Nghiên cứu thiết kế và chế tạo cảm biến tụ phẳng

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN MINH NGỌC NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ VÀ CHẾ TẠO CẢM BIẾN TỤ PHẲNG Ngành : Công nghệ Kỹ thuật Điện tử Truyền thông Chuyên ngành: Kỹ thuật Điện tử Mã số : 60520203 LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ TRUYỀN THÔNG NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: PGS TS CHỬ ĐỨC TRÌNH Hà Nội - 2016 i LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan: Bản luận văn tốt nghiệp cơng trình nghiên cứu cá nhân tôi, thực dựa sở nghiên cứu lý thuyết, thực tế hướng dẫn PGS TS Chử Đức Trình Các số liệu, kết luận luận văn trung thực, dựa nghiên cứu mơ hình, kết đạt nước giới trải nghiệm thân, chưa công bố hình thức trước trình bày bảo vệ trước “Hội đồng đánh giá luận văn thạc sỹ kỹ thuật” Hà Nội, Ngày tháng năm 2016 Người cam đoan ii LỜI CẢM ƠN Đầu tiên, cho phép em gởi lời cảm ơn sâu sắc đến thầy PGS TS Chử Đức Trình Thầy người ln theo sát em trình làm luận văn, Thầy tận tình bảo, đưa vấn đề cốt lõi giúp em củng cố lại kiến thức có định hướng đắn để hoàn thành luận văn Tiếp đến, em xin gởi lời cảm ơn đến tất quý Thầy/Cô giảng dạy Khoa Khoa Điện tử - Viễn thông, Trường Đại học Công nghệ giúp em có kiến thức để thực luận văn Kính chúc Thầy/Cơ dồi sức khoẻ, thành đạt ngày thành công nghiệp trồng người Cuối cùng, em xin cảm ơn gia đình, anh chị, bạn bè quan tâm, động viên giúp đỡ em thời gian thực luận văn tốt nghiệp Xin chân thành cảm ơn! iii MỤC LỤC LỜI CAM ĐOAN i LỜI CẢM ƠN ii MỤC LỤC iii DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ v LỜI MỞ ĐẦU 1 Lý chọn đề tài Mục tiêu đề tài 2.1 Về lý thuyết: 2.2 Về thực tiễn: Phương pháp nghiên cứu 4 Cấu trúc luận văn CHƢƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ THUYẾT CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG 1.1 Điện dung 1.2 Hằng số điện môi 1.3 Các ứng dụng cảm biến điện dung 1.3.1 Cảm biến khoảng cách 1.3.2 Cảm biến vị trí 1.3.3 Cảm biến độ ẩm 11 1.3.4 Cảm biến áp suất 1.3.5 Cảm biến độ nghiêng 4 CHƢƠNG 2: CẤU TRÚC C D VÀ PHƢƠNG PHÁP PHÁT HIỆN VẬT THỂ TRÊN KÊNH CHẤT LỎNG 15 2.1 Nguyên tắc cấu trúc C4D 15 2.2 Thiết kế vận hành cảm biến DC4D thông thường 20 2.3 Nguyên lý hoạt động cảm biến C4D phát vật thể kênh chất lỏng 22 2.4 Thiết lập hệ thống đo lường 25 CHƢƠNG 3: CẢM BIẾN TỤ PHẲNG VỚI VI KÊNH CHẤT LỎNG 27 3.1 Cơ sở lý thuyết 27 3.2 Nghiên cứu thiết kế cảm biến tụ phẳng 29 iv 3.3 Chế tạo cảm biến tụ phẳng vi điện cực 32 3.4 Thiết lập hệ thống đo lường 33 CHƢƠNG 4: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 37 4.1 Yêu cầu 37 4.2 Thiết kế mô cấu trúc phần mềm COMSOL 37 4.3 Kết mô với kênh chất lỏng không dẫn điện 38 4.4 Kết mô với kênh chất lỏng dẫn điện 40 4.5 Kết mô điện tụ phẳng 43 KẾT LUẬN 45 TÀI LIỆU THAM KHẢO 47 v DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ Hình 1.1 Các điện tích song song cách lớp điện mơi [13] Hình 1.2 Cảm biến khoảng cách ứng dụng thực tế, (a) Đếm số lượng hộp dây chuyền, (b) Phát lỗ “read only” đĩa mềm [23] Hình 1.3 Cảm biến vị trí với bánh mã hóa quang [23] 10 Hình 1.4 Cảm biến độ ẩm [49] 12 Hình 1.5 Một số loại cảm biến áp suất, (a) Loại duỗi thẳng, (b) Dạng xoắn [23] 13 Hình 2.1 Ví dụ C D thiết kế sử dụng chủ yếu để phát conductometric [34] 15 Hình 2.2 Thiết kế cấu trúc C4D đơn: (a) điện cực kích thích điện cực cảm biến; (b) Các mạch tương đương 16 Hình 2.3 Trường điện hình thành điện cực âm dương với độ dài rãnh khác (l1, l2 l3) [30] 18 Hình 2.4 Khả cảm biến phát đặc điểm khác mẫu [30]: (a) Mật độ cảm biến, (b) Khoảng cách cảm biến, (c) kết cấu cảm biến, (d) độ ẩm cảm biến 18 Hình 2.5 Một sơ đồ đơn giản cảm biến điện dung dựa theo LoC [8] 19 Hình 2.6 Sơ đồ khối thiết kế cảm biến DC D [19] 20 Hình 2.7 (a) Các DC D dựa cấu hình ba điện cực; (b) Các sơ đồ tương đương[19] 21 Hình 2.8 Sự thay đổi điện dung ngược với vị trí hạt bên cấu trúc C 4D đơn [19] 22 Hình 2.9 Mạch tương đương cảm biến thể lỏng DC D [19] 23 Hình 2.10 Độ dẫn nạp cấu trúc C D đơn hạt di chuyển bên điện cực [19] 25 Hình 2.11 Sự thay đổi điện dung trái ngược với vị trí hạt bên cấu trúc C 4D đơn[19] 26 Hình 3.1 Bản vẽ sơ đồ mạch mạch điện tương đương với: a) Cấu trúc C D thường; b,c,d) Cấu trúc C D vi sai [21] 27 Hình 3.2 Cấu trúc đề xuất: a) Cấu tạo tổng thể; b) Các lớp cảm biến với cấu trúc C D[21] 29 Hình 3.3 Mơ hình tụ đồng phẳng 30 Hình 3.4 Mơ tả cấu trúc chip cảm biến tụ phẳng: a) Mặt bên trên; b) Mặt cắt ngang; c) Kích thước vi điện cực vi kênh [21] 31 Hình 3.5 Quá trình chế tạo[21] 33 Hình 3.6 Thiết lập hệ thống đo lường thực nghiệm[21] 34 Hình 3.7 Chip cảm biến tụ phẳng với cấu trúc DC D [21] 35 Hình 3.8 Hình ảnh a) Bọt khí, b) Tế bào sống qua kênh dẫn [21] 35 Hình 4.1 Các thông số thiết lập phần mềm COMSOL 37 Hình 4.2 Cảm biến tụ phẳng với cấu trúc DC D xây dựng phần mềm COMSOL 38 vi Hình 4.3 Sự thay đổi điện dung cảm biến với ba vật liệu khác theo vị trí vật thể với đường kính 25 m 39 Hình 4.4 Điện dung vi sai đầu với thể tích vật thể 39 Hình 4.5 Điện dung vi sai theo kết đo mơ với phần mềm COMSOL 40 Hình 4.6 Sự thay đổi điện dung cảm biến với ba vật liệu khác theo vị trí vật thể với đường kính 25 m 41 Hình 4.7 Điện dung vi sai đầu với thể tích vật thể 41 Hình 4.8 Điện dung vi sai với vị trí hạt thiếc kênh nước muối dầu máy .42 Hình 4.9 Sự thay đổi điện dung tụ theo kích thước hạt Tin mơi trường nước muối dầu máy 42 Hình 4.10 Sự thay đổi điện có hạt Tin chạy qua kênh dẫn chất lỏng 43 Hình 4.11 Sự thay đổi điện có hạt SiO2 chạy qua kênh dẫn chất lỏng 43 LỜI MỞ ĐẦU Lý chọn đề tài Thế giới ngày phát triển công nghệ tiên tiến theo hướng thu nhỏ kích thước sản phẩm, dẫn đến phát triển nhanh chóng cơng nghệ gọi MEMS (Microelectromechanical Systems – Hệ thống vi điện tử) MEMS cơng nghệ tích hợp yếu tố khí, điện tử, cảm biến cấu chấp hành chất silicon sử dụng công nghệ chế tạo vi mô [22] Các trình kết việc kết hợp vi điện tử tiên tiến công nghệ mạch tích hợp Kích thước tính tích hợp linh kiện MEMS lợi lớn cơng nghệ Kích thước nhỏ thể ưu điểm sử dụng nguyên liệu lượng tiêu thụ thấp Kích thước nhỏ chúng cho phép xây dựng dãy hàng trăm hệ thống chip Bên cạnh đó, lợi bật MEMS yếu tố tài Chi phí cho đơn vị điều chỉnh xuống mức giá phải cách chế tạo hàng nghìn linh kiện phiến silicon Thiết bị MEMS nhanh chóng tiếp cận vào khía cạnh đời sống đại Trong tương lai, thiết bị trở nên ngày nhỏ hơn, xác nhanh hơn, công nghệ MEMS hỗ trợ phát triển công nghệ NEMS (Hệ thống Nano điện tử) MEMS tạo ngày nhiều lợi ích ứng dụng nhiều lĩnh vực sống Các cấu trúc vi mô ứng dụng hệ thống quang học, truyền thơng, thiết bị RF, phân tích, sinh học Trên thực tế, ứng dụng phổ biến MEMS chip vi cảm biến Chúng trở nên đa dạng ứng dụng tìm hầu hết khắp nơi sống thường ngày Sự phổ biến cảm biến chủ yếu từ ưu điểm mà chúng sở hữu Ngoài việc chúng có kích thước nhỏ, cảm biến MEMS tiêu thụ lượng có khả đo xác Nguyên lý hoạt động cảm biến MEMS khác tùy thuộc vào mục đích sử dụng Tất cảm biến đo lường thay đổi thiết bị MEMS thực nhiệm vụ với kết hợp phương pháp phát sau đây: khí, quang học, điện, từ trường, nhiệt hóa học Các cảm biến khác xây dựng chế khác nhau, chẳng hạn cấu trúc học dựa vi gắp cho vi thao tác vi cảm biến [11], từ trường dựa vòng hạt từ tính gắn vào việc phát hạt sinh học [35], khía cạnh quang học dựa vào chùm ánh sáng cho huỳnh quang gắn với việc phát hạt sinh học [7], điện trường dựa vào thao tác DEP điện trở gắn với việc phát điện dung [15, 31] Trong thiết bị khác tốn kém, có độ tiêu hao lượng cao di chuyển được, việc ứng dụng phương phám áp điện trở/điện dung việc phát hạt sinh học thu hút ý lớn nhiều ứng dụng môi trường sức khỏe Trong năm gần đây, cảm biến điện dung MEMS trở thành thành phần ứng dụng quan trọng Các nghiên cứu cảm biến điện dung thu nhiều kết đơn giản thiết kế chế tạo, dễ dàng để đo đạc không tốn Chúng bao gồm nhiều cảm biến có khả phát diện hạt, mô tế bào kênh dẫn chất lỏng Triển khai nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến tụ phẳng nội dung có ý nghĩa khoa học thực tiễn cao Chính luận văn “Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến tụ phẳng” trình bày làm rõ nguyên lý thiết kế, mô phỏng, cách thức chế tạo thiết lập hệ thống thực tế với cảm biến tụ phẳng Mục tiêu đề tài Đề tài luận văn “Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến tụ phẳng” có hai mục tiêu lý thuyết thực tiễn: 2.1 Về lý thuyết:  Nghiên cứu cảm biến với vi kênh chất lỏng: Sự phát hạt dòng chảy chất lỏng phát triển cho nhiều ứng dụng thực tế lĩnh vực khác nhau, chẳng hạn ngành dược, MEMS, sinh học, hóa học phân tích, phân tích thực phẩm, kiểm soát chất lượng nước đặc biệt y tế [32, 33, 37] Ví dụ, xuất bọt khí mạch máu bệnh nhân nguy hiểm, trường hợp khơng thể đốn trước việc tắc mạch máu não bệnh nhân dẫn đến đột tử Những bọt khí xuất máu thân ống ống lọc máu bọt khí tạo tiêm truyền tĩnh mạch thể bệnh nhân, việc phát bọt khí máu đường ống dẫn dịch thể việc cần thiết Một ví dụ điển hình để phát sớm bệnh ung thư đưa chẩn đốn phát tế bào khối u tuần hoàn (CTCs) máu CTCs tế bào ung thư lưu thông qua tĩnh mạch mao mạch Di kết tế bào khối u di chuyển từ vị trí khối u ban đầu đến quan khác thể, ảnh hưởng trực tiếp đến hầu hết trường hợp tử vong bị mắc bệnh ung thư Tỷ lệ phát CTCs tăng đáng kể thập kỷ qua Trong MEMS, xuất hạt vi kênh chất lỏng ảnh hưởng đáng kể đến phản ứng dòng chảy vận tốc dòng chảy, chất lượng tinh khiết dịch lỏng Nhiều phương pháp áp dụng để phát dòng chảy quang học, siêu âm, cảm biến điện dựa chế tiếp xúc khơng tiếp xúc Cảm biến vi kênh chất lỏng sử dụng tham số dẫn điện vật liệu kênh hình học dựa kỹ thuật tiếp xúc trực tiếp [16] Trong kỹ thuật này, 37 CHƢƠNG KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 4.1 Yêu cầu Xây dựng mơ hình cảm biến tụ phẳng với phần mềm chuyên dụng với thông số phù hợp với thiết kế đề xuất Từ đưa kết phân tích, so sánh để đánh giá khả phát vật thể cảm biến tụ phẳng đề xuất dựa cấu trúc C D vi sai 4.2 Thiết kế mô cấu trúc phần mềm COMSOL Để mô cấu trúc hoạt động cảm biến tụ phẳng, phần mềm mô chuyên dụng COMSOL (Comsol Inc.) sử dụng Phần mềm COMSOL biết đến phần mềm thiết kế, phân tích phần tử hữu hạn thơng dụng Nó sử dụng để mơ hình hóa mô hệ thống vật lý Cấu trúc cảm biến tụ phẳng xây dựng với phần mềm COMSOL Các thơng số tính chất vật lý, cấu trúc môi trường thiết lập phù hợp với thiết kế đề xuất Hình 4.1 Các thơng số thiết lập phần mềm COMSOL 38 Từ thông số ta xây dựng mơ hình cảm biến tụ phẳng với vi điện cực Hình 4.2 Trong mơ hình này, điện áp đặt vào điện cực điện cực kích thích Hai điện cực lại hai điện cực đầu Ba tụ tạo thành cấu trúc C D vi sai với vi điện cực Một vật thể di chuyển vi kênh chất lỏng chạy dọc theo điện cực tạo thay đổi điện dung tụ điện, điện áp đầu hai cực lại Từ phân tích số liệu đầu để đánh giá khả phát vật thể cấu trúc Hình 4.2 Cảm biến tụ phẳng với cấu trúc DC D xây dựng phần mềm COMSOL 4.3 Kết mô với kênh chất lỏng không dẫn điện Kết mô thể mối liên hệ chênh lệch điện dung hai tụ điện phẳng với vị trí vật thể vi kênh dẫn lỏng Hình 4.3 cho thấy chênh lệch -16 lớn vào khoảng x 10 F với trường hợp đường kính vật thể (hạt thiếc) vào khoảng 25 µm chuyển động kênh dẫn Trong chênh lệc vào khoảng 1.3 x10 -16 F 1.2 x 10 -16 F bọt khí hạt SiO2 Như thấy, điện dung tăng dần vật thể qua tụ điện vật thể dẫn Ngược lại, điện dung tụ giảm có vật thể khơng dẫn điện qua tụ Vì vậy, tính chất vật thể chạy qua kênh dẫn xác định phân tích dựa vào số liệu đầu 39 Hình 4.3 Sự thay đổi điện dung cảm biến với ba vật liệu khác theo vị trí vật thể với đường kính 25 m Trong Hình 4.4 thể thay đổi điện dung theo thể tích hạt ba trường hợp với hạt thiếc, bọt khí SiO2 Từ biểu đồ nhận xét tăng điện dung gần tuyến tính với thể tích hạt Ta thấy trường hợp thay đổi nhiều trường hợp hạt dẫn điện (hạt thiếc) Hình 4.4 Điện dung vi sai đầu với thể tích vật thể 40 Khi so sánh mô thực nghiệm ta thu kết hình 4.5 đây: Hình 4.5 Điện dung vi sai theo kết đo mô với phần mềm COMSOL Do chịu ảnh hưởng yếu tố từ môi trường dẫn tới khác biệt kết đo mô Trong thực tế, điện dung tụ phẳng chịu tác động cực lại cấu trúc vi sai, dẫn đến sự sai khác mô thực tế 4.4 Kết mô với kênh chất lỏng dẫn điện Với nhiều lĩnh vực khác nhau, chất lỏng kênh loại chất lỏng dẫn điện Cảm biến tụ phẳng cho khả phát vật thể kênh dẫn với loại chất lỏng Trong luận văn này, tìm hiểu khả phát hạt cảm biến tụ phẳng với kênh dẫn chất lỏng dẫn điện Trong mơ hình này, ta chọn kênh dẫn với chất lỏng dung dịch muối NaCl Ba loại hạt thiếc, bọt khí, SiO2 chuyển động kênh dẫn Ta nghiên cứu thay đổi điện dung tụ điện hạt di chuyển kênh dẫn 41 Hình 4.6 Sự thay đổi điện dung cảm biến với ba vật liệu khác theo vị trí vật thể với đường kính 25 m Hình 4.6 thể thay đổi điện dung loại hạt di chuyển kênh -16 dẫn chất lỏng dẫn điện Sự chênh lệch lớn vào khoảng x 10 F hạt -16 -16 thiếc, 1.4 x 10 F 1.25 x 10 F bọt khí hạt SiO Hình dạng đồ thị gần giống kênh dẫn chất lỏng khơng dẫn điện Từ cho thấy cảm biến phát tốt vật thể chất lỏng dẫn điện Hình 4.7 Điện dung vi sai đầu với thể tích vật thể 42 Khi so sánh độ thay đổi điện dung tụ với hai loại chất lỏng khác nhau, ta thu kết Hình 4.8 4.9 Hình 4.8 Điện dung vi sai với vị trí hạt thiếc kênh nước muối dầu máy Hình 4.9 Sự thay đổi điện dung tụ theo kích thước hạt Tin môi trường nước muối dầu máy 43 Từ kết cho thấy cấu trúc với kênh dẫn điện cho thay đổi điện dung lớn so với kênh dẫn không dẫn điện Nó cho thấy phát hạt nhạy cho thay đổi điện dung lớn Điều cho thấy cảm biến tụ phẳng phát tốt hạt chất lỏng dẫn điện 4.5 Kết mơ điện tụ phẳng Hình 4.10 4.11 biểu diễn cấu hình điện vi kênh chất lỏng Mô dùng hai loại hạt SiO2 thiếc với vị trí kênh dẫn chất lỏng Hình 4.10 Sự thay đổi điện có hạt Tin chạy qua kênh dẫn chất lỏng Hình 4.11 Sự thay đổi điện có hạt SiO2 chạy qua kênh dẫn chất lỏng 44 Khi SiO2 qua kênh dẫn, thấy điện trường phân bố khơng đều, với hạt thiếc, điện trường tụ điện trường Và hình 4.10 4.11 cho thấy thay đổi điện dung hạt dẫn điện lúc cao trường hợp với hạt khơng dẫn điện với vị trí xác định 45 KẾT LUẬN Trong thời gian tìm hiểu nghiên cứu giúp đỡ tận tình thầy hướng dẫn PGS.TS Chử Đức Trình, đến tồn nội dung luận văn hoàn thành đáp ứng đầy đủ yêu cầu đặt Quá trình thực đề tài thực khoảng thời gian vơ q báu hữu ích cho em nghiên cứu, tìm hiểu vi điện tử vi hệ thống, khó khăn triển khai ứng dụng lý thuyết vào thực tế Hơn nữa, hành trang kiến thức quý giá cho em công tác thực tiễn sau Qua trình tìm hiểu thực đề tài, em thu kết sau: Nghiên cứu việc thiết kế cấu trúc vi cảm biến tụ phẳng dựa cấu trúc C D vi sai Cấu trúc đề xuất phát vật thể có kích thước mức micro Với thiết kế kênh dẫn độ rộng 30 µm, cảm biến tụ phẳng có khả phát vật thể nhỏ mức tế bào dựa vào việc đánh giá thay đổi điện dung, điện áp đầu theo vị trí vật thể kênh, kích thước vật thể Cấu trúc đề xuất gồm vi điện cực nằm ngang mặt phẳng với kênh dẫn chất lỏng với kích thước micro Như vậy, thiết kế coi cấu thành hai tụ phẳng đơn Một điện áp đặt vào cực tạo thành cấu trúc vi sai Cấu trúc đưa thay đổi lớn điện dung giúp cho việc phát vật thể nhạy hơn, nhận thấy vật thể khác kênh dẫn (vật thể vật liệu dẫn điện khơng dẫn điện) Luận văn trình bày phương pháp chế tạo mô cảm biến tụ phẳng dựa cấu trúc C D vi sai Từ kết mô phỏng, cảm biến cho khả phát vật thể với kích thước nhỏ (cỡ micro) với kênh dẫn độ rộng 30 µm Cảm biến nhận vật thể có tính chất vật lý khác (chất liệu dẫn điện không dẫn điện), môi trường chât lỏng khác (dẫn điện không dẫn điện) Trong thực tế, cảm biến DC D đề xuất sử dụng để phát hạt lạ, bọt khí dòng chảy chất lỏng kích thước cỡ micro tế bào thiết bị hệ thống y tế Từ việc nghiên cứu, thiết kế chế tạo cảm biến tụ phẳng với vi điện cực Trong tương lai, cảm biến thể lỏng DC D tiếp tục nghiên cứu sử dụng để phát dòng chảy hai pha ngành cơng nghiệp dầu khí, hạt phát kênh chất lỏng tế bào sống ứng dụng y sinh học 46 Một lần em xin trân thành cảm ơn PGS.TS Chử Đức Trình Thầy môn Vi điện tử Vi hệ thống, Trường Đại học Công nghệ giúp đỡ em trình thực đề tài 47 TÀI LIỆU THAM KHẢO Andreas J Zemann, Erhard Schnell, Dietmar Volgger, and Gunther K Bonn (1998), “Contactless Conductivity Detection for Capillary Electrophoresis,” Anal Chem Li, H., et al., Fabrication of polystyrene microfluidic devices using a pulsed CO2 laser system Microsystem Technologies, 2011 18(3): p 373-379 Brito-Neto J.G.A., da Silva J.A.F., Blanes L, Lago C.L (2005), “Understanding capacitively coupled contactless conductivity detection in capillary and microchip electrophotrsis Part Peak shape, stray capacitance, noise, and actual electronics,” Electroanalysis, 17, pp 1207-1214 Carlo S Effenhauser* , G.J.M.B., Aran Paulus, and Markus Ehrat, Integrated Capillary Electrophoresis on Flexible Silicone Microdevices: Analysis of DNA Restriction Fragments and Detection of Single DNA Molecules on Microchips Anal Chem , 1997(69): p 3451 -3457 Chen R S., Cheng H., Wu W Z., Ai X O., Huang W H., Wang Z L and Cheng J K (2007), “Analysis of inorganic and small organic ions by capillary electrophoresis with amperometric detection,” Electrophoresis, 28 (19), pp 33473361 Demori, Marco, Vittorio Ferrari, Domenico Strazza, and Pietro Poesio, A capacitive sensor system for the analysis of two-phase flows of oil and conductive water Sensors and Actuators A: Physical, 2010 163(1): p 172-179 Dienerowitz M., Mazilu M., and Dholakia K (2008), “Optical manipulation of nanoparticles: a review,” J Nanophotonics, vol 2, no 1, pp 021875–021875–32 Ebrahim G.Z., and Mohamad S (2010), CMOS Capacitive Sensors for Lab-onChip Applications, Springer Science+Business Media B.V Eren H., and Kong W L (1999), Capacitive sensors-displacement, In J G Webster (Ed.), The measurement, instrumentation, and sensors handbook, Boca Raton: CRC Press 10 Hai, N.D., et al., Differential C D sensor for conductive and non-conductive fluidic channel Microsystem Technologies, 2015 11 Fuchiwaki O., Ito A., Misaki D., and Aoyama H (2008), “Multi-axial micromanipulation organized by versatile micro robots and micro tweezers,” in IEEE International Conference on Robotics and Automation, pp 893–898 12 Gas B, Zuska J, Coufal P, van de Goor T (2002), “Optimization of the highfrequency contactless conductivity detector for capillary electrophoresis,” Electrophoresis, 23, pp 3520-7 13 Glisson T.H (2011), Introduction to Circuit Analysis and Design, Springer Science Business Media 14 Gründler P (2007), Conductivity sensors and capacitive sensors, In Chemical sensors: An introduction for scientists and engineers, Berlin: Springer 48 15 Huang Y., Ewalt K L., Tirado M., Haigis R., Forster A., Ackley D., Heller M J., O’Connel J P., and Krihak M (2001), “Electric Manipulation of Bioparticles and Macromolecules on Microfabricated Electrodes,” Anal Chem., vol 73, no 7, pp 1549–1559 16 Hauri, Hans-Peter (2008), Applications of Capillary Electrophoresis with Contactless Conductivity Detection Review 17 Huang, Zhiyao, Jun Long, Wenbo Xu, Haifeng Ji, Baoliang Wang, and Haiqing Li (2012), “Design of capacitively coupled contactless conductivity detection sensor,” Flow Measurement and Instrumentation, 27: p 67-70 18 Huck C., A Poghossian, M Bäcker, S Chaudhuri, W Zander, J Schubert, V K Begoyan, V V Buniatyan, P Wagner, and M J Schöning (2014), “Capacitively coupled electrolyte-conductivity sensor based on high-k material of barium strontium titanate,” Sensors and Actuators B: Chemical, 198, pp 102-109 19 Nguyen Ngoc Viet (2015), “Fluidic channel detection system using a differential C D structure”, Master thesis of Electronics and Telecomunication Technology 20 Jaworek A., Krupa A., and Trela M (2004), “Capacitance sensor for void fraction measurement in water/steam flows,” Flow Measurement and Instrumentation, 15(5-6), pp 317-324 21 Q.L Do, T.T Bui, T.T.H Tran, K Kikuchi, M Aoyagi, T Chu Duc , “Fluidic Platform with Embedded Differential Capacitively Coupled Contactless Conductivity Detector for Micro-Object Sensing”, IJNT (2015) (Accepted) 22 Judy J W (2001), Microelectromechanical Systems (MEMS): Fabrication, Design and Applications, Smart Materials and Structures, Vol 10 23 Kilian C T (2000), Sensors, In Modern control technology: Components and systems, Novato: Delmar Thomson Learning 24 Kuban Pavel C., Hauser Peter (2004), “Fundamental aspects of contactless conductivity detection for capillary electrophoresis, part I: frequency behavior and cell geometry,” Electrophoresis, 25, pp 3387-97 25 Kuban P.C., Hauser P (2004), “Fundamental aspects of contactless conductivity detection for capillary electrophoresis, part II: signal-tonoise ratio and stray capacitance,” Electrophoresis, 25, pp 3398- 405 26 Kuban Pavel and Hauser Peter C (2008), “A review of the recent achievements in capacitively coupled contactless conductivity detection,” Anal Chim Acta, 607(1), pp 15-29 27 Kuban Pavel C., Hauser Peter (2011), “Capacitively coupled contactless conductivity detection for micro separation techniques – Recent devalopment,” Electrophoresis, 32, pp 30-42 28 Lei Wang, Zhiyao Huang, Baoliang Wang, Haifeng Ji, and Haiqing Li (2012), “Flow Pattern Identification of Gas–Liquid Two-Phase Flow Based on 49 Capacitively Coupled Contactless Conductivity Detection,” IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, pp 1466- 1474 29 Liu, Junshan, Liangkun An, Zheng Xu, Ning Wang, Xiaochong Yan, Liqun Du, Chong Liu, and Liding Wang (2013), “Modeling of capacitively coupled contactless conductivity detection on microfluidic chips,” Microsystem Technologies, 19(12), pp 1991 -1996 30 Mamishev A.V., Sundara-Rajan K., Yang F., Du Y.Q., Zahn M (2004), “Interdigital sensors and transducers,” Proc IEEE 92, pp.808–845 31 Moon H.-S., Nam Y.-W., Park J C., and Jung H.-I (2009), “Dielectrophoretic Separation of Airborne Microbes and Dust Particles Using a Microfluidic Channel for Real-Time Bioaerosol Monitoring,” Environ Sci Technol., vol 43, no 15, pp 5857–5863 32 Muth, Claus M and Erik S Shank (2000), Gas Embolism, New England Journal of Medicine, 342(7), pp 476-482 33 Nguyen Dac H., Vu Quoc T., Do Quang L., Nguyen Hoang H., Chu Duc T (2015), “Differential C D Sensor for Conductive and Non-conductive Fluidic Channel”, Microsystem Technologies J., pp 1-10 34 Opekar Frantisek, Tuma Petr, and Stulik Karel (2013), “Contactless impedance sensors and their application to flow measurements,” Sensors (Basel), 13(3), pp 2786-2801 35 Paleček E and Fojta M (2007), “Magnetic beads as versatile tools for electrochemical DNA and protein biosensing,” Talanta, vol 74, no 3, pp 276– 290 36 Pallás-Areny R., and Webster J G (2001), Sensors and signal conditioning, New York: Wiley 37 Q L Do, T H Bui, T.T.H Tran, K Kikuchi, M Aoyagi, T Chu Duc (2015), “Differential Capacitively Coupled Contactless Conductivity Detection (DC D) Sensor for Detection of Object in Microfluidic Channel”, In: proceeding of IEEE Conference on sensors, Busan, South Korea, pp 1546-1549 38 Ripka P., & Tipek A (2007), Level position and distance, In Modern sensors handbook, Newport Beach: ISTE USA 39 Robbins A., & Miller W (2000), Circuit analysis: Theory and practice, Albany: Delmar 40 Shih C-Y., Li W., Zheng S.Y., Tai Y.C (2006), “A resonance-induced resolution enhancement method for conductivity sensor,” In: proceeding of 5th IEEE Conference on sensors, EXCO, pp 271-4 41 Solinova V., Kasicka V (2006), “Recent applications of conductivity detection in capillary and chip electrophoresis,” J Sep Sci, 29, pp 1743-1762 50 42 Strazza, Domenico, Marco Demori, Vittorio Ferrari, and Pietro Poesio (2011), “Capacitance sensor for hold-up measurement in high-viscousoil/conductive-water core-annular flows,” Flow Measurement and Instrumentation, 22(5), pp 360-369 43 Terzic E et al (2012), Capacitive sensing Technology, A Neural Network Approach to Fluid Quantity Measurement in Dynamic Environments, SpringerVerlag London 44 Vu Quoc T., Nguyen Dac H., Pham Quoc T., Nguyen Dinh D., Chu Duc T (2015), “A printed circuit board capacitive sensor for air bubble inside fluidic flow detection,” Microsyst Technol, 21, pp 911–918 45 Wang, Baoliang, Ying Zhou, Haifeng Ji, Zhiyao Huang, and Haiqing Li (2013), “Measurement of bubble velocity using Capacitively Coupled Contactless Conductivity Detection (C D) technique,” Particuology, 11(2), pp 198-203 46 Zemann A.J., Schnell E., Volgger D., Bonn G.K (1998), “Contactless conductivity detection for capillary electrophoresis,” Anal Chem 47 Zhang Zhenli, Li Dong Dong, Liu Xueyong, Subhani Qamar, Zhu Yan, Kang Qi, and Shen Dazong (2012), “Determination of anions using monolithic capillary column ion chromatography with end-to-end differential contactless conductometric detectors under resonance approach,” Analyst, 137(12), pp 287683 48 Zhenli Zhang, Yaolong Li, Zhongshi Xu, Xilei Zhu, Qi Kang, Dazhong Shen (2013), “Determination of Equivalent Circuit paramerters of a Contactless Conductive Detector in Capillary Electrophoresis by an Imperdance Analysis Method”, Electromechanical science 49 Chia-Yen Lee and Gwo-Bin Lee, Humidity Sensors: A Review, Sensor Lett Vol 3, No 1, 2005 50 Liu, J., et al., Modeling of capacitively coupled contactless conductivity detection on microfluidic chips Microsystem Technologies, 2013 19(12): p 1991-1996 51 Q.L Do, T.T.B., T.T.H Tran, K Kikuchi, M Aoyagi, T Chu Duc, Differential Capacitively Coupled Contactless Conductivity Detection (DC D) Sensor for Detection of Object in Microfluidic Channel IEEE Sensor 2015 Conference, 2015 52 Georg Fercher, A.H., Walter Smetana, Michael J Vellekoop, End-to-End Differential Contactless Conductivity Sensor for Microchip Capillary Electrophoresis Anal Chem, 2010(82): p 3270–3275 53 Chen, J.Z., et al., Capacitive sensing of droplets for microfluidic devices based on thermocapillary actuation Lab Chip, 2004 4(5): p 473-80 54 Elbuken, C., et al., Detection of microdroplet size and speed using capacitive sensors Sensors and Actuators A: Physical, 2011 171(2): p 55-62 55 Du, L., et al., A method of water pretreatment to improve the thermal bonding rate of PMMA microfluidic chip Microsystem Technologies, 2012 18(4): p 423-428 51 56 Liu, J., et al., Plasma assisted thermal bonding for PMMA microfluidic chips with integrated metal microelectrodes Sensors and Actuators B: Chemical, 2009 141(2): p 646-651 ... kế chế tạo cảm biến tụ phẳng trình bày làm rõ nguyên lý thiết kế, mô phỏng, cách thức chế tạo thiết lập hệ thống thực tế với cảm biến tụ phẳng Mục tiêu đề tài Đề tài luận văn Nghiên cứu thiết. .. hội để thiết kế chế tạo loại cảm biến điện dung phẳng (a) (b) (c) (d) Hình 2.4 Khả cảm biến phát đặc điểm khác mẫu [30]: (a) Mật độ cảm biến, (b) Khoảng cách cảm biến, (c) kết cấu cảm biến, (d)... cảm biến có khả phát diện hạt, mô tế bào kênh dẫn chất lỏng Triển khai nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến tụ phẳng nội dung có ý nghĩa khoa học thực tiễn cao Chính luận văn Nghiên cứu thiết kế