Vật lý màng mỏng -Tổng quan màng cơ

GVHD: Lê Văn Hiếu HV: Trịnh Thị Quỳnh Như Phùng Văn Hưng Phan Trung Vĩnh Lê Duy Nhật [...]... (0C) 2949 3067 2177 2648 2982 2204 3600 3093 1500 1810 3387 3928 2776 2300 Một số loại màng cơ TiN - màng này có độ bền cơ học, hóa học lẫn nhiệt học rất cao và có tính chất quang điện giống màng kim lọai Au Màng TiN thường được phủ lên các dụng cụ cắt gọt, mũi khoan và các chi tiết máy móc chịu ma sát ZrN là một lớp màng phủ cứng, cứng hơn cả TiN, nhưng chúng rất giống nhau trong tự nhiên Nó được sử... Màng cứng Màng cứng là các màng có độ cứng cao, có ma sát thấp, ít bị mài mòn Các màng thường được ứng dụng trong các thiết bị cần độ cứng cao như khoan cắt hoặc phủ lên các chi tiết kim loại nhằm tăng tuổi thọ của chúng Vật liệu Độ cứng (kg.mm-2) Khối: Màng TiN TiC TiB2 VN VC ZrN NbN NbC TaN CrN Cr3C2 HfN HfC WC Al2O3 SiC BN... vì quá trình lắng đọng nó đắt tiền Tuy nhiên, với mục đích trang trí thì nó sử dụng nhiều hơn TiN, nó có màu giống vàng hơn, và chống ăn mòn tốt hơn Bằng cách thêm một ít Carbon, có thể tạo ra màu đồng Màng Carbon 60: cứng gấp 2 lần kim cương, dùng trong bộ tản nhiệt của máy tính và thiết bị điện tử, có khả năng dẫn dòng điện cực lớn nên được phủ bên ngoài máy bay để tránh sét, bảo vệ các mạch điện tử... material science of thin films [2] William D Nix (2005), Mechanical Properties of Thin Films [3] JOHN A VENABLES (2003), Introduction to Surface and Thin Film [4] Trần Tuấn (2001), NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG TiN BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ PHẢN ỨNG MAGNETRON DC, tạp chí phát triển Khoa học và Công nghệ, số 10 -2008 . chất cơ học của màng mỏng Các áp lực lên màng Tăng tính cơ học của màng Tính chất cơ học của màng mỏng Biến dạng cơ học có thể gặp Bong tróc Rạn nứt Tính chất cơ học của màng mỏng Biến dạng cơ. cứng (kg.mm -2 ) Khối: Màng Vật liệu       Một số loại màng cơ TiN - màng này có độ bền cơ học, hóa học lẫn nhiệt học rất cao và có tính chất quang điện giống màng kim lọai Au. Màng TiN thường. tính chất của màng mỏng hoàn toàn thay đổi so với tính chất của vật liệu khối. SHG Ảnh chụp cắt ngang màng mỏng đa lớp Si/SiO2/Cu/IrMn/CoFeB/MgO/CoFeB/Ta/Cu/Au Công dụng của màng mỏng  Mạch tích