Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 32 trang
THÔNG TIN TÀI LIỆU
Thông tin cơ bản
Định dạng
Số trang
32
Dung lượng
741,22 KB
Nội dung
Thermal Stability of Si0.8Ge0.2 Virtual Substrates Chapter Chapter 3.1 Thermal Stability of Si0.8Ge0.2 Virtual Substrates Introduction In this chapter, the thermal stability of Si0.8Ge0.2 virtual substrate was studied using XPS, AFM and TEM Two temperature regimes have been identified; in region I (T