| Tài liệu tham khảo |
Loại |
Chi tiết |
| [10] Steve Beeby, Graham Ensell, Michael Kraft, Neil White; MEMS Mechanical Sensors; Southampton, United Kingdom, April 2004 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
MEMS Mechanical Sensors |
|
| [11] Mohamed Gad-el-Hak, The MEMS Handbook - Second Edition - MEMS Introduction and Fundamentals, 2006 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
The MEMS Handbook - Second Edition - MEMS Introduction and Fundamentals |
|
| [12] Vijay K. Varadan, K. J. Vinoy, S. Gopalakrishnan; Smart Material Systems and MEMS: Design and Development Methodologies, 2006 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Smart Material Systems and MEMS: Design and Development Methodologies |
|
| [13] Mohamed Gad-el-Hak, MEMS - Introduction and Fundamentals, Taylor & Francis Group, LLC, 2006 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
MEMS - Introduction and Fundamentals |
|
| [14] Mark J. Jackson, Microfabrication and Nanomanufacturing, Taylor & Francis Group, LLC, 2006 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Microfabrication and Nanomanufacturing |
|
| [15] N. P. Mahalik, Micromanufacturing and Nanotechnology, Springer, 2006 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Micromanufacturing and Nanotechnology |
|
| [16] Sergey Edward Lyshevski, Nano- and Microelectromechanical Systems, Fundamentals of Nano- and Microengineering, CRC Press, 2001 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Nano- and Microelectromechanical Systems, Fundamentals of Nano- and Microengineering |
|
| [17] Vijay K. Varadan, K. J. Vinoy, S. Gopalakrishnan, Smart Material Systems and MEMS: Design and Development Methodologies, John Wiley and sons, Ltd., 2006 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Smart Material Systems and MEMS: Design and Development Methodologies |
|
| [18] L. L. Faulkner, Microengineering, MEMS, and Interfacing - A Practical Guide, Taylor & Francis Group, LLC, 2006 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Microengineering, MEMS, and Interfacing |
|
| [19] Nadim Maluf, Kirt Williams, An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering, Second Edition, Artech House, Inc |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering |
|
| [30] Swaminathan Rajaraman, Maxine A. McClain, Seong-O Choi, THREE- DIMENSIONAL METAL TRANSFER MICROMOLDED MICROELECTRODE ARRAYS (MEAS) FOR IN-VITRO BRAIN SLICE RECORDINGS |
Sách, tạp chí |
|
| [32] Các trang Web: http://automation.net.vn/the-gioi-cam-bien/thi-truong-cam-bien-mems-cho-cac-ung-dung-cam-tay.html |
Link |
|
| [20] Các bài báo tiếng việt về ứng dụng MEMS trong chế tạo cảm biến |
Khác |
|
| [21] Vũ Ngọc Hùng, Nguyễn Đức Chiến, Trịnh Quang Thông; Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc trưng của cảm biến vi cơ đo lực; Trung tâm Quốc tế về đào tạo khoa học vật liệu (ITIMS), Khoa Vật lý, ĐHSP Hà Nội |
Khác |
|
| [22] Nam - Trung Nguyen - Steven T. Wereley, Fundamentals and Applications of Microfluidics, Second Edition |
Khác |
|
| [23] TS Nguyễn Nam Trung, Cơ sở công nghệ vi điện tử & vi hệ thống |
Khác |
|
| [24] Nguyễn Đức Chiến, Nguyễn Văn Hiếu, Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử |
Khác |
|
| [26] Gary K. Fedder, MEMS fabrication, Department of Electrical and Computer Engineering, and The robotics Institute Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA 15213-3890, USA |
Khác |
|
| [27] Doctoral Dissertation, FABRICATION OF SU-8 MICROSTRUCTURES FOR ANALYTICAL MICROFLUIDIC APPLICATIONS |
Khác |
|
| [28] Dongmei Cao (2004), REPLICATION OF METAL-BASED HIGH- ASPECT-RATIO MICROSCALE STRUCTURES BY HIGH TEMPERATURE MICROMOLDING |
Khác |
|