Vật lý màng mỏng -Màng TiN

TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN KHOA VẬT LÝ BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT QUANG ĐIỆN NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT QUANG ĐIỆN CỦA MÀNG TiN CỦA MÀNG TiN GVHD : TS Lê Trấn HVTH : Phạm Văn Thịnh MÔN : CÁC PP THỰC NGHIỆM CHUYÊN NGÀNH NỘI DUNG I. GIỚI THIỆU MÀNG TiN II. CÁC PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT CỦA MÀNG III.ỨNG DỤNG TỪ MỘT SỐ TÍNH CHẤT CỦA MÀNG TiN 1. Màng phản xạ trong hệ màng đa lớp 2. Màng TiN trên dụng cụ cắt gọt Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com [...]... Magnetron DC: Lý do chọn pp Phún xạ • Cần chế tạo màng TiN có chiết suất thấp, hệ số tắt k lớn ↔ màng có điện trở suất thấp hay độ phản xạ cao ở vùng hồng ngọai Do đó, màng TiN phải có cấu trúc đặc, tức là mật độ khối lớn → cần phải tạo màng theo cơ chế nhiệt động học và động học • Giảm điện trở suất của màng chủ yếu áp dụng cơ chế động học → tăng cường mật độ ion năng lượng cao đến màng → sử dụng... học) • Màng bán dẫn có độ phản xạ cao ở vùng hồng ngọai như: MgO, ZnO, NiO, SiO (Màng bán dẫn phản xạ cao ở vùng bước sóng λ> 2000nm) • Màng đa lớp điện môi- kim loại -điện môi : SiO2/Al/SiO2, Al2O3/Mo/Al2O3, TiO2/Ag/TiO2, Al2O3/Cu/Al2O3… Màng đa lớp TiO2 /TiN/ TiO2 • Màng đa lớp có khả năng khắc phục được nhược điểm của màng bán dẫn pha tạp là có vùng bước sóng phản xạ rộng λ> 760 nm nhưng bền hơn màng. .. thuộc vào hình dạng và kích thước của mẫu) III ỨNG DỤNG • TiN được ứng dụng trong những lĩnh vực sau: • Màng phản xạ hồng ngoại trong hệ màng đa lớp • Màng cứng phủ trên những dụng cụ cắt gọt, khoan, cưa, nghiền… • Màng chống ăn mòn • Hàng rào khuyếch tán trong vi mạch và công nghệ IC • Trang trí trên kim loại, oxit kim loại 1 Màng phản xạ trong hệ màng đa lớp 1.1 Giới thiệu 1.2 Thực nghiệm và kết quả... nhựa, giấy,… Đế bị đốt nóng Thích hợp tạo các màng yêu cầu T0 cao 1.2 Thực nghiệm và kết quả • Quá trình tạo màng với áp suất 3.10-3 torr đến 6.10-3 torr, • Thế phún xạ thay đổi từ 350 V đến 650 V,  Bề dày màng được xác định bằng phương pháp Stylus  Điện trở mặt của màng được xác định bằng phương pháp bốn mũi dò  Cấu trúc tinh thể và kích thước hạt của màng xác định từ phổ nhiễu xạ tia X Chiết suất... Giới thiệu Màng gương nóng truyền qua: • Màng có độ truyền qua cao ở vùng khả kiến (bước sóng: 380nm ≤ λ ≤ 760nm) và phản xạ cao ở vùng hồng ngoại ( λ ≥ 760nm) • Mục đích: Tiết kiệm điện năng tiêu thụ từ lò sưởi (vùng khí hậu lạnh) và từ máy lạnh (vùng khí hậu nóng) là vấn đề đang được quan tâm nhiều hiện nay Ba hướng tạo màng gương nóng truyền qua: • Màng dẫn điện như: Bạc, vàng và đồng (màng kim loại... thay đổi từ 2000C đến 4000C Khảo sát sự ảnh hưởng điện trở suất theo áp suất phún xạ: Phổ nhiễu xạ của các màng TiN được tạo theo áp suất phún xạ và các thông số: Up= 550 V; tỉ lệ N2/Ar là 10%,khỏang cách bia đế h =4,5cm; nhiệt độ 2000C 1.2.2.Tính chất quang Chiết suất n và hệ số tắt k của màng mỏng TiN Chiết suất n và hệ số tắt k của mẫu L1 theo bước sóng ... Titan tăng, làm tăng độ linh động của nguyên tử hấp thụ Titan trên bề mặt, dẫn đến phản ứng giữa Titan và Nitơ tăng cho màng hợp thức tốt • Kết quả cho thấy với tỉ lệ % của Nitơ và Ar là 10 thì thế phún xạ ngưỡng là 550 V, khi đó màng có điện trở suất thấp nhất Phổ nhiễu xạ của các màng TiN được tạo theo thế phún xạ khác nhau và các thông số: tỉ lệ N2/Ar là 10%; áp suất làm việc p=3mtorr: Khảo sát ảnh... là TiN (Ngay cả khi tạo màng đa lớp TiO2 /TiN/ TiO2) Hệ magnetron cân bằng Hệ magnetron không cân bằng r B (hướng vô) Điện trường Từ trường khép kín Các e chịu tác dụng của từ trường ngang Từ trường không khép kín Các e ít chịu tác dụng của từ trường ngang Đế ít bị e va đập e chủ yếu chuyển động gần bia Đế bị nhiều e va đập mạnh e theo điện trường đến đế với v lớn Đế ít bị đốt nóng Thích hợp tạo màng. .. hơn màng kim loại về cơ, nhiệt và hóa học • TiO2 có chiết suất cao nên khử phản xạ tốt và nó là màng có độ bền cơ học cao • TiN có độ bền cơ học, hóa học lẫn nhiệt học rất cao 1.2 Thực nghiệm và kết quả Phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron DC • Hệ chân không có áp suất tới hạn 10-4 torr • Bia Titanium, độ tinh khiết 99.6%, kích thước bia 100x100x6(mm) • Khí làm việc Argon (99.99%) và khí hoạt tính... ảnh hưởng của điện trở suất theo khoảng cách bia đế Phổ nhiễu xạ của màng TiN được tạo với các thông số: Up=550V ; tỉ lệ N2/Ar là 10%; p=3mtorr, 2000C khoảng cách bia và đế thay được : h=3,5cm; h=4,5cm; h=5,5cm Khảo sát sự ảnh hưởng của điện trở suất theo nhiệt độ Sự ảnh hưởng của điện trở suất theo nhiệt độ đế: Phổ nhiễu xạ của các TiN với các thông số: Up=550 V; tỉ lệ N2/Ar là 10%; p = 3mtorr; khoảng . DUNG I. GIỚI THIỆU MÀNG TiN II. CÁC PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT CỦA MÀNG III.ỨNG DỤNG TỪ MỘT SỐ TÍNH CHẤT CỦA MÀNG TiN 1. Màng phản xạ trong hệ màng đa lớp 2. Màng TiN trên dụng cụ cắt. TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN KHOA VẬT LÝ BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT QUANG ĐIỆN NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT QUANG ĐIỆN CỦA MÀNG TiN CỦA MÀNG TiN GVHD : TS Lê Trấn HVTH : Phạm Văn. frbwrthes@gmail.com