Bìa
MỤC LỤC
DANH MỤC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT
DANH MỤC HÌNH VẼ, BẢNG BIỂU
LỜI MỞ ĐẦU
Chương 1
CƠ SỞ LÝ THUYẾT VỀ CON QUAY GYROSCOPES
1.2. Hiệu ứng Coriolis
1.3. Công nghệ vi cơ điện tử (MEMS)
1.3.1. Giới thiệu chung
1.3.2. Các kỹ thuật MEMS
1.3.3. Đóng vỏ Chíp
1.4. Con quay hồi chuyển vi cơ (Gyroscopes MEMS)
1.4.1. Nguyên lý hoạt động và nguyên lý cấu trúc
4.2.2. Phân loại con quay vi cơ
Chương 2
THIẾT KẾ CẢM BIẾN GYROSCOPES MEMS
2.1. Mục tiêu thiết kế
2.2. Cấu trúc các thanh dầm kiểu đàn hồi
2.2.1. Dầm treo thẳng (Linear beam)
2.2.2. Dầm treo gập (folded beam)
2.3. Cấu trúc tụ điện vi sai
2.3.1 Khái niệm cơ bản về tụ điện
2.3.2. Cấu trúc tụ điện thanh ngang
2.3.3. Cấu trúc tụ điện kiểu răng lược
2.4. Cơ sở động lực học của quá trình cản trở dao động (damping)
2.5. Mô hình thiết kế và nguyên lý hoạt động của Gyroscopes kiểu tuning fork
2.5.1. Mô hình thiết kế 1
2.5.2. Mô hình thiết kế 2
2.5.3. Mô hình thiết kế 3
2.5.4. Mô hình thiết kế 4
Chương 3
KHẢO SÁT CẢM BIẾN GYROSCOPES KIỂU TUNING FORK
3.1. Phân tích nguyên lý hoạt động của Gyroscopes kiểu Tuning Fork
3.2. Thiết kế cấu trúc Gyroscopes Tuning Fork
3.2.1. Phần sensing
3.2.2. Phần Driving
3.2.3. So sánh các chuyển vị của hai mode Driving và Sensing
Chương 4
THIẾT KẾ MẠCH ĐIỀU KHIỂN VÀ XỬ LÝ TÍN HIỆU
4.1. Phương pháp phát hiện bằng điện
4.2. Thiết kế mạch phát hiện điện dung Sensing-mode
4.3. Kết quả thực tế và mô phỏng của mạch điện
Chương 5
KẾT LUẬN VÀ ĐỀ XUẤT HƯỚNG PHÁT TRIỂN CỦA ĐỀ TÀI
5.1. Kết luận của đề tài
5.2. Đề xuất hướng phát triển của đề tài
TÀI LIỆU THAM KHẢO