Bài giảng bài kính hiển vi vật lý 11 (3)

KÍNH HIỂN VI Hai loại KHVĐT phổ biến :  Kính hiển vi điện tử truyền qua (Transmission Electron Microscope TEM)  Kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscope - SEM) I/ Kính hiển vi truyền qua (TEM) , Giới thiệu Là thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn sử dụng chùm điện tử có lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng sử dụng thấu kính từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn , Cấu trúc nguyên lý làm việc  Đối tượng sử dụng TEM chùm lượng có lượng cao cấu kiện TEM nằm cột chân không siêu cao tạo nhờ hệ bơm chân không ( bơm turbo, bơm ion)  Có cách để tạo chùm điện tử  Sử dụng nguồn phát xạ nhiệt điện tử  Sử dụng súng phát xạ trường  Trong TEM điều khiển tạo ảnh thông qua thấu kính từ Thấu kính từ nam châm điện có cấu trúc môt cuộn dây lõi làm vật liệu từ mềm II/ Kính hiển vi điện tử quét (SEM)  KHVĐT lần đựoc phát triển Zwory Kin năm 1942  , Cấu tạo  Súng phóng điện tử hướng lên  Ba thấu kính tĩnh điện  Hệ thống cuộn quét điện từ  Ống nhân quang điện  , Nguyên lý hoạt động tạo ảnh SEM  Điện tử phóng từ súng phóng điện tử sau tăng tốc hội tụ thành chùm điện tử hẹp nhờ hệ thống thấu kính từ  Một số hình ảnh thu thông qua SEM Sơ đồ nguyên lý làm việc KHV quét đầu dò (SPM)  SPM loại KHV nhìn thấy mức nanô Nó chụp hình vi rút vào cỡ 100 nanômet ma không cần dùng tới chân không  Nguyên lý hoạt động :  Quét mũi dò nguyên tử bề mặt mẫu khoảng cách nguyên tử Hình ảnh phóng đại lớn máy tính với hệ số phóng đại lớn [...]... Sơ đồ nguyên lý làm vi c KHV quét đầu dò (SPM)  SPM là loại KHV có thể nhìn thấy ở mức nanô Nó có thể chụp được hình của vi rút vào cỡ 100 nanômet ma không cần dùng tới chân không  Nguyên lý hoạt động :  Quét một 1 mũi dò nguyên tử trên 1 bề mặt mẫu ở khoảng cách nguyên tử Hình ảnh sẽ được phóng đại ... loại KHVĐT phổ biến :  Kính hiển vi điện tử truyền qua (Transmission Electron Microscope TEM)  Kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscope - SEM) I/ Kính hiển vi truyền qua (TEM) ,... phát xạ trường  Trong TEM điều khiển tạo ảnh thông qua thấu kính từ Thấu kính từ nam châm điện có cấu trúc môt cuộn dây lõi làm vật liệu từ mềm II/ Kính hiển vi điện tử quét (SEM)  KHVĐT lần... bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn sử dụng chùm điện tử có lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng sử dụng thấu kính từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn , Cấu trúc nguyên lý làm vi c  Đối tượng