pork Freshness Using an Electronic Nose Based on the PCA Method” Sensors, vol 12, no 1, pp 260–277, Dec 2011 [118] Nguyen N.X.Thai N.V.Duy, N.D.Hoa, N.V.Hieu, M.Tonezzer, Hugo “Prototype edge-grown nanowire sensor array for the real-time monitoring and classification of multiple gases” J Sci Adv Mater Devices, 2020 [119] A T Güntner, V Koren, K Chikkadi, M Righettoni, and S E Pratsinis “ENose Sensing of Low-ppb Formaldehyde in Gas Mixtures at High Relative Humidity for Breath Screening of Lung Cancer?” ACS Sensors, vol 1, no pp 528–535, 2016 [120] Y Hu, H Lee, S Kim, and M Yun “A highly selective chemical sensor array based on nanowire/nanostructure for gas identification” Sensors Actuators, B Chem., vol 181, no 2, pp 424–431, 2013 [121] H M Fahad, H Shiraki, M.Amani, C.Zhang, V.S.Hebbar “Room temperature multiplexed gas sensing using chemical-sensitive 3.5-nm-thin silicon transistors” Sci Adv., vol 3, no 3, p e1602557, 2017 [122] L I Smith, “A tutorial on Principal Components Analysis Introduction” Dep Comput Sci Univ Otago, vol 51, p 52, 2002 [123] H Singh, V.B.Raj, J.Kumar, A.T.Nimal, V.Gupta “Metal oxide SAW E-nose employing PCA and ANN for the identification of binary mixture of DMMP and methanol” Sensors Actuators, B Chem., vol 200, pp 147–156, 2014 [124] B M Ezhilan, N Nesakumar, K J Babu, C S Srinandan, and J B 149 Rayappan “Freshness Assessment of Broccoli using Electronic Nose” Meas J Int Meas Confed., vol 145, pp 735–743, 2019 [125] M Tonezzer “Selective gas sensor based on one single SnO2 nanowire” Sensors Actuators, B Chem., vol 288, no February, pp 53–59, 2019 [126] J Miao, T Zhang, Y Wang, and G Li “Optimal Sensor Selection for Classifying a Set of Ginsengs Using Metal-Oxide Sensors” Sensors, vol 15, no 7, pp 16027–16039, Jul 2015 [127] Hieu D D Trung, N V Toan, P V Tong, N V Duy, N D Hoa, N V “Synthesis of single-crystal SnO2 nanowires for NOx gas sensors application” Ceramics International, vol 38, no pp 6557–6563, 2012 [128] D T T Le, N V Duy, N D Hoa, N V Hieu “Density- controllable growth of SnO2 nanowire junction-bridging across electrode for low-temperature NO2 gas detection” J Mater Sci., vol 48, no 20, pp 7253–7259, 2013 [129] J.Palacín, D.Martínez, E.Clotet, T.Pallejà “Application of an array of metal-oxide semiconductor gas sensors in an assistant personal robot for early gas leak detection” Sensors (Switzerland), vol 19, no 9, pp 1–16, 2019 [130] J Thorson, A Collier-Oxandale, and M Hannigan “Using A Low-Cost Sensor Array and Machine Mixtures and Identify Likely Sources” Sensors, vol 19, p 3723, 2019 [131] Z Zihan and Z Zhanfeng “Campus bullying detection based on motion recognition and speech emotion recognition” J Phys Conf Ser., vol 1314, no 1, 2019 [132] S Baumann “A Tutorial on Support Vector Machines for Pattern Recognition” Scand J Med Sci Sport., vol 28, no 3, pp 1056–1063, 2018 [133] S M Scott, D James, and Z Ali “Data analysis for electronic nose systems” Microchim Acta, vol 156, no 3–4, pp 183–207, 2006 [134] D Zhao, H Liu, Y Zheng, Y He, D Lu, and C Lyu “A reliable method for colorectal cancer prediction based on feature selection and support vector machine” Med Biol Eng Comput., vol 57, no 4, pp 901– 912, 2019 [135] Y Shen “Highly sensitive hydrogen sensors based on SnO2 nanomaterials with different morphologies” Int J Hydrogen Energy, vol 40, no 45, pp 150 15773–15779, 2015 [136] M Abadi, M Hamidon, A Shaari, N Abdullah “SnO2/Pt thin film laser ablated gas sensor array” Sensors, vol 11, no 8, pp 7724–7735, 2011 [137] J Melorose, R Perroy, and S Careas “An Overview of Metal Oxide Semiconducting Sensors in Electronic Nose Applications” Statew Agric L Use Baseline 2015, vol 1, no May 2012, pp 506–515, 2015 [138] N V Toan N V Duy, N D Hoa, C M Hung, N V.Hieu “Scalable fabrication of SnO2 thin films sensitized with CuO islands for enhanced H2S gas sensing performance” Appl Surf Sci., vol 324, pp 280– 285, 2015 [139] N V.Toan N V.Duy, N D.Hoa, C M Hung, N V Hieu “Fabrication of highly sensitive and selective H2 gas sensor based on SnO2 thin film sensitized with microsized Pd islands,” J Hazard Mater., vol 301, pp 433– 442, 2016 [140] T M Ngoc, N Van Duy, N Duc Hoa, C Manh Hung, H Nguyen, and N Van Hieu “Effective design and fabrication of low-powerconsumption self-heated SnO2 nanowire sensors for reducing gases” Sensors Actuators, B Chem., vol 295, no September 2018, pp 144–152, 2019 [141] T M Ngoc, N V.Duy, N D.Hoa, C M.Hung, N V.Hieu “Self- heated Ag-decorated SnO2 nanowires with low power consumption used as a predictive virtual multisensor for H2S-selective sensing” Anal Chim Acta, vol 1069, pp 108–116, 2019 [142] D Karakaya, O Ulucan, and M Turkan “Electronic Nose and Its Applications: A Survey,” Int J Autom Comput., vol 17, no 2, pp 179–209, Apr 2020 [143] L N Khả Nhi “Đánh giá mơ hình phân loại sử dụng thuật toán học máy”: https://rstudio-pubstatic.s3.amazonaws.com/347941_f533909a39c4429dbedc463b92158af7.html [144] “Mean Absolute Percent Error (MAPE) - An introduction.” https://www.rocscience.com/help/rocdata/rocdata/Curve_Fitting_for_Generali zed_Hoek-Brown.htm%0A [145] “Scikit-learn library for machine learning,” https://scikitlearn.org/stable/ 151 ... 1.3 Cảm biến khí sử dụng màng mỏng dây nano ơxít kim loại bán dẫn 16 1.3.1 Cảm biến khí sử dụng màng mỏng ơxít kim loại bán dẫn 16 1.3.2 Cảm biến khí sử dụng dây nano SnO2 19 1.4 Đa cảm biến. .. Cảm biến khí sử dụng màng mỏng, đa lớp 72 3.2.1 Cảm biến màng mỏng SnO2 72 3.2.2 Cảm biến màng mỏng đa lớp SnO2 biến tính Pt, Ag .77 3.2.3 Cơ chế nhạy khí cảm biến màng mỏng, đa. .. SnO2 đã, xu hướng phát triển tương lai Vì vậy, nghiên cứu sinh chọn đề tài ? ?Nghiên cứu chế tạo, phát triển hệ đa cảm biến khí sử dụng màng mỏng dây nano SnO2? ?? - Mục tiêu nghiên cứu Chế tạo cấu trúc