Vật lý màng mỏng -Tổng quan màng điện

MÀNG ĐIỆN GVHD: PGS.TS.Lê Văn Hiếu HVTH: Nguyễn Thanh Lâm Hoàng Văn Anh Lê Hoàng Nam Nguyễn Quang Khải... Nói chung, cơ chế dẫn điện của vật liệu khối và màng mỏng có một số nét tương

MÀNG ĐIỆN

GVHD: PGS.TS.Lê Văn Hiếu

HVTH: Nguyễn Thanh Lâm

Hoàng Văn Anh

Lê Hoàng Nam

Nguyễn Quang Khải

Nói chung, cơ chế dẫn điện của vật liệu khối và màng

mỏng có một số nét tương đồng.

 Phương pháp chuẩn bị màng

Tuy nhiên, màng mỏng có một số điểm khác với vật liệu khối làm cho nó có những tính chất điện đặc trưng mà vật liệu khối không có Những sự khác nhau đó là:

Hiệu ứng điện cực

Mức độ liên tục của màng

Sự tồn tại của hiện tượng dẫn điện ở

điện trường cao

Hoạt tính hóa học cao

Các loại màng và các ứng dụng có

liên quan

 Màng dẫn điện

 Màng cách điện

 Linh kiện bán dẫn

 Linh kiện áp điện

Màng dẫn điện polime hữu cơ

Màng cách điện

Mô phỏng hoạt động của transistor

thường:

thường:



http://learnabout-electronics.org/Fig316_bjt_operation.swf

Linh kiện bán dẫn

Linh kiện áp điện

Phương pháp phún xạ magnetron

Tài liệu tham khảo

 [1]Giáo trình vật lý màng mỏng, Nguyễn Hữu Chí, NXB đại học quốc gia TP HCM

 [2]The materials science of thin films, Milton Ohring, Academic Press, 1992

 [3]Vật lí và kĩ thuật màng mỏng, Nguyễn

Năng Định, Nhà xuất bản đại học quốc gia Hà Nội, 2005