Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 130 trang
Thông tin tài liệu
... HÀ NỘI HOÀNG VĨNH GIANG NGHIÊN CỨU ẢNH HƢỞNG CỦA MỘT SỐ YẾU TỐ CHÍNH ĐẾN SỰ HÌNH THÀNH LỚP THẤM NITƠ BẰNG PHƢƠNG PHÁP THẤM NITƠ PLASMA XUNG Chuyên ngành : Kim loại học Mã số : 62440129 LUẬN ÁN... gian, thành phần khí thấm thơng số cơng nghệ ảnh hưởng đến đặc tính lớp thấm Ngồi thơng số áp suất khí thấm ảnh hưởng lớn đến hình thành trì plasma nên có ảnh hưởng đến hình thành đặc tính lớp thấm. .. dung sơ đồ nghiên cứu 43 2.1.1 Nghiên cứu ảnh hưởng số yếu tố đến tượng khuếch đại plasma 43 2.1.2 Nghiên cứu ảnh hưởng thông số cơng nghệ đến hình thành lớp thấm