Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 115 trang
THÔNG TIN TÀI LIỆU
Thông tin cơ bản
Định dạng
Số trang
115
Dung lượng
6,49 MB
Nội dung
v TịMăTT Khuyt tt hƠn trong các mi hƠn nói chung, đặc bit lƠ khuyt tt trong mi hàn ngnói riêng có nh hng ln đn cht lng kt cu hƠn cũng nh quá trình lƠm vic sau này ca chúng. σgoƠi ra, theo các qui đnh về an toƠn hot đng trong các ngƠnh công nghip hoá dầu, đin lực, dầu khí, cần thực hin kiểm tra đnh kỳ cht lng các mi hƠn ng (dc ng) bằng các phng pháp σDT nh X-quang, siêu âm, để đánh giá vƠ quyt đnh thi hn hot đng ca chúng. Vic kiểm tra cht lng mi hƠn ng (dc ng) bằng phng pháp siêu ơm thng đc thực hin bằng tay đòi hi nhiều thi gian, kt qu không ổn đnh vi chi phí ln. Do vy, vn đề nghiên cu, phát triển thit b kiểm tra ng nh s dng siêu ơm đƣ nhn đc sự quan tơm đặc bit. Đề tƠi đƣ tin hƠnh kho sát các loi robot, thit b tự hƠnh, phng pháp vƠ kỹ thut đo bằng siêu ơm để tin hƠnh nghiên cu, thit k vƠ ch to th nghim thit b tự hƠnh kiểm tra đánh giá cht lng ng nh bằng siêu ơm tổ hp pha. Thit b bao gồm các c cu kẹp, đng ray dn hng, c cu di chuyển dc trc, c cu mang đầu siêu ơm, … có thể hot đng tự hƠnh dc theo chiều dƠi ng tin hƠnh đo kiểm vi kt qu ổn đnh, tin cy, thi gian đo kiểm ngắn. SUMMARY Welding defects in buttweld make vertical pipe influence seriously on quality of welding structure as well as its working process. Besides, according to safety at work in petrochemical industry and petroleum industry, weld seam quality need to be tested by NDT techniques, such as: Radiographic testing, Ultrasonic testing vv, From that point this subject will research about a part of welding theory, especially it will lead us to the defect of the weld and the cause make it wrong. After that, we will learn about some methods to checking the quality of welding that is presenting to find out the defect of welding, it’s not easy to see the failure, so we will learn more about devices, engines to help the inspection process to be more precise. From the practical problem and difficulties due to the welding inspection process in reality, this research will focus to studying the self ậ propelled device that it’s capability can walk on the pipe with diameter varies from 0,8 inch ÷ 4,5 inch. Over vi the period of research and learning from the other resources about the self ậ propelled or handicraft on around the world and Vietnam market. This subject will go into research and manufacture the device itself with the simplest structures but bringing high efficiency. In addition, the project will also calculate reliable structure of devices and choosing the most compact structures while ensuring the enduring and able working well. vii MC LC Lụ LCH KHτχ HC i MC LC vii DχσH MC HỊσH x DχσH MC ψσG xiv Chng 1 GII THIU 1 1.1Tính cp thit ca đề tƠi ……………………………………………………… 1 1.2 ụ nghĩa khoa hc vƠ tính thực tin ca đề tƠi………………………………….3 1.β.1Tính thực tin ca đề tƠi 3 1.β.βụ nghĩa khoa hc ca đề tƠi 3 1.γMc tiêu nghiên cu ca đề tƠi 4 1.4Đi tng vƠ phm vi nghiên cu 4 1.4.1Đi tng nghiên cu 4 1.4.βυhm vi nghiên cu 4 1.ηυhng pháp nghiên cu 5 1.θσi dung ca đề tƠi 5 β.1υhng pháp kiểm tra mi hƠn bằng siêu ơm 6 2.1.1 σguyên lý kiểm tra siêu ơm 6 2.1.2 Kỹ thut kiểm tra bằng siêu ơm 6 2.1.3 σguyên tắc kiểm tra 7 2.1.4 Mc đ chp nhn khuyt tt bên trong mi hƠn 9 β.γ.1σt (CRACKS) 16 2.3.2 Rỗ khí 19 2.3.3Ngm x (SτLID IσCLUSIτσS) 21 2.3.4Không thu (LACK OF PENETRATION) 22 2.3.4.1Không thu hoƠn toƠn 23 2.3.4.2Không thu chơn 23 β.γ.ηCháy thng (Burn-Through) 24 2.3.6Cháy chân (Undercut ) 24 2.4 Các nghiên cu liên quan đn đề tƠi 25 β.4.1Các nghiên cu ngoƠi nc 25 β.4.βCác nghiên cu trong nc 29 2.5 Các tồn ti 29 Chng γ C S LÝ THUYT 30 3.1 Các bin pháp phát hin khuyt tt mi hàn 30 viii 3.1.1 υhng pháp chp nh phóng x (Radiographic Testing_RT) 31 3.1.2 Kiểm tra mi hƠn bằng phng pháp siêu ơm (Ultrasonic Testing_UT) 33 3.1.3 υhng pháp kiểm tra siêu âm (Untrasonic Inspection_UI) 34 3.1.4 υhng pháp kiểm tra thẩm thu cht lng (Liquid υenetran inspection_LυI) 36 3.1.5 υhng pháp kiểm tra t tính (Magnetic υarticle Inspection_MυI) 37 3.1.6 υhng pháp kiểm tra dòng xoáy (Eddy Current Testing_ ET) 39 3.1.7 υhng pháp dùng tia bc x Xquang vƠ Gamma 40 3.1.8 υhng pháp kiểm tra thy lực th áp lực 42 3.2 Các loi đầu dò s dng trong siêu ơm dc trc 44 3.2.1 Đầu dò thông thng 44 3.2.1.1 Đầu dò thẳng 44 3.2.1.2 Đầu dò góc 44 3.2.1.3 Đầu dò kép 44 3.2.1.4 Đầu dò phased array (OLYMPUS) 45 3.2.2 Cu to ca các đầu dò thông thng 45 3.2.3 Cu to ca đầu dò tổ hp pha (phased array) 46 3.2.4 σguyên lý kiểm tra dc trc ca đầu dò 47 Chng 4 υHσG HσG VÀ GII υHÁυ 49 4.1 Thông s thit k 49 4.2 Phác tho nguyên lý hot đng 49 4.2.1 σguyên lý yêu cầu 49 4.2.2 σguyên lý đnh v, vn hƠnh 50 4.2.3 σguyên lý mang thit b chy dc ng 51 4.2.4 σguyên lý dn hng 52 4.3 υhng hng vƠ gii pháp thực hin 53 4.4 Lựa chn phng án ti uμ 59 4.5 Trình tự công vic tin hƠnh 60 Chng η 61 TệσH TτÁσ, THIT K CÁC C CU 61 5.1 Yêu cầu thit k 61 5.2 Tính toán, thit k các c cu 61 5.2.1 Mô hình thit k thit b 61 5.2.2 Tính toán, thit k cm truyền đng 63 5.2.3 Tính toán, thit k cm di trt 67 5.2.3.1 Tính lực kẹp cần thit cho khi V di đng 68 ix 5.2.3.2 Tính toán b truyền vít me ậ đai c kẹp 68 5.2.3.3 Kiểm tra đ bền cho đòn kẹp 71 5.2.3.4 Kiểm tra điều kin bền cho trc kẹp ϕ12: 73 5.2.4 Thit k cm lắp đầu dò siêu ơm 74 5.3 Đề xut mch điều khiển cho c cu 75 Chng θ CH Tτ, TH σGHIM VÀ ĐÁσH GIÁ 79 6.1 Ch to vƠ lắp ráp chi tit 79 6.2 Th nghim 81 6.2.1 Quy trình kiểm tra th nghim 81 6.2.1.1 Quy trình kiểm tra siêu ơm 81 6.2.1.2 Quy trình kiểm tra vƠ vn hƠnh thit b 85 6.3 Thực nghim xác đnh lực ca lò xo 88 6.3.1 Mc đích thực nghim 88 6.3.2 Dng c vƠ các thit b th nghim 88 6.4 Thực nghim xác đnh sai s dc trc 90 6.4.1 Mc đích thực nghim 90 6.4.2 Dng c vƠ thit b th nghim 90 6.5 Thực nghim đo vi τmniScan vƠ đầu dò 91 6.6 Kt qu kiểm tra thực nghim 95 6.7 Đánh giá 99 Chng 7 KT LUσ VÀ KIσ σGH 100 x DANH MC HÌNH Hình 1. 1: Kiểm tra mi hƠn ông bằng tay [13] 2 Hình 1. 2: Kiểm tra bằng tay mi hƠn phă ̉ ng bằng đầu do siêu âm [13] 2 Hình 1. 3 : Kiểm tra bằng tay môi ha n nôi bôn bằng phng pháp siêu ơm [1γ] 2 Hình 2. 1:Nguyên lý kiểm tra mi hàn bằng siêu âm 6 Hình β. βμ S đồ liên kt mi hàn 7 Hình 2. 3: S đồ dò liên kt giáp hàn mi 7 Hình 2. 4: Các dng s đồ quét để kiểm tra khuyt tt mi hàn [14] 8 Hình 2. 5: Mô phng quá trình siêu âm [14] 9 Hình 2. 6: ng thép không g [8] 10 Hình 2. 7: ng thép tròn đen [8] 10 Hình 2. 8: ng thép m km [8] 13 Hình 2. 9: Quy trình hàn thép không g s dng phôi tm [8] 14 Hình 2. 10: Quy trình công ngh hàn ng thép [8] 15 Hình 2. 11: Tổng hp các khuyt tt ca mi hàn 16 Hình 2. 12: Phân loi khuyt tt nt theo TCVN 6115-1:2005 17 Hình 2. 13: Vùng nh hng nhit (HAZ) 17 Hình 2. 14: Các v trí thng xut hin vt nt dc 18 Hình 2. 15: V trí thng xut hin các vt nt dc 18 Hình 2. 16: Các v trí thng xut hin vt nt ngang 18 Hình 2. 17: V trí các vt nt ngang 19 Hình 2. 18: Nt cắt lp chân mi hàn [10] 19 Hình 2. 19: Phân loi khuyt tt rỗ khí theo BS EN [10] 20 Hình 2. 20: Các dng khuyt tt rổ khí [10] 21 Hình 2. 21: Rỗ khí bên trong mi hàn [10] 21 Hình 2. 22: Ngm x bên trong đng hàn Hình 2. 23: Ngm x bên ngoƠi đng hàn 22 Hình 2. 24μ S đồ phân loi các khuyt tt ngm x [10] 22 Hình 2. 25: Phân loi khuyt tt không thu [10] 23 Hình 2. 26:Khuyt tt không thu chân [10] 23 Hình 2. 27:Khuyt tt không thu chân [10] 24 Hình 2. 28:Khuyt tt cháy thng [10,12] 24 Hình 2. 29: Phân loi khuyt tt cháy chân theo theo BS EN [10] 24 Hình 2. 30: Khuyt tt cháy chân [10,12] 25 Hình 2. 31: Kiểm tra mi hàn ng bằng tay s dng máy quét COBRA Scanner [9] 25 xi Hình 2. 32: Thit b siêu âm mi hàn OmniScan [9] 26 Hình 2. 33: Thit b kiểm tra mi hàn ni Olympus OmniScan s dng bằng tay [9] . 26 Hình 2. 34: Máy siêu âm mi hàn Olympus [9] 26 Hình 2. 35: Máy kiểm tra mi hàn s dng trong nhà máy sn xut ng [9] 27 Hình 2. 36: Thit b tự đng kiểm tra mi hàn bồn PV ậ 300 [9] 28 Hình 2. 37: Kiểm tra mi hàn bồn áp lực bằng thit b PV ậ 300 [9] 28 Hình 3. 1: ng phát tia X [15] 32 Hình 3. 2: Nguyên lý phát hin khuyt tt bằng phng pháp siêu ơm [15] 33 Hình 3. 3: Thit b siêu âm kiểm tra mi hàn [9] 34 Hình 3. 4: Nguyên lý kiểm tra bằng siêu âm [9] 35 Hình γ. ημ Các bc chuẩn b trc khi kiểm tra [11] 36 Hình 3. 6: Nguyên lý kiểm tra bằng phng pháp t tính [15] 38 Hình 3. 7: Thit b kiểm tra khuyt tt mi hàn bằng dòng xoáy [15] 40 Hình 3. 8: Nguyên lý kiểm tra bằng bc x [15] 41 Hình 3. 9: Kiểm tra mi hàn giáp mi bằng Xquang 41 Hình γ. 10μ S đồ phng pháp kiểm tra áp lực [11] 43 Hình γ. 11μ Đầu dò thẳng [9] 44 Hình γ. 1βμ Đầu dò góc [9] 44 Hình γ. 1γμ Đầu dò kép [9] 45 Hình γ. 14μ Đầu dò phased array (OLYMPUS) [9] 45 Hình γ. 1ημ Đầu dò đn tinh thể vƠ đầu dò tinh thể kép 45 Hình 3. 16: Cu to ca các đầu dò thông thng [9] 46 Hình 3. 17: Cu to Đầu dò siêu âm phased array [9] 46 Hình 3. 18: Cu to ca đầu dò đa tinh thể Phased Array [9] 46 Hình γ. 1λμ υhng pháp kiểm tra siêu âm truyền thng [9] 47 Hình γ. β0μ υhng pháp kiểm tra siêu âm TOFD [9] 47 Hình γ. β1μ υhng pháp kiểm tra siêu âm phased array [9] 48 Hình 4. 2: Nguyên lý yêu cầu ca thit b 49 Hình 4. γμ σguyên lý đnh v, vn hành 50 Hình 4. 4μ υhng án lựa chn đnh v và vn hành bi hai khi V 51 Hình 4. 5: Nguyên lý mang thit b chy dc ng 51 Hình 4. 6: B truyền vitme ậ đai c dn đng đc chn theo phng án β 52 Hình 4. 7: Nguyên lý dn hng cho thit b 52 Hình 4. 8: Nguyên lý dn hng cho thit b đc chn theo phng án β 53 Hình 4. λμ Mô hình phng án 1 54 xii Hình 4. 10μ Mô hình phng án β 55 Hình 4. 11μ Mô hình phng án γ 57 Hình 4. 1βμ Mô hình phng án 4 58 Hình 4. 1γμ Mô hình phng án đƣ lựa chn 59 Hình 5. 1: Mô hình thit b thit k 61 Hình 5. 2: Mô hình phân r thit b 62 Hình 5. 3: Bn v cm chi tit truyền đng 63 Hình 5. 4: Bn v b truyền vítme ậ đai c bi 66 Hình 5. 5: Bn v cm chi tit di trt 67 Hình η. θμ S đồ phân tích lực kẹp tác dng lên khi V 68 Hình η. 7μ Đòn kẹp theo thit k 71 Hình 5. 8: Biểu đồ ni lực ca đòn kẹp 72 Hình 5. 9: Biểu đồ phân b ng sut trên tit din đòn kẹp 72 Hình 5. 10: Biểu đồ ni lực ca trc kẹp 73 Hình 5. 11: Bn v cm chi tit lắp đầu dò siêu âm 74 Hình 5. 12: Mch đng lực 77 Hình 5. 13: Mch điều khiển 78 Hình 5. 14: T đin sau khi thit k và lắp đặt hoàn chnh 78 Hình 6. 1:Mô hình thit b thit k ban đầu 79 Hình 6. 2: Thit b sau khi gia công lắp ráp hoàn chnh 80 Hình θ. γμ Hng nhìn khác ca thit b sau khi gia công lắp ráp hoàn chnh 80 Hình θ. 4μ S đồ tổng quát qui trình kiểm tra siêu âm [9] 81 Hình θ. ημ S đồ thit b đo [λ] 84 Hình 6. 6: X lý file sau khi quét để báo cáo [9] 88 Hình 6. 7: B phn kẹp đầu dò và lực k 88 Hình 6. 8: Lò xo và b kẹp đầu dò 89 Hình 6. 9: Thit b và dng c th nghim sai s dc trc 90 Hình 6. 10: Máy phân tích, hiển th dữ liu vƠ đầu dò siêu âm tổ hp pha [9] 92 Hình θ. 11μ Đầu dò và nêm nghiêng góc 55 0 [9] 92 Hình 6. 12: Hiu chnh calib đầu dò vi mu chuẩn và encoder 92 Hình θ. 1γμ Điều chnh đầu dò so vi mi hàn [9] 93 Hình θ. 14μ Điều chnh đầu dò so vi mi hàn [9] 93 Hình 6. 15: Gá lắp vƠ điều chnh cm đầu dò so vi mi hàn cần kiểm tra trên ng 94 Hình 6. 16: Kiểm tra vƠ điều chnh khong cách đầu dò đúng theo yêu cầu 94 Hình 6. 17: Quá trình vn hành máy siêu âm và thit b đo 94 xiii Hình 6. 18: Kt qu thực nghim lần 1 96 Hình 6. 19: Kt qu thực nghim lần 2 97 Hình 6. 20: Kt qu thực nghim lần 3 99 xiv DANHăMCăBNG Bng 2. 1: Góc vào trong tng vt liu 8 Bng 2. 2: Chiều dài gii hn ca vt kiểm tra 9 Bng β. γμ Kích thc tiêu chuẩn ca ng thép đen tròn [8] 11 Bng β. 4μ Kích thc ng thép m km [8] 12 Bng β. ημ Kích thc ng thép không g, ng hàn [8] 13 Bng β. θμ Kích thc ng thép ch to bằng phng pháp hƠn [8] 15 Bng 5. 1: Bng giá tr Ψ H vƠ Ψ h 64 Bng 6. 1: Kt qu thực nghim xác đnh lực lò xo 90 Bng 6. 2: Kt qu thực nghim sai s dc ca đầu dò 91 [...]... hình nh về công vi c kiểm tra vƠ thi t b kiểm tra ch t l ng m i hƠn ng s d ng kỹ thu t siêu ơm 1 Hình 1 1: Kiểm tra m i hƠn ông bằng tay [13] Hình 1 2μ Kiểm tra bằng tay m i hƠn phẳ ng bằng đầu do siêu ơm [13] Hình 1 3μ Kiểm tra bằng tay môi han nôi bôn bằng ph ng pháp siêu ơm [13] Hình 1 4: Thi t b tự đ ng kiểm tra m i hƠn cho môi nôi đ 2 ng ông [13] Hình 1 5: Thi t b tự hƠnh kiểm tra ng cáp quang d... th cho các thi t b v n hƠnh th công 1.3 M c tiêu nghiên c u c aăđ tài - Đề tƠi nghiên c u về kỹ thu t đo, ph ng pháp đo siêu ơm, đặc bi t lƠ siêu ơm tổ h p pha Qua đó đề xu t qui trình đo kiểm s d ng thi t b tự hƠnh mang đầu dò siêu ơm tổ h p pha - Th nghi m, phát triển các c c u kẹp có điều khiển; - Thi t k , ch t o th nghi m thi t b tự hƠnh mang đầu dò siêu ơm kiểm tra, đánh giá ch t l 1.4 Đ iăt... cán b kiểm tra đòi h i ph i có kinh nghi m - T c đ di chuyển c a thi t b kiểm tra bằng tay không ổn đ nh gơy nh h ng l n đ n k t qu kiểm tra - m ts đ ng ng dƠi vi c kiểm tra bằng th công s không hi u qu về mặt th i gian, nhơn công, … - Thi t b kiểm tra bằng tay t d n do đó chi phí mua sắm thi t b t ng đ i cồng kềnh, đòi h i ph i có đ ng ray ng đ i cao Hình 1.1 đ n 1.η trình bƠy m t s hình nh về công. .. thi t b tự hƠnh kiểm tra m i hƠn d c đ ng ng, nghiên c u các ph ng án cho thi t b kiểm tra đi trên đ ng vƠ mang thi t b kiểm tra siêu âm m i hƠn d c ng 4 ng 1.5 Ph ngăpháp nghiên c u - σghiên c u phơn tích lý thuy tμ Thu th p tƠi li u t các nguồn báo chí, t p chí, sách, t internet có liên quan đ n n i dung nghiên c u Qua phơn tích, x lý thông tin thu đ c đề xu t qui trình ch t o vƠ kiểm tra ng nh - υh... đo kiểm đánh giá ch t l quá trình s d ng luôn lƠ v n đề c p bách đ ng ng ngkhis n xu t vƠ trong c quan tơm nghiên c u σgƠy nay, đƣ có nhiều công trình ng d ng thành công các công ngh tiên ti n để ch t o ra các thi t b kiểm tra tự đ ng giúp tăng năng su t lao đ ng g p nhiều lần vƠ có đ tin c y cao Vì những lý do trên, nên vi c nghiên c u thi t k m t thi t b kiểm tra m i hƠn d c ng mang đầu dò siêu âm. .. siêu âm để đo kiểm, đánh giá ch t l ng m i hƠn d c nglƠ m t v n đề th i sự vƠ c p bách 1.1 Tính c p thi t c aăđ tài Hi n nay trên th gi i cũng nh pháp kiểm tra ch t l ng c a đ Vi t σam v n đang áp d ng nhiều ph ng ng ng Tuy nhiên vi c kiểm tra nƠy còn mang tính th công hoặc bán tự đ ng,vì v y vi c kiểm tra v n còn có m t s nh c điểm sau: - Th i gian đo kiểm l n - Công tác v n hƠnh kiểm tra t ng đ i... các h n ch khi kiểm tra bằng các thi t b th công nh trên vƠ yêu cầu có m t thi t b kiểm tra m i hƠn ng có kh năngtự hành, có tính kinh t trong s d ng Do v y, vi c nghiên c u m t thi t b tự hƠnh có thể mang đầu siêu ơm kiểm tra đ 1.2 c m i hƠn do ̣c ng lƠ m t nhu cầu c p bách ụănghĩaăkhoaăh c và tính thực ti n c aăđ tài 1.2.1 Tínhăthựcăti năc aăđ ătƠi Thi t b tự hƠnh mang đầu dò siêu ơm đo kiểm đánh giá... gi i pháp siêu ơm υhased χrray t t nh t cho kiểm tra các ng m ng thay th cho ch p nh phóng x - Kiểm tra đ c nhiều đ ng kính ng khác nhau u điểm: - Chuyên dùng cho kiểm tra các m i hƠn có đ - Kh năng ti p c n đ ng kính nh t i (β1 mm) c các v trí ch t hẹp, kho ng cách giữ các ng r t sát nhau (12 mm) - Kiểm tra c hai bên m i hƠn v i β đầu dò ch 1 lần quét - Có thể tách r i c u ki n để kiểm tra t ng... Hình 2 1:σguyên lý kiểm tra m i hƠn bằng siêu ơm 2.1.2 Kỹăthu tăki m tra bằng siêu ơm Kỹ thu t kiểm tra siêu ơm th ng đ c chia ra lƠm ba tiêu chí phơn nhóm ch y uμ - Xung ph n hồi vƠ truyền qua (liên quan đ n năng l ng đ c s d ng ph n x hay truyền qua) - Chùm tia vuông góc vƠ xiên góc (liên quan đ n góc mƠ năng l ng ơm thanh đi vƠo v t kiểm) - Ti p xúc vƠ nhúng (liên quan đ n ph kiểm) 6 ng pháp ti... thi t b kiểm tra ng nh s d ng công ngh siêu ơm tổ h p pha, th nghi m ho t đ ng vƠ hoƠn ch nh thi t k 1.6 N i dung c aăđ tài - Ch ng 1μ Gi i thi u - Ch ng βμ Tổng quan - Ch ng γμC s lý thuy t - Ch ng 4μ υh - Ch ng ημ Tính toán thi t k các c c u - Ch ng θμ Ch t o, th nghi m vƠ đánh giá - Ch ng 7μ K t lu n vƠ ki n ngh ng h ng vƠ gi i pháp 5 Ch ngă2ă T NG QUAN 2.1 Ph ngăphápăki m tra m iăhƠnăbằng siêu ơm . Testing_RT) 31 3.1.2 Kiểm tra mi hƠn bằng phng pháp siêu ơm (Ultrasonic Testing_UT) 33 3.1.3 υhng pháp kiểm tra siêu âm (Untrasonic Inspection_UI) 34 3.1.4 υhng pháp kiểm tra thẩm thu cht. Thit b siêu âm kiểm tra mi hàn [9] 34 Hình 3. 4: Nguyên lý kiểm tra bằng siêu âm [9] 35 Hình γ. ημ Các bc chuẩn b trc khi kiểm tra [11] 36 Hình 3. 6: Nguyên lý kiểm tra bằng phng. dò siêu âm phased array [9] 46 Hình 3. 18: Cu to ca đầu dò đa tinh thể Phased Array [9] 46 Hình γ. 1λμ υhng pháp kiểm tra siêu âm truyền thng [9] 47 Hình γ. β0μ υhng pháp kiểm tra siêu