| Tài liệu tham khảo |
Loại |
Chi tiết |
| [3]. K. Kumar, N. Barbour, and J. M. Elwell, Proc, Emerging Low(er) Cost Iner- tial Sensors, AIAA GN&C Conf., Hilton Head, 11-24, 1992 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Emerging Low(er) Cost Iner-tial Sensors |
|
| [4]. M. Kraft, Micromachined Inertial Sensors: The State of the Art and a Look into Future, IMC Measurement and Control, 33, 164-168, 2000 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Micromachined Inertial Sensors: The State of the Art and a Look into Future |
|
| [5]. Jon S. Wilson, Sensor Technology Handbook, Elsevier Inc., 2004 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Sensor Technology Handbook |
|
| [6]. Refet Firat Yazicioglu, Surface micromachined capacitive accelerometers using MEMS technology, the Middle East technical University, 2003 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Surface micromachined capacitive accelerometers using MEMS technology |
|
| [8]. Trần Đức Tân, Thiết kế cảm biến gia tốc vi cơ điện tử chế tạo trên vật liệu Silic, tạp chí Tự động hóa ngày nay, 2006 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Thiết kế cảm biến gia tốc vi cơ điện tử chế tạo trên vật liệu Silic |
|
| [10]. Dr. Gua, Hang, Sah Peng-Tung, Introduction to Microelectromechanical systems (MEMS), MEMS Research Center, Xiamen University, Lecture note |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Introduction to Microelectromechanical systems (MEMS) |
|
| [11]. Low-g accelerometers – Basic knowledge of accelerometer, Freescale, 2010 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Low-g accelerometers – Basic knowledge of accelerometer |
|
| [13]. Nguyễn H. D. Khang, Dương Tấn Phước, Nguyễn Đăng Giang, Trương Hữu Lý, Nguyễn Ngọc Việt, Design and simulation for optimal structure of cross type capacitive acceleration MEMS sensor, International journal of mathematics and physical sciences research, 2014 |
Sách, tạp chí |
| Tiêu đề: |
Design and simulation for optimal structure of cross type capacitive acceleration MEMS sensor |
|