Tìm hiểu về cảm biến áp suất và ứng dụng

MỤC LỤC Tên tiếng anh pressure sensor thiết bị đo áp suất, biến đổi đại lượng áp suất thành đại lượng điện Cảm biến áp suất ứng dụng nhiều lĩnh vực công nghiệp, thiết bị liên quan tới thủy lực, nhiệt, hạt nhân, cần phải đo theo dõi áp suất liên tục, áp suất vượt giới hạn ngưỡng làm hỏng bình chứa đường ống dẫn, chí gây nổ làm thiệt hại đến sở vật chất tính mạng người Nó sử dụng xe ô tô (cảm biến lốp xe ), tàu thủy, máy móc ngành xây dựng Các cảm biến áp suất sử dụng nhà máy đo, xác định áp suất khí nén, nước, dầu nhờn chất lỏng khác để cung cấp thông tin cho hệ thống điều khiển tự động giám sát Thực tế nhu cầu đo áp suất đa dạng đòi hỏi cảm biến áp suất phải đáp ứng cách tốt cho trường hợp cụ thể Chính cảm biến áp suất đa dạng Nguyên nhân dẫn đến đa dạng độ lớn áp suất cần đo nằm dải giá trị rộng II KHÁI NIỆM ÁP SUẤT VÀ ĐƠN VỊ ĐO 2.1 Khái niệm áp suất Nếu cho chất lỏng khí ( gọi chung chất lưu ) vào bình chứa gây lên lực tác dụng lên thành bình gọi áp suất Áp suất phụ thuộc vào chất chất lưu, thể tích chất lưu chiếm bình, nhiệt độ Áp suất ( p ) có giá trị lực (dF) tác dụng vuông góc lên đơn vị diện tích (dS) bền mặt chứa: P= Các chất lưu chịu tác động trọng lực, trường hợp cột chất lưu chứa ống hở đặt thẳng đứng, áp suất điểm M cách bề mặt tự khoảng h áp suất khí cộng với trọng lượng cột chất lưu có chiều cao h tác dụng lên đơn vị diện tích bề mặt p= Trong đó: - khối lượng riêng chất lưu - gia tốc trọng trường điểm đo áp suất Giá trị áp suất chia thành loại sau: - Áp suất tuyệt đối (absolute pressure) : đo so với chân không tuyệt đối, hoàn toàn bỏ qua ảnh hưởng áp suất khí Phương pháp đo sử dụng chủ yếu để nghiên cứu thiết kế, có số ứng dụng mà giá trị đo tuyệt đối lại có ích đặt điều kiện cụ thể trình Bởi thực tế khó hút chân không tuyệt đối bên vỏ cảm biến, cảm biến thường điều chỉnh giá trị đo thiết bị đo cách sử dụng hệ số sửa cố định đơn vị phức tạp sử dụng - áp suất khí áp đo Áp suất calip (gage pressure) : dạng áp suất vi sai, áp suất khu vực đường ống so với áp suất khí Loại áp dụng phổ biến - Áp suất vi sai (differential pressure): áp suất khu vực đường ống khí so với áp suất khác Giá trị đo chênh lệch giũa hai áp suất không tính đến áp suất hai bên so với áp suất 2.2 khí chân không Đơn vị đo Trong hệ SI đơn vị áp suất Pascal ( Pa ) Newton mét vuông Đặt theo tên Blaise Pascal nhà toán lý học triết học người Pháp Pa = N/ Các đơn vị đo áp suất khác thường sử dụng bảng sau: Bảng chuyển đổi đơn vị đo áp suất Đơn vị Pascal đo áp (Pa) suất Pa bar at Bar (bar) Atmosphe kỹ thuật (at) Atmosp he (atm) Torr (torr ) Cm cột nước (gam/ 1,0197 1,0197 9,8692 0,9869 1,02 1020 0,980665 1(kg/ 0,9678 1000 14,223 1,333 1,3595 1,3158 7,5 750,0 735,5 Pound inch vuông (psi) 145,04 14,504 136 19,337 0,980665 1,0332 760 1033 14,696 70,307 9,68 68,046 0,735 51,71 7032, 65 14,2 1(N/ 98066 ,5 Torr 133,3 22 1atm 10132 1gam/ 98 psi 68947 98 68,948 Hai đơn vị đo áp suất phổ biến “psi” “bar” Cả psi bar sử dụng hậu tố “a”, “g” “d” để áp suất tuyệt đối (absolute pressure), áp suất calip (gage pressure) áp suất vi sai (differential pressure) Khi không sử dụng hậu tố ngườit a giả định áp suất calip Đơn vị psi chủ yếu sử dụng Mỹ Canada, đặc biệt xe ô tô Đơn vị đo thứ hai theo hệ mét ngày trở nên phổ biến “bar” thay “pascal” “kilopascal” số dùng thuận tiện Các đơn vị đo khác sử dụng cho ứng dụng đặc biệt Áp suất khí thường đo đơn vị kilopascal (kPa), atmosphe(atm) Mỹ người ta lại sử dụng hectopascal (hPa) millibar(mbar) làm đơn vị đo áp suất khí III ĐO ÁP SUẤT TĨNH VÀ ÁP SUẤT ĐỘNG 3.1 Đo áp suất tĩnh Áp suất tĩnh áp suất chất lưu không chuyển động, đo áp suất tĩnh đo lực F tác dụng lên diện tích s vị trí cần đo Có ba phương pháp đo sau: - Đo áp suất lấy qua lỗ tròn nhỏ khoan thành bình nhờ cảm biến, áp suất tác dụng lực F lên cảm biến, - cảm biến đo F từ suy p Đo trực tiếp biến dạng thành bình áp suất gây lên, trường hợp người ta gắn vào thành bình cảm biến đo ứng suất biến dạng thành bình, biến dạng - hàm áp suất Đo cảm biến áp suất có phần tử biến dạng màng, ống trụ, capsule để lực F tác dụng làm phần tử biến dạng, có cấu để chuyển biến dạng thành tín hiệu điện chứa thông tin áp suất 3.2 Đo áp suất động Áp suất động lực tác động lên mặt phẳng vuông góc với dòng chảy, có chiều trùng với chiều dòng chảy Khi đo chất lưu chuyển động ta phải tính đến ba dạng áp suất tồn là: - Áp suất động pđ chuyển động với vận tốc v chất lưu Áp suất tĩnh pt Áp suất tổng p tổng hai áp suất Khi đó: p = p đ + pt pđ = Việc đo áp suất động người ta sử dụng chủ yếu ống Pitot, để đo áp suất dòng chảy hay áp suất không khí máy bay nhờ hình Hình Đo áp suất động ống Pitot Hình a ống pitot loại hai áp suất áp suất tổng p (áp suất tác dụng lên mặt phẳng vuông góc với dòng chảy) áp suất tĩnh pt tác động với làm cho cột nước bên ống cao bên lại khoảng h Từ khoảng cao ta xác định áp suất động Hình b ống pitot sử dụng máy bay, máy bay trở khách thường có ống, máy bay chiến đấu thường dùng ống Nguyên lý đo nhờ hình a ta sử dụng cảm biến để đo áp suất P1 P2 Hình c cảm biến đo áp suất tổng đưa tín hiệu V1, cảm biến đo áp suất tĩnh đưa tín hiệu V2 đó: V – V2 = Vđ từ xác đinh áp suất tổng pđ IV MỘT SỐ DỤNG CỤ ĐO ÁP SUẤT CƠ BẢN 4.1 Đồng hồ đo áp suất Cấu tạo hình b gồm chi tiết ống Bourdon làm đồng kim loại nhẹ, hệ thống chuyền động kim thị Khi có áp suất tác động vào ống bourdon, ống biến dạng tác động đến cấu chuyền động, cấu đẩy kim xê dịch giúp hiển thị áp suất đưa vào Đồng hồ đo thường sử dụng bồn chứa, bình chứa gắn trực tiếp vào bình chứa thông qua lỗ tròn nhỏ bình để đưa áp suất vào đồng hồ, loại giúp thị giá trị áp suất để theo dõi Hình Đồng hồ đo áp suất Hình 2a loại đồng hồ đo áp suất thị trường, để đạt độ xác cao người ta nắp thêm chống rung chống sốc 4.2 Áp kế vi sai kiểu phao Áp kế vi sai kiểu phao gồm hai bình thông nhau, bình lớn có tiết diện F bình nhỏ có tiết diện f, hệ thống van phao, cấu thị hình Hình Áp kế vi sai kiểu phao 1) Bình lớn 2) Bình nhỏ 3) Phao 4) Kim thị 5, 6, 7) Van Chất lỏng bình thủy ngân dầu biến áp Đưa áp suất lớn (p1) đưa vào bình lớn, áp suất bé (p2) đưa vào bình nhỏ, lúc áp suất lớn đẩy chất lỏng bình lớn sang bình bé làm phao dịch xuống đoạn h1, chất lỏng bình bé dâng lên đoan h2 Khi phao dịch xuống đẩy kim dịch chuyển số kim ứng với áp suất vi sai cần đo Phương trình cân áp suất: p – p2 = g(ρm – ρ)(h1 + h2) Trong – g gia tốc trọng trường – ρm trọng lượng riêng chất lỏng làm việc – ρ trọng lượng riêng chất khí cần đo Phương trình cân thể tích : F.h1 = f.h2 Suy : h1 = ( p1 – p2 ) Áp kế vi sai dùng để đo áp suất 25MPa Khi ta hay đổi tỉ số (thay đổi bình nhỏ) ta thay đổi phạm vi đo 4.3 Áp kế vi sai kiểu chuông Cấu tạo gồm chuông có gắn kim thị nhúng bình hình Hình Cấu tạo áp kế vi sai kiểu chuông ) Chuông 2) Bình chứa 3) Cơ cấu thị Hình 4a p1 = p2 chuông vị trí đứng yên Hình 4b p1 > p2 áp suất p1 đẩy chuông lên đoạn dH làm kim dịch lên giá trị áp suất vi sai Độ dịch chuyển chuông: H = (p1 – p2) Trong đó: f tiết diện chuông ∆f diện tích tiết diện thành chuông Áp kế vi sai có độ xác cao, đo áp suất thấp áp suất chân không V PHÂN LOẠI, CẤU TẠO, NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG, PHẠM VI ỨNG DỤNG CÁC LOẠI CẢM BIẾN ÁP SUẤT TRONG THỰC TẾ 5.1 Cấu tạo cảm biến áp suất Cảm biến áp suất thị trường có nhiều chủng loại, tên gọi nhiều cách phân loại khác nhìn chung cấu tạo từ phần là: - Phần tử biến dạng (Elements) thành phần nhận - trực tiếp tác động áp suất Bộ phận biến đổi (Transducers) biến đổi tác động từ phần tử biến dạng thành tín hiệu điện Tùy vào phương pháp biến đổi tín hiệu phận biến đổi mà ta chia cảm biến áp suất thành loại là: - 5.2 Chuyển Chuyển Chuyển Chuyển đổi đổi đổi đổi biến thiên trở kháng kiểu điện dung kiểu điện cảm kiểu áp điện Các phần tử biến dạng Phần tử biến dạng cấu tạo từ vật liệu nhạy cảm với áp suất đồng, thép hay hợp kim nhẹ Khi áp suất tác dụng nên biến dạng tác động đến thành phần biến đổi cảm biến Phần tử đa dạng màng, dạng ống hình - Hình Các phần tử biến dạng Dạng màng (diaphragm) Có hình dạng hình 5a màng phẳng 5b màng uốn nếp, màng chia làm hai loại tùy theo vật liệu cấu tạo: - Màng dẻo chế tạo từ vài cao su Màng đàn hổi chế tạo từ thép tròn phẳng uốn nếp Độ dịch chuyển màng hàm phi tuyển áp suất (độ phi tuyến màng phẳng lớn màng uốn nếp ), độ phi tuyến tăng tăng Phạm vi đo: phụ thuộc hình dáng (màng uốn nếp có dải đo rộng màng phẳng) loại màng (màng đàn hổi đo áp suất lớn, màng dẻo đo áp suất nhỏ) - Capsule Trên hình 5c Capsule cấu tạo dạng màng nhăn hai phía giúp tăng độ tuyến tính hẳn so với dạng màng (diaphragm) 10 + Nhiều lựa chọn cấu hình CPU, RAM, Lan, COM Ports, HDD Ports Hình 23 Máy tính công nghiệp 6.2 Nguyên lý làm việc hệ thống Thông tin áp suất cảm biến đưa CPU PLC thông qua modul mở rộng, PLC kết nối với máy tính cài WinCC lúc thông tin áp suất thị hình LCD để người vận hành giám sát điều khiển hệ thống thông qua WinCC Khi áp suất thực tế bị sai lệch so với áp suất đặt lập trình PLC PLC điều khiển đóng mở van để đạt áp suất yêu cầu Ví dụ áp suất đường ống ta đặt mức áp suất cao 2kPa áp suất đường ống cao 2kPa PLC điều khiển van đóng lại để giảm áp suất, áp suất giảm xuống 2kPa PLC đưa tín hiệu điều khiển mở van WinCC chất phần mềm phát triển ứng dụng giám sát điều khiển thời gian thực Vì hệ thông vận hành xảy cố cần điều khiển thiết bị ta sử dụng Chỉ cần thao tác dao diện WinCC máy tính chuyển thông tin đến PLC để PLC điều khiển thiết bị VII MỘT VÀI CẢM BIẾN ÁP SUẤT 7.1 Cảm biến áp suất dùng máy công cụ Ngành khí ngành công nghiệp toàn cầu liên quan đến ứng dụng phức tạp Điều đòi hỏi linh hoạt, chất lượng, độ tin cậy cao Với nhiều ứng dụng , có nhiều phạm vi khác nhau,với độ xác thích hợp, kết nối điện khí phù hợp tín hiệu đầu thống với yêu cầu từ khách hàng 32 Các giải pháp riêng biệt lĩnh vực: - Thủy lực - Khí nén - Giám sát trình quy trình kỹ thuật - Hệ thống kiểm soát - Công cụ xây dựng / ép / máy ép phun - Cung cấp phân phối điện Các loại cảm biến phù hợp công nghiệp khí: Cảm biến áp suất DM10 Thang đo: 0…1.6 bar lên đến 250 bar Tín hiệu ra: Có hình hiển thị áp suất Nguồn vào: dùng pin CR2450 thời gian hoạt động 1800h Sai số: ± 0.5% FSO Vật liệu cấu tạo: thép chống ăn mòn 1.4301 (304) Nhiệt độ môi trường làm việc: -25 đến 85 độ C 33 Cảm biến áp suất DS 201P Thang đo: 0…60 bar lên đến 400 bar Tín hiệu ra: Có hình hiển thị áp suất 4…20mA 0…10V Sai số: ± 0.5% FSO Vật liệu cấu tạo: thép chống ăn mòn 1.4404 (316L) Nhiệt độ môi trường làm việc: -25 đến 85 độ C Chất lỏng trung gian: Dầu silicon dầu thực phẩm Cảm biến áp suất DS 400 Thang đo: 0…100 mbar lên đến 600 bar Tín hiệu ra: Có hình hiển thị áp suất 4…20mA 0…10V Sai số: ± 0.5% FSO Vật liệu cấu tạo: thép chống ăn mòn 1.4404 (316L) 34 Nhiệt độ môi trường làm việc: -25 đến 85 độ C 7.2 Cảm biến áp suất không khí Áp suất không khí ảnh hưởng đến hiệu suất động tu bin khí tàu thủy Áp suất không khí thay đổi kéo theo thay đổi thời tiết dựa vào áp suất, độ ẩm nhiệt độ người ta dự đoán thời tiết, dự báo mưa, áp thấp nhiệt đới, gió, bão Áp suất không khí ảnh hưởng đến sức khỏe người như: tai biến mạch máu não, đau nhức… Vì việc theo dõi áp suất không khí để có điều chỉnh cần thiết công việc sinh hoạt điều cần thiết Một số loại cảm biến áp suất không khí: Cảm biến áp suất không khí WE100 Dòng ra: ~ 20 mA Tầm đo: 800 ~ 1100 mbar Sai số: ± 1% Điện áp hoạt động: 10 ~ 36 VDC Nhiệt độ hoạt động: -40 ~ 55 ºC Kích thước: 7.6 x 5.1 x 5cm Nặng 59 gam 35 Cảm biến áp suất không khí HP03M Chuẩn giao tiếp I2C :16 bit với độ phân dải ADC 14bit Tầm đo: 300 ~ 1100 hPa Điện áp hoạt động: 2.2 ~ 3.6 V Nhiệt độ hoạt động: -40 ~ 85 ºC Tiêu thụ điên thấp Chuẩn giao tiếp I2C Tầm đo: 300 ~ 1100 hPa Điện áp hoạt động: 1.8 ~ 3.6 V Nhiệt độ hoạt động: -40 ~ 85 ºC Tiêu thụ điên thấp, độ tin cậy cao Kích thước nhỏ gọn 36 7.3 Cảm biến áp suất công nghiệp đóng tàu hàng hải - Khả chịu nước biển tốt - Khả chống rung độ ổn định lâu dài - Duy trì ổn định nhiệt độ chênh lệch lớn - Độ xác tối đa đo thử nghiệm - Theo tiêu chuẩn IS Một số loại cảm biến Cảm biến áp suất DMK 456 Thang đo: Từ đến 40 mbar; đến 20 bar Sai số: ±0.25% FSO Tín hiệu ra: 4…20mA Vật liệu vỏ: Thép không gỉ 1.4404 (316L) Vật liệu màng cách li: ceramics 96% Al2O3 Nhiệt độ môi trường làm việc: -25 đến 1250C Cảm biến áp suất EP 500 37 Thang đo: Từ đến 60 mbar; đến 20 bar Sai số: ±0.2% FSO Tín hiệu ra: 4…20mA Vật liệu vỏ: Thép không gỉ 1.4404 (316L) Vật liệu màng cách li: ceramics 96% Al2O3 Nhiệt độ môi trường làm việc: -25 đến 1250C Cảm biến áp suất LMK 458 Thang đo: Từ đến 40 cmH2O; đến 200 mH2O Sai số: ±0.25 % FSO Tín hiệu ra: 4…20mA Vật liệu vỏ: Thép không gỉ 1.4404 (316L) Vật liệu màng cách li: ceramics 96% Al2O3 Nhiệt độ môi trường làm việc: -25 đến 1250C VIII MỘT VÀI ỨNG DỤNG CỦA CẢM BIẾN ÁP SUẤT 8.1 Ứng dụng sưu tầm 38 Hình 24 Ứng dụng cảm biến áp suất công nghiệp đóng chai nước - Trong hình 24 cảm biến áp suất đặt đáy bể chứa để giám sat cột chất lỏng bể - Cảm biến gửi tín hiệu hệ thống sử lý trung tâm để hệ thống biết mức chất lỏng bể, qua điều khiển hệ thống bơm để bơm chất lỏng vào bể 39 Hình 25 Ứng dụng cảm biến áp suất thủy lực - Trong hình 25, cảm biến áp suất có tác dụng giám sát áp lực dầu thủy lực đường ống bơm xilanh Việc giám sát giúp bảo vệ đường ống xilanh áp lực vượt giới hạn - Cảm biến gửi tín hiệu hệ thống điều khiển trung tâm để điều khiển bơm 40 Hình 26 Ứng dụng cảm biến áp suất hệ thống nén khí - Trên hình 26, cảm biến áp suất sử dụng hệ thống nén khí: Khí sau qua máy nén nóng lên, sau tới hệ thống làm mát qua cảm biến áp suất để kiểm tra áp suất khí nén Tiếp theo khí nén đưa tới hệ thống sấy khô để loại bỏ nước nạp vào bình chứa (hệ thống dùng để nạp gas vào bình) 8.2 Nghiên cứu tự động hóa trình đo áp lực nước lỗ rỗng phục vụ xây dựng công trình đất yếu  Đặt vấn đề Áp lực nước lỗ rỗng (ALNLR) áp lực nước ngầm tồn lỗ rỗng hay kẽ hở hạt đất đá ALNLR làm giảm sức kháng cắt mặt đất, chí hóa lỏng, gây nên phá hoại đất công trình Trong trình thi công xử lý móng công trình, việc xác định ALNLR có tác dụng giúp cho đơn vị thi công tính toán để điều chỉnh tốc độ đắp nền, khối lượng đắp Sau đắp đủ tải theo thiết kế, lúc việc xác định ALNLR nhằm mục đích đánh giá chất lượng 41 đất sau thi công Do vậy, việc nghiên cứu, chế tạo thiết bị đo, hệ thống quan trắc cần thiết ALNLR thường xác định cách sử dụng đầu đo (piezometer) đặt độ sâu định để theo dõi hình 27 Các dây tín hiệu cảm biến đo ALNLR đưa hộp nối Đến thời điểm đo theo định kỳ, máy đo chuyên dụng sử dụng để thực công việc đo đạc Hình 27 Bố trí cảm biến đo ALNLR trường  Nguyên lý đo ALNLR  Phương pháp đo • Phương pháp đo hở 42 Hình 28 Phương pháp đo ALNLR kiểu hở Nguyên lý đo phương pháp dựa theo nguyên lý nước có áp ống giếng giảm dần theo thời gian, từ tính biến đổi ALNLR • Phương pháp đo kín Hình 29 Phương pháp đo ALNLR kiểu kín Cách đặt cảm biến lòng ống bịt kín đầu, nguyên lý đo cách dựa vào cảm biến áp lực nước chất lỏng đặt vào màng cảm biến, từ xác định giá trị áp lực thực nước đất (Hình 29) Phương pháp có ưu điểm ổn định đầu đo, dễ tính toán, hiệu chỉnh, cho độ xác cao, bị ảnh hưởng áp suất khí thay đổi cho kết đo 43 liên tục, lâu dài, sử dụng cảm biến điện kiểu dây rung trình thi công  Cảm biến đo Hình 30 Cảm biến dây rung Đây dụng cụ sử dụng màng chắn thép không gỉ nhạy cảm kết nối với dây rung (Hình 30) Khi sử dụng, thay đổi áp suất màng chắn nguyên nhân làm thay đổi độ căng dây dẫn đến thay đổi tần số cộng hưởng dây rung gắn với màng chắn cố định đầu lại Bình phương tần số rung tỉ lệ thuận với áp lực tác động lên màng chắn Có hai cuộn dây, cuộn có nam châm, cuộn có tác dụng đối cực, bố trí sát dây rung Khi sử dụng, dãy xung (xung quét) cấp vào cuộn dây làm dây dao động theo hình sin với tần số tần số cộng hưởng riêng Khi kết thúc kích thích, dây tiếp tục rung tín hiệu xoay chiều hình sin (AC) trì, tần số cộng hưởng Tín hiệu cảm ứng cuộn dây chuyển tới hộp đọc đầu ra, tín hiệu hiệu chỉnh hiển thị dạng tham số theo yêu cầu, hình dung cách hình tượng, nguyên tắc làm việc cảm biến dây rung tương tự nguyên lý hoạt động đàn bầu điện tử  Sơ đồ khối tổng thể hệ thống 44 - Màn hình hiển thị: kết nối với máy tính hiển thị giao diện chương trình máy tính - Thiết bị ngoại vi: bao gồm chuột, bàn phím để thực thao tác giao diện chương trình máy tính - Cảm biến: theo thiết kế, số lượng cảm biến thiết bị quan trắc ALNLR lên đến cảm biến Các cảm biến đặt vị trí cần quan trắc ALNLR, tín hiệu từ cảm biến đưa thiết bị thu nhận liệu để xử lý, lưu trữ gửi máy tính - Thiết bị thu nhận liệu: thiết bị thường đặt công trình, làm nhiệm vụ điều khiển đọc liệu từ cảm biến, xử lý tín hiệu, lưu trữ liệu, truyền nhận liệu với máy tính - Máy tính: hiển thị giá trị đo áp lực nước giao diện chương trình quan trắc, lưu trữ liệu, báo cáo số liệu, truyền nhận liệu với máy tính… - Nguồn: cung cấp nguồn điện hoạt động cho toàn thiết bị  Các thông số kỹ thuật hệ thống: - Số vị trí đo áp lực nước: Tối đa vị trí - Thang đo áp lực nước: ÷ 400 kPa - Chu kỳ đo: Thay đổi - Dung lượng nhớ: 512 MB - Màn hiển thị: LCD, máy tính - Nguồn cung cấp: AC/DC - Có khả cung cấp, lưu trữ liệu liên tục thời gian dài 45 - Có khả mở rộng chức linh hoạt nhờ sử dụng chíp vi xử lý đại - Có khả kết nối với máy tính thiết bị truyền dẫn 46 [...]... nhiễm bẩn và hơi ẩm Hiện nay người ta sử dụng hai loại cảm biến áp suất điện dung là: + Cảm biến áp suất tụ đơn dùng để đo áp suất calip + Cảm biến áp suất tụ kép dùng để đo áp suất vi sai a Cảm biến áp suất tụ đơn Đây là loại cảm biến áp suất dùng một tụ hình 10 Gồm bản cực động được gắn vào màng, bản cực tĩnh được gắn cố định vào đế các điện, dây nối và hệ thống mạch đo Khi áp suất tác động vào màng... cảm biến áp suất kiểu áp trở trong thực tế Dưới đây là cấu tạo cơ bản của cảm biến áp suất kiểu áp điện (hình 17) Hình 17 Cấu tạo cơ bản của cảm biến áp điện Hình 17b là cảm biến áp suất sử dụng phần tử tinh thể theo hiệu ứng dọc như hình 16a, hình 17c là cảm biến áp suất sử dụng phần tử tinh thể theo hiệu ứng ngang như hình 16b Hình 17a thành phần cấu tạo của cảm biến áp điện bao gồm: Vỏ bọc cảm biến. .. dụng ở những ứng dụng có điện thế cao với áp suất vi sai