MỤC LỤC
MỞ ĐẦU
CHƯƠNG 1 Một số đặc trưng cơ bản của sensor
1.1 Đinh nghĩa và các khái niệm cơ bản
1.2 Phân loại sensor
1.3 Đặc trưng cơ bản
1.3.1 Đường cong chuẩn của cảm biến
1.3.2 Hàm truyền
1.3.3 Độ nhạy
1.3.4 Độ tuyến tính
1.3.5 Sai số và độ chính xác
1.3.6 Độ nhanh và thời gian hồi đáp
1.3.7 Giới hạn sử dụng
1.3.8 Nhiễu
CHƯƠNG 2 Quá trình chuyển đổi tín hiệu vât lý
2.1 Một số hiệu ứng chuyển đổi cơ - điện
2.1.1 Hiệu ứng áp điện [9]
2.1.2 Hiệu ứng từ giảo
2.1.3 Hiệu ứng trở áp
2.2 Một số hiệu ứng chuyển đổi nhiệt-điện
2.2.1 Hiệu ứng nhiệt điện [14]
2.2.2 Hiệu ứng nhiệt điện trở [15]
2.2.3 Hiệu ứng điện hỏa [16]
2.3 Một số hiệu ứng chuyển đổi quang – điện
2.3.1 Hiệu ứng quang điện [9, 10]
2.3.2 Hiệu ứng phát sáng quang điện
2.3.3 Hiện tượng phát sáng quang hóa
2.3.4 Hiệu ứng quang điện môi [9]
2.3.5 Hiệu ứng Faraday xoay
2.3.6 Hiệu ứng từ-quang Kerr (MOKE: Magneto-Optic Kerr Effect)
2.3.7 Hiệu ứng điện-quang Kerrand Pockels [9, 10]
2.3.8 Hiệu ứng phát quang bằng phản ứng hóa học [10]
2.4 Một số hiệu ứng chuyển đổi từ - điện
2.4.1 Hiệu ứng Hall [6, 9]
2.4.2 Hiệu ứng Spin Hall
2.4.3 Định luật Faraday-Henry [1, 9]
2.4.4 Hiệu ứng Barkhausen
2.4.5 Hiệu ứng Nernst/Ettingshausen
2.4.6 Hiệu ứng từ trở
2.5 Hiệu ứng Dopper
CHƯƠNG 3 Ứng dụng một số loại sensor vào thiết bị đo
3.1 Sensor nhiệt độ dùng hiệu ứng chuyển tiếp PN
3.1.1 Đặc trưng V- A của lớp chuyển tiếp p-n
3.1.2 Sự phụ thuộc nhiệt độ của dòng điện khi phân cực ngược.
3.1.3 Sự phụ thuộc nhiệt độ của hiệu điện thế khi phân cực thuận
Thay (3.2) vào (3.1) ta đƣợc:
3.1.4 Nguyên tắc hoạt động của thiết bị
3.1.5 Kết cấu của thiết bị đo nhiệt độ nhờ chuyển đổi nhiệt - điện bằng
bán dẫn dùng ICL7107
3.2 Senor dịch chuyển nhỏ dùng cảm biến vi sai
3.2.1 Cấu tạo thiết bị phát hiện dịch chuyển nhỏ dùng cảm biến vi sai
3.2.2 Bộ tiếp nhận dịch chuyển
3.2.3 Bộ biến thế vi sai
3.3 Sensor từ trường dùng hiệu ứng Hall
3.3.1 Nguyên lý
3.3.2 Thiết bị đo từ trường dùng cảm biến Hall
3.4 Sensor từ trường Fluxgate
3.4.1 Nguyên lý làm việc
3.4.2 Thiết bị phát hiện từ trường nhỏ
CHƯƠNG 4 Kết quả thực nghiệm
4.1 Khảo sát sensor nhiệt độ dùng hiệu ứng chuyển tiếp PN
4.1.1 Sự thay đổi đặc trưng V-A của chuyển tiếp PN theo nhiệt độ
4.1.2 Khảo sát quá trình nguội dùng chuyển tiếp PN
4.2 Khảo sát sensor từ trường dùng hiệu ứng Hall
4.2.1 Thiết bị đo tự chế tạo tại Việt Nam
4.2.2 Đo từ trường bề mặt dùng GaussMeter (USA)
KẾT LUẬN
TÀI LIỆU THAM KHẢO