LOGO MÀNG TỪ Học viên: Phạm Thị Xuân Hạnh LOGO LOGO Nội dung Định nghĩa Sơ đồ bố trí phận thiết bị phún xạ Cơ chế thực trình phún xạ Đặc điểm hạt nguyên tử bia LOGO Định nghĩa Màng từ lớp kim loại, hợp kim, oxit đa đơn tinh thể mỏng (0,01 - 10 μm) có tính chất từ Màng từ tạo cách: bốc bay chân không; phún xạ catôt; lắng đọng điện phân kim loại đế; phản ứng hoá học (đối với oxit) LOGO Sơ đồ bố trí Khí vào Bia Nguồn điện Phiến bán dẫn Đế Bơm chân không LOGO Cơ chế Dòng khí (Ar) bơm vào buồng chân không Dưới tác dụng điện trường, nguyên tử khí Ar bị iôn hóa Điện tử tăng tốc nhờ điện trường chuyển động tới anode, chúng tiếp tục gây iôn hóa nguyên tử Ar Các ion Ar tăng tốc điện trường chuyển động tới catode, va chạm với vật liệu bia, truyền động làm bắn hạt vật liệu bia điện tử thứ cấp Các hạt vật liệu bia bị phún xạ đưa tới bề mặt phiến đế lắng đọng tạo màng mỏng đó, điện tử thứ cấp tới anode góp phần tăng cường trình ion hóa nguyên tử Ar Lớp phủ màng Nguyên tử phún xạ từ bia Đường cảm ứng từ Nam châm Ar -> Ar+ + e- LOGO Cơ chế Các nguyên tử tập hợp lại thành cụm đế Khi cụm đủ lớn liên kết lại hình thành màng (gồm số lớp nguyên tử) Từ lớp ban đầu màng tiếp tục phát triển, ko phải phát triển đồng cho bề mặt, mà phát triển theo hướng có lượng tự thấp Hình thái màng mỏng khác tuỳ thuộc: nhiệt độ đế, lượng (hay áp suất) ion Ar