Cảm biến là thiết bị nhận tín hiệu hoặc sự kích thích từ đối tượng và chuyển thành tín hiệu điện • Tính chất quan trọng của vật liệu cảm biến bán dẫn, đó là sự thay đổi tính chất điện khi tiếp xúc với khí cần dùng
ỨNG DỤNG CỦA MÀNG HÓA LÀM DỤNG CỤ CẢM BIẾN KHÍ HV: VŨ THU HIỀN ĐỊNH NGHĨA • Cảm biến thiết bị nhận tín hiệu kích thích từ đối tượng chuyển thành tín hiệu điện • Tính chất quan trọng vật liệu cảm biến bán dẫn, thay đổi tính chất điện tiếp xúc với khí cần dùng Input Signal Output Signal Sensor CẤU TẠO • Bao gồm màng oxit bán dẫn phủ đế chịu nhiệt thủy tinh kim loại, hai điện cực để thu nhận tín hiệu thay đổi điện trở khí tiếp xúc với màng oxit bán dẫn NGUYÊN TẮC HOẠT ĐỘNG (cơ chế dò khí bề mặt) • Hấp phụ khuếch tán phân tử khí bề mặt oxit bán dẫn • Phản ứng phân tử khí dò phân tử bị hấp phụ hóa học bề mặt cảm biến Sự hấp phụ dẫn đến việc hình thành vùng nghèo điện tích gần bề mặt làm tăng khả dò khí cảm biến MỘT SỐ ĐẶC TRƯNG CƠ BẢN CỦA CẢM BIẾN • Độ nhạy • Tính lọc lựa khí • Thời gian đáp ứng/thời gian hồi phục ĐỘ NHẠY • Độ nhạy tỉ lệ điện trở mẫu đo không khí với điện trở môi trường có khí Ra Rg • Đối với khí khử Ra Rg : S Ra • Đối với khí oxi hóa Ra Rg: Ra : điện trở cảm biến khí dò Rg : điện trở cảm biến có khí dò S Rg Ra Ra